本發(fā)明涉及半導(dǎo)體工藝設(shè)備領(lǐng)域，特別涉及一種清洗裝置。

背景技術(shù)：

在顯示器件的制造過(guò)程中，經(jīng)常會(huì)使用到構(gòu)圖工藝。而在構(gòu)圖工藝中，常常會(huì)使用到光刻膠。光刻膠在使用時(shí)需要進(jìn)行曝光和顯影，在顯影過(guò)程中，有部分光刻膠會(huì)被去除，從而將掩膜上的圖案轉(zhuǎn)移到光刻膠上。

在完成顯影之后，由于會(huì)有一定量的顯影液和在顯影過(guò)程中被去除的光刻膠殘留在工件上，因此需要對(duì)工件進(jìn)行清洗，以去除殘留的顯影液和光刻膠。目前的清洗方法通常是將工件水平放置在清洗裝置的工件支撐臺(tái)上，再通過(guò)清洗裝置的噴淋組件對(duì)工件進(jìn)行噴淋。

由于光刻膠在顯影后形成的圖案中，常常會(huì)包括一些孔、槽等，因此在清洗過(guò)程中殘留的顯影液、光刻膠和污漬容易殘留到孔、槽等結(jié)構(gòu)中而難以被去除干凈。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為了解決現(xiàn)有的清洗裝置難以完全去除殘留的顯影液、光刻膠和污漬的問(wèn)題，本發(fā)明實(shí)施例提供了一種清洗裝置。所述技術(shù)方案如下：

本發(fā)明實(shí)施例提供了一種清洗裝置，包括工件支撐臺(tái)和噴淋組件，所述工件支撐臺(tái)包括支撐平臺(tái)、角度調(diào)節(jié)單元和支座，所述支撐平臺(tái)和所述角度調(diào)節(jié)單元均設(shè)置在所述支座上，所述支撐平臺(tái)具有用于承載待清洗工件的支撐平面，所述角度調(diào)節(jié)單元用于調(diào)節(jié)所述支撐平面的傾斜角度。

優(yōu)選地，所述支撐平臺(tái)包括平臺(tái)本體和支撐臂，所述支撐臂的一端固定連接在所述平臺(tái)本體的與所述支撐平面相反的一面上，所述支撐臂的另一端與所述角度調(diào)節(jié)單元連接，所述角度調(diào)節(jié)單元用于驅(qū)動(dòng)所述支撐臂的另一端沿一弧線運(yùn)動(dòng)。

進(jìn)一步地，所述支座上設(shè)有凹形的弧面，所述支撐臂的另一端可沿所述凹形的弧面滑動(dòng)地設(shè)置在所述凹形的弧面上。

優(yōu)選地，所述角度調(diào)節(jié)單元包括螺紋套、螺紋桿和用于驅(qū)動(dòng)螺紋桿繞其軸線旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)器，所述螺紋套套裝在所述螺紋桿上且與所述螺紋桿螺紋連接，所述支撐臂的另一端與所述螺紋套鉸接。

優(yōu)選地，所述支撐臂包括支撐塊和設(shè)置在所述支撐塊上的旋轉(zhuǎn)動(dòng)力單元，所述旋轉(zhuǎn)動(dòng)力單元的輸出端與所述支撐平臺(tái)固定連接，所述支撐塊與所述角度調(diào)節(jié)單元連接。

可選地，所述支撐平臺(tái)上還設(shè)有工件夾持組件。

進(jìn)一步地，所述工件夾持組件包括設(shè)置在所述支撐平面上的8個(gè)限位釘，所述8個(gè)限位釘中的4個(gè)限位釘分布在一矩形的四個(gè)角上，所述8個(gè)限位釘中的另4個(gè)限位釘分布在另一矩形的四個(gè)角上，兩個(gè)矩形的幾何中心重合，且在所述兩個(gè)矩形中，一個(gè)矩形的相交的兩條邊分別平行于另一個(gè)矩形的相交的兩條邊。

優(yōu)選地，所述噴淋組件包括噴嘴支架和設(shè)置在所述噴嘴支架上的噴嘴。

進(jìn)一步地，所述噴嘴支架包括固定支架和活動(dòng)支架，所述活動(dòng)支架可沿第一方向和第二方向移動(dòng)地設(shè)置在固定支架上，所述噴嘴設(shè)置在所述活動(dòng)支架上，其中，所述第一方向和所述第二方向相互垂直。

