本發(fā)明涉及管道清洗領(lǐng)域，特別是涉及一種歧管清洗裝置及歧管清洗方法。

背景技術(shù)：

光刻膠涂布裝置需要通過歧管與光刻膠桶連接，以將光刻膠桶中的光刻膠通過歧管傳輸至光刻膠涂布裝置上。該歧管一般由通氣歧管和通液歧管組成，cda(cleandryair，壓縮空氣)通過通氣歧管壓入到光刻膠桶中，使得光刻膠桶形成正壓，在光刻膠桶正壓的情況下，光刻膠桶中的光刻膠通過通液歧管傳輸至光刻膠涂布裝置上。

現(xiàn)有的歧管無法進(jìn)行清洗，只能對(duì)歧管表面進(jìn)行簡(jiǎn)單擦拭，隨著使用次數(shù)的增加，歧管內(nèi)部會(huì)形成光刻膠結(jié)晶，該光刻膠結(jié)晶會(huì)對(duì)光刻膠涂布裝置上的光刻膠管路造成污染。

故，有必要提供一種歧管清洗裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)所存在的問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于提供一種可對(duì)歧管進(jìn)行有效清洗的歧管清洗裝置；以解決現(xiàn)有的歧管無法進(jìn)行有效清洗，從而對(duì)光刻膠管路造成污染的技術(shù)問題。

本發(fā)明實(shí)施例提供一種歧管清洗裝置，其包括：

歧管清洗容器，具有一設(shè)置在所述歧管清洗容器的頂部的密封口以及設(shè)置在所述歧管清洗容器的底部的清洗孔；

歧管容器蓋，設(shè)置在所述歧管清洗容器的開口，用于密封所述密封口，所述歧管容器蓋設(shè)置有至少一個(gè)用于固定歧管的歧管固定孔以及至少一個(gè)排氣孔；

溶劑清洗管道，設(shè)置在所述歧管容器蓋的上方，一端與所述歧管連接，另一端輸入清洗溶劑；以及

壓縮空氣清洗管道，設(shè)置在所述歧管容器蓋的上方，一端與所述歧管連接，另一端輸入壓縮空氣。

在本發(fā)明所述的歧管清洗裝置中，所述歧管包括通液歧管以及通氣歧管，所述歧管固定孔包括用于固定所述通液歧管的通液歧管固定孔以及用于固定所述通氣歧管的通氣歧管固定孔；

所述通液歧管的一端分別與所述溶劑清洗管道和所述壓縮空氣清洗管道連接；所述通液歧管的另一端接近所述清洗孔；

所述通氣歧管的一端分別與所述溶劑清洗管道和所述壓縮空氣清洗管道連接；所述通氣歧管的另一端接近所述歧管清洗容器的密封口。

在本發(fā)明所述的歧管清洗裝置中，所述通液歧管的長(zhǎng)度大于所述通氣歧管的長(zhǎng)度。

在本發(fā)明所述的歧管清洗裝置中，所述溶劑清洗管道包括用于控制所述溶劑清洗管道的第一開關(guān)，所述壓縮空氣清洗管道包括用于控制所述壓縮空氣清洗管道的第二開關(guān)。

本發(fā)明還提供一種歧管清洗裝置對(duì)歧管進(jìn)行清洗的歧管清洗方法，所述歧管清洗裝置包括：

歧管清洗容器，具有一設(shè)置在所述歧管清洗容器的頂部的密封口以及設(shè)置在所述歧管清洗容器的底部的清洗孔；

歧管容器蓋，設(shè)置在所述歧管清洗容器的開口，用于密封所述密封口，所述歧管容器蓋設(shè)置有至少一個(gè)用于固定歧管的歧管固定孔以及至少一個(gè)排氣孔；