可選地，所述噴嘴可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在所述噴嘴支架上，且所述噴嘴的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線垂直于所述噴嘴的噴射方向。

本發(fā)明實(shí)施例提供的技術(shù)方案帶來(lái)的有益效果是：通過(guò)設(shè)置角度調(diào)節(jié)單元可以調(diào)節(jié)支撐平面的傾斜角度，在清洗的過(guò)程中將工件放置在支撐平面上，由于支撐平面傾斜，因此可以使殘留的光刻膠、顯影液和污漬更容易被沖走，進(jìn)一步提高清洗效果。

附圖說(shuō)明

為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種清洗裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種工件支撐臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種清洗裝置的另一狀態(tài)示意圖；

圖4是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種平臺(tái)本體的正視圖；

圖5是本發(fā)明實(shí)施例提供的另一種工件支撐臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種驅(qū)動(dòng)器的安裝示意圖；

圖7是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種螺紋套的安裝示意圖；

圖8是本發(fā)明實(shí)施例提供的另一種工件支撐臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖9是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種噴嘴支架的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖10是本發(fā)明實(shí)施例提供的另一種噴嘴支架的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖11是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種安裝架的正視圖。

具體實(shí)施方式

為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明實(shí)施方式作進(jìn)一步地詳細(xì)描述。

圖1是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種清洗裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示，該清洗裝置包括工件支撐臺(tái)1和噴淋組件2。

圖2是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種工件支撐臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖2所示，工件支撐臺(tái)包括支撐平臺(tái)10、角度調(diào)節(jié)單元和支座30，支撐平臺(tái)10和角度調(diào)節(jié)單元均設(shè)置在支座30上，支撐平臺(tái)10具有用于承載待清洗工件的支撐平面10a，角度調(diào)節(jié)單元用于調(diào)節(jié)支撐平面10a的傾斜角度α。圖1～3分別示出了支撐平面10a的三種不同的狀態(tài)。

本發(fā)明實(shí)施例通過(guò)設(shè)置角度調(diào)節(jié)單元可以調(diào)節(jié)支撐平面的傾斜角度，在清洗的過(guò)程中將工件放置在支撐平面上，由于支撐平面傾斜，因此可以使殘留的光刻膠、顯影液和污漬更容易被沖走，進(jìn)一步提高清洗效果。

具體地，支撐平臺(tái)10包括平臺(tái)本體11和支撐臂12，支撐臂12的一端固定連接在平臺(tái)本體11的與支撐平面10a相反的一面上，支撐臂12的另一端與角度調(diào)節(jié)單元連接，角度調(diào)節(jié)單元用于驅(qū)動(dòng)支撐臂12的另一端沿一弧線運(yùn)動(dòng)。通過(guò)角度調(diào)節(jié)單元驅(qū)動(dòng)支撐臂12遠(yuǎn)離平臺(tái)本體11的一端沿弧線運(yùn)動(dòng)可以便于調(diào)節(jié)支撐平面10a的傾斜角度α的大小。

在本實(shí)施例中，平臺(tái)本體11為平板形的支撐板，支撐板的一個(gè)表面為支撐平面10a，支撐板的與支撐平面10a相反的一個(gè)表面與支撐臂12垂直連接。

如圖2所示，支座30上設(shè)有凹形的弧面30a，支撐臂12的遠(yuǎn)離平臺(tái)本體11的一端可沿凹形的弧面30a滑動(dòng)地設(shè)置在凹形的弧面30a上，通過(guò)設(shè)置凹形的弧面30a，使支撐臂12貼著凹形的弧面30a滑動(dòng)，從而使支撐臂12遠(yuǎn)離平臺(tái)本體11的一端沿弧線運(yùn)動(dòng)，以帶動(dòng)平臺(tái)本體11翻轉(zhuǎn)，調(diào)節(jié)支撐平面10a的傾斜角度。

傾斜角度α可以是支撐臂12沿凹形的弧面30a滑動(dòng)過(guò)程中，支撐平面10a相對(duì)于支撐臂12滑動(dòng)至滑動(dòng)軌跡的一端時(shí)支撐平面10a的夾角。

具體地，支撐臂12可以包括支撐塊121和設(shè)置在支撐塊121上的旋轉(zhuǎn)動(dòng)力單元122，旋轉(zhuǎn)動(dòng)力單元122的輸出端1221與支撐平臺(tái)11固定連接，支撐塊121與角度調(diào)節(jié)單元連接，通過(guò)設(shè)置旋轉(zhuǎn)動(dòng)力單元122，由旋轉(zhuǎn)動(dòng)力單元122驅(qū)動(dòng)支撐平臺(tái)11轉(zhuǎn)動(dòng)，使得支撐平臺(tái)11帶動(dòng)工件3轉(zhuǎn)動(dòng)，可以利于對(duì)工件3進(jìn)行清洗，使殘留的光刻膠和污漬更容易被沖走。

容易想到的是，支撐臂20與平臺(tái)本體11的中心連接，以使得平臺(tái)本體11的轉(zhuǎn)動(dòng)更加平穩(wěn)。例如，當(dāng)平臺(tái)本體11為圓形板時(shí)，支撐臂20可以連接在圓形板的圓心處，當(dāng)平臺(tái)本體11為矩形板時(shí)，支撐臂20可以連接在矩形板的兩條對(duì)角線的交點(diǎn)處。

實(shí)現(xiàn)時(shí)，旋轉(zhuǎn)動(dòng)力單元122可以包括電動(dòng)機(jī)，優(yōu)選可以為步進(jìn)電機(jī)，使得可以帶動(dòng)平臺(tái)本體11間歇轉(zhuǎn)動(dòng)，方便清洗工件。

具體可以將支撐塊121滑動(dòng)設(shè)置在弧面30a上。

實(shí)現(xiàn)時(shí)，支撐塊121的與支座30接觸的表面貼合在弧面30a上，以使支撐塊121在凹面30a上移動(dòng)時(shí)，隨著支撐塊121所處的位置的不同，支撐臂12與豎直方向的夾角也發(fā)生變化。

具體地，弧面30a可以為四分之一圓弧面，則支撐塊121在弧面30a上移動(dòng)時(shí)，傾斜角度α的變化范圍為0°～90°。

實(shí)現(xiàn)時(shí)，支撐平臺(tái)11上還設(shè)有工件夾持組件，通過(guò)設(shè)置工件夾持組件可以對(duì)工件進(jìn)行固定，可以避免工件松動(dòng)。

可選地，工件夾持組件可以包括限位釘111，圖4是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種平臺(tái)本體的正視圖，如圖4所示，平臺(tái)本體11的支撐平面10a上設(shè)置有多個(gè)限位釘111，通過(guò)設(shè)置限位釘111可以對(duì)工件3進(jìn)行限位，方便操作。

實(shí)現(xiàn)時(shí)，限位釘111可以可拆卸地設(shè)置在支撐平面10a上，這樣可以在將工件固定到支撐平臺(tái)11上時(shí)，先卸下部分限位釘111，將工件放置到支撐平臺(tái)11上，再將卸下的限位釘111重新安裝到支撐平臺(tái)11上，以將工件固定。

具體地，工件夾持組件可以包括設(shè)置在支撐平面10a上的8個(gè)限位釘111，8個(gè)限位釘111中的4個(gè)限位釘111分布在一矩形a的四個(gè)角上，8個(gè)限位釘111中的另4個(gè)限位釘111分布在另一矩形b的四個(gè)角上，其中，兩個(gè)矩形的幾何中心重合，且兩個(gè)矩形中，一個(gè)矩形的相交的兩條邊分別平行于另一個(gè)矩形的相交的兩條邊。采用這樣的安裝方式可以便于將矩形的工件3限位安裝到支撐平面10a上。需要進(jìn)行清洗的工件3通常是玻璃基板，而最常見(jiàn)的玻璃基板的形狀為矩形，采用這樣的設(shè)置方式可以適應(yīng)矩形的玻璃基板的固定。容易想到的是，對(duì)于不同形狀的工件，限位釘111的布置方式也可以不同。

需要說(shuō)明的是，雖然圖4所示的平臺(tái)本體11呈矩形，但是在其他實(shí)施例中，平臺(tái)本體11也可以呈其他形狀，例如圓形等。

圖5是本發(fā)明實(shí)施例提供的另一種工件支撐臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖5所示，，支座30上可以設(shè)置有弧形導(dǎo)軌31，支撐塊121設(shè)置在弧形導(dǎo)軌31上，通過(guò)弧形導(dǎo)軌31可以限制支撐塊121的移動(dòng)方向，使平臺(tái)本體11更加平穩(wěn)。

具體地，弧形導(dǎo)軌31可以包括設(shè)置在弧面30a上的弧形桿，支撐塊121上設(shè)置有與弧形導(dǎo)軌31的截面形狀相同的通孔，支撐塊121通過(guò)通孔套裝在弧形桿上，且支撐塊121可以沿著弧形導(dǎo)軌31滑動(dòng)。

實(shí)現(xiàn)時(shí)，弧形導(dǎo)軌31可以只包括1根弧形桿，以簡(jiǎn)化工件支撐臺(tái)的結(jié)構(gòu)，在其他實(shí)施例中，弧形導(dǎo)軌31也可以包括2根或是2根以上的弧形桿，通過(guò)設(shè)置多根弧形桿可以使支撐塊121的移動(dòng)更加平穩(wěn)，便于工件的清洗。

優(yōu)選地，支撐塊121與支撐平面10a之間的距離與支撐塊121的運(yùn)動(dòng)軌跡的半徑相同，這樣使得在調(diào)節(jié)支撐平面10a的傾斜角度α?xí)r，平臺(tái)本體11只會(huì)發(fā)生翻轉(zhuǎn)，不會(huì)移動(dòng)位置，可以減小工件移動(dòng)的幅度，使工件更加平穩(wěn)。

如圖5所示，角度調(diào)節(jié)單元可以包括螺紋套41、螺紋桿42和用于驅(qū)動(dòng)螺紋桿42繞其軸線旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)器43，螺紋套41套裝在螺紋桿42上且與螺紋桿42螺紋連接，支撐臂12的另一端與螺紋套41鉸接。其中，螺紋套41相對(duì)支撐臂12的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線垂直于螺紋套41的軸線，驅(qū)動(dòng)器43用于驅(qū)動(dòng)螺紋桿42繞螺紋桿42的軸線自轉(zhuǎn)。通過(guò)驅(qū)動(dòng)器43驅(qū)動(dòng)螺紋桿42自轉(zhuǎn)時(shí)，螺紋桿42旋入螺紋套41的長(zhǎng)度會(huì)發(fā)生變化，以圖4所示的工件支撐臺(tái)為例，當(dāng)螺紋桿42旋入螺紋套41的長(zhǎng)度增大時(shí)，則支撐塊121會(huì)沿著弧面30a移動(dòng)，支撐臂12與豎直平面之間的夾角會(huì)發(fā)生變化，相應(yīng)地，支撐平面10a的傾斜角度α也發(fā)生了變化，因此可以通過(guò)控制螺紋桿42自轉(zhuǎn)，調(diào)節(jié)支撐平面10a的傾斜角度α的大小。

實(shí)現(xiàn)時(shí)，驅(qū)動(dòng)器44也可以為電動(dòng)機(jī)。驅(qū)動(dòng)器44可以轉(zhuǎn)動(dòng)連接在弧形導(dǎo)軌31的一端，螺紋桿42的一端與驅(qū)動(dòng)器43的輸出軸同軸連接，螺紋桿42的另一端則與螺紋套41通過(guò)螺紋連接。

圖6是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種驅(qū)動(dòng)器的安裝示意圖，如圖6所示，弧形導(dǎo)軌31的一端可以設(shè)置有驅(qū)動(dòng)器安裝軸311，驅(qū)動(dòng)器安裝軸311的軸線垂直于弧形導(dǎo)軌31所在的平面，驅(qū)動(dòng)器43與驅(qū)動(dòng)器安裝軸311鉸接，具體可以在驅(qū)動(dòng)器43上設(shè)置一安裝孔(例如在作為驅(qū)動(dòng)器的電動(dòng)機(jī)的殼體上設(shè)置一個(gè)安裝孔)，驅(qū)動(dòng)器安裝軸311轉(zhuǎn)動(dòng)插設(shè)在安裝孔中，從而使得驅(qū)動(dòng)器43可以繞驅(qū)動(dòng)器安裝軸311轉(zhuǎn)動(dòng)。

圖7是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種螺紋套的安裝示意圖，如圖7所示，螺紋套41的外側(cè)壁上可以設(shè)置沿螺紋套41的徑向延伸的螺紋套安裝軸411，螺紋套安裝軸411轉(zhuǎn)動(dòng)插設(shè)在支撐塊121上，以使得螺紋套41可以繞螺紋套安裝軸411自由轉(zhuǎn)動(dòng)。其中螺紋套安裝軸411的軸線與驅(qū)動(dòng)器安裝軸311的軸線平行。

實(shí)現(xiàn)時(shí