溶劑清洗管道，設(shè)置在所述歧管容器蓋的上方，一端與所述歧管連接，另一端輸入清洗溶劑；以及

壓縮空氣清洗管道，設(shè)置在所述歧管容器蓋的上方，一端與所述歧管連接，另一端輸入壓縮空氣；其中所述歧管清洗方法包括：

將所述歧管固定在所述歧管固定孔上，并關(guān)閉所述清洗孔；

將所述溶劑清洗管道和所述壓縮空氣清洗管道與所述歧管一端連接；

通過所述溶劑清洗管道輸入清洗溶劑，以便所述歧管在所述清洗溶劑中進(jìn)行浸泡清洗；

開啟所述清洗孔將所述清洗溶劑排出；以及

通過所述壓縮空氣清洗管道輸入壓縮空氣，以便將所述歧管吹干。

在本發(fā)明所述的歧管清洗方法中，所述通過所述溶劑清洗管道輸入清洗溶劑的步驟之前還包括：

通過所述壓縮空氣清洗管道輸入壓縮空氣，以便對(duì)所述歧管進(jìn)行吹洗操作。

在本發(fā)明所述的歧管清洗方法中，所述歧管包括通液歧管以及通氣歧管，所述歧管固定孔包括用于固定所述通液歧管的通液歧管固定孔以及用于固定所述通氣歧管的通氣歧管固定孔；

所述通液歧管的一端分別與所述溶劑清洗管道和所述壓縮空氣清洗管道連接；所述通液歧管的另一端接近所述清洗孔；

所述通氣歧管的一端分別與所述溶劑清洗管道和所述壓縮空氣清洗管道連接；所述通氣歧管的另一端接近所述歧管清洗容器的密封口。

在本發(fā)明所述的歧管清洗方法中，所述通液歧管的長(zhǎng)度大于所述通氣歧管的長(zhǎng)度。

在本發(fā)明所述的歧管清洗方法中，所述溶劑清洗管道包括用于控制所述溶劑清洗管道的第一開關(guān)，所述壓縮空氣清洗管道包括用于控制所述壓縮空氣清洗管道的第二開關(guān)。

在本發(fā)明所述的歧管清洗方法中，當(dāng)通過所述溶劑清洗管道輸入清洗溶劑時(shí)，所述第一開關(guān)開啟，所述第二開關(guān)關(guān)閉；

當(dāng)通過所述壓縮空氣清洗管道輸入壓縮空氣，所述第一開關(guān)關(guān)閉，所述第二開關(guān)開啟。

本發(fā)明的歧管清洗裝置及歧管清洗方法通過將歧管固定在歧管清洗容器中，隨后通過溶劑清洗管道和壓縮空氣清洗管道進(jìn)行清洗，從而實(shí)現(xiàn)了對(duì)歧管的有效清洗，解決了現(xiàn)有的歧管無法進(jìn)行有效清洗，從而對(duì)光刻膠管路造成污染的技術(shù)問題。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。其中：

圖1為本發(fā)明的歧管清洗裝置的優(yōu)選實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明的歧管清洗裝置對(duì)應(yīng)的歧管清洗方法的流程圖。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性的勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

請(qǐng)參照?qǐng)D1，圖1為本發(fā)明的歧管清洗裝置的優(yōu)選實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。本優(yōu)選實(shí)施例的歧管清洗裝置10包括歧管清洗容器11、歧管容器蓋12、溶劑清洗管道13以及壓縮空氣清洗管道14。

歧管清洗容器11具有一設(shè)置在歧管清洗容器的頂部的密封口(圖中未示出)以及設(shè)置在歧管清洗容器的底部的清洗孔111。歧管容器蓋12設(shè)置在歧管清洗容器的開口，用于密封密封口，歧管容器蓋12設(shè)置有至少一個(gè)用于固定歧管的歧管固定孔以及至少一個(gè)排氣孔121；溶劑清洗管道13設(shè)置在歧管容器蓋12的上方，一端與歧管連接，另一端輸入清洗溶劑；壓縮空氣清洗管道14設(shè)置在歧管容器蓋12的上方，一端與歧管連接，另一端輸入壓縮空氣。

具體的，歧管包括通液歧管151以及通氣歧管152，歧管固定孔包括用于固定通液歧管151的通液歧管固定孔121以及用于固定通氣歧管152的通氣歧管固定孔122；通液歧管151的一端分別與溶劑清洗管道13和壓縮空氣清洗管道14連接；通液歧管151的另一端接近清洗孔111；通氣歧管152的一端分別與溶劑清洗管道13和壓縮空氣清洗管道14連接；通氣歧管152的另一端接近歧管清洗容器11的密封口。其中通液歧管151的長(zhǎng)度大于通氣歧管152的長(zhǎng)度。

此外溶劑清洗管道13包括用于控制溶劑清洗管道13的第一開關(guān)131，壓縮空氣清洗管道14包括用于控制壓縮空氣清洗管道14的第二開關(guān)141。

本優(yōu)選實(shí)施例的歧管清洗裝置10使用時(shí)，首先將歧管固定在歧管容器蓋12的歧管固定孔上，具體的，通液歧管151固定在通液歧管固定孔121上，通氣歧管152固定在通氣歧管固定孔122上。

隨后將歧管容器蓋12閉合在歧管清洗容器11的開口處，以密封歧管清洗容器的密封口，同時(shí)關(guān)閉清洗孔111。

隨后打開壓縮空氣清洗管道14上的第二開關(guān)141，關(guān)閉溶劑清洗管道13上的第一開關(guān)131，壓縮空氣清洗管道14上的壓縮空氣對(duì)通液歧管151以及通氣歧管152進(jìn)行吹洗操作，即將通液歧管151中殘留的光刻膠排出至歧管清洗容器中；同時(shí)壓縮空氣從歧管容器蓋12上的排氣孔121排出。

然后將壓縮空氣清洗管道14上的第二開關(guān)141關(guān)閉，打開溶劑清洗管道13上的第一開關(guān)131，清洗溶劑通過溶劑清洗管道13輸入至歧管清洗容器12中，這樣通液歧管151以及通氣歧管152可以在歧管清洗容器11中的清洗溶劑中進(jìn)行浸泡清洗操作。這里優(yōu)選將通液歧管151完全浸泡在清洗溶劑中。

隨后同時(shí)關(guān)閉第一開關(guān)131和第二開關(guān)141，打開歧管清洗容器11底部的清洗孔111，這樣從清洗孔111將歧管清洗容器11中的清洗溶劑排出。

然后將溶劑清洗管道13上的第一開關(guān)131關(guān)閉，打開壓縮空氣清洗管道14上的第二開關(guān)141，這樣壓縮空氣可以對(duì)通液歧管151以及通氣歧管152上殘留的清洗溶劑進(jìn)行吹干操作。這里優(yōu)選通液歧管151的另一端接近清洗孔111，通氣歧管152的另一端接近歧管清洗容器11的密封口，這樣通氣歧管152的排出的壓縮空氣可以很好將清洗溶劑從清洗孔111中排出。

最后將通液歧管151和通氣歧管152從歧管容器蓋12的歧管固定孔上取出，這樣即完成了本優(yōu)選實(shí)施例的歧管清洗裝置10的歧管清洗流程。

本優(yōu)選實(shí)施例的歧管清洗裝置通過歧管清洗容器的設(shè)置可對(duì)歧管進(jìn)行有效清洗。

本發(fā)明還提供一種歧管清洗方法，請(qǐng)參照?qǐng)D2，圖2為本發(fā)明的歧管清洗裝置對(duì)應(yīng)的歧管清洗方法的流程圖。本優(yōu)選實(shí)施例的歧管清洗方法可使用上述的歧管清洗裝置進(jìn)行實(shí)施。

改歧管清洗裝置包括歧管清洗容器、歧管容器蓋、溶劑清洗管道以及壓縮空氣清洗管道。

歧管清洗容器具有一設(shè)置在歧管清洗容器的頂部的密封口以及設(shè)置在歧管清洗容器的底部的清洗孔。歧管容器蓋設(shè)置在歧管清洗容器的開口，用于密封密封口，歧管容器蓋設(shè)置有至少一個(gè)用于固定歧管的歧管固定孔以及至少一個(gè)排氣孔；溶劑清洗管道設(shè)置在歧管容器蓋的上方，一端與歧管連接，另一端輸入清洗溶劑；壓縮空氣清洗管道設(shè)置在歧管容器蓋的上方，一端與歧管連接，另一端輸入壓縮空氣。

具體的，歧管包括通液歧管以及通氣歧管，歧管固定孔包括用于固定通液歧管的通液歧管固定孔以及用于固定通氣歧管的通氣歧管固定孔；通液歧管的一端分別與溶劑清洗管道和壓縮空氣清洗管道連接；通液歧管的另一端接近清洗孔；通氣歧管的一端分別與溶劑清洗管道和壓縮空氣清洗管道連接；通氣歧管的另一端接近歧管清洗容器的密封口。其中通液歧管的長(zhǎng)度大于通氣歧管的長(zhǎng)度。

溶劑清洗管道包括用于控制溶劑清洗管道的第一開關(guān)，壓縮空氣清洗管道包括用于控制壓縮空氣清洗管道的第二開關(guān)。

本優(yōu)選實(shí)施例的歧管清洗方法包括：

步驟s201，將歧管固定在歧管固定孔上，并關(guān)閉清洗孔；

具體的，通液歧管固定在通液歧管固定孔上，通氣歧管固定在通氣歧管固定孔上，隨后將歧管容器蓋閉合在歧管清洗容器的開口處，以密封歧管清洗容器的密封口，同時(shí)關(guān)閉清洗孔。

步驟s202，將溶劑清洗管道和壓縮空氣清洗管道與歧管一端連接；以便進(jìn)行清洗操作。

步驟s203，通過壓縮空氣清洗管道輸入壓縮空氣，以便對(duì)歧管進(jìn)行吹洗操作。

具體的，打開壓縮空氣清洗管道上的第二開關(guān)，壓縮空氣清洗管道上的壓縮空氣對(duì)通液歧管以及通氣歧管進(jìn)行吹洗操作，即將通液歧管中殘留的光刻膠排出至歧管清洗容器中；同時(shí)壓縮空氣從歧管容器蓋上的排氣孔排出。

步驟s204，通過溶劑清洗管道輸入清洗溶劑，以便歧管在清洗溶劑中進(jìn)行浸泡清洗；

具體的，將壓縮空氣清洗管道上的第二開關(guān)關(guān)閉，打開溶劑清洗管道上的第一開關(guān)，清洗溶劑通過溶劑清洗管道輸入至歧管清洗容器中，這樣通液歧管以及通氣歧管可以在歧管清洗容器中的清洗溶劑中進(jìn)行浸泡清洗操作。這里優(yōu)選將通液歧管完全浸泡在清洗溶劑中。

步驟s205，開啟清洗孔將清洗溶劑排出；

具體的，同時(shí)關(guān)閉第一開關(guān)和第二開關(guān)，打開歧管清洗容器底部的清洗孔，這樣從清洗孔將歧管清洗容器中的清洗溶劑排出。

步驟s206，通過壓縮空氣清洗管道輸入壓縮空氣，以便將歧管吹干。

具體的，將溶劑清洗管道上的第一開關(guān)關(guān)閉，打開壓縮空氣清洗管道上的第二開關(guān)，這樣壓縮空氣可以對(duì)通液歧管以及通氣歧管上殘留的清洗溶劑進(jìn)行吹干操作。這里優(yōu)選通液歧管的另一端接近清洗孔，通氣歧管的另一端接近歧管清洗容器的密封口，這樣通氣歧管的排出的壓縮空氣可以很好將清洗溶劑從清洗孔中排出。

最后將通液歧管和通氣歧管從歧管容器蓋的歧管固定孔上取出。這樣即完成了本優(yōu)選實(shí)施例的歧管清洗方法的歧管清洗流程。

本發(fā)明的歧管清洗裝置及歧管清洗方法通過將歧管固定在歧管清洗容器中，隨后通過溶劑清洗管道和壓縮空氣清洗管道進(jìn)行清洗，從而實(shí)現(xiàn)了對(duì)歧管的有效清洗，解決了現(xiàn)有的歧管無法進(jìn)行有效清洗，從而對(duì)光刻膠管路造成污染的技術(shù)問題。

綜上所述，雖然本發(fā)明已以優(yōu)選實(shí)施例揭露如上，但上述優(yōu)選實(shí)施例并非用以限制本發(fā)明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，均可作各種更動(dòng)與潤(rùn)飾，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍以權(quán)利要求界定的范圍為準(zhǔn)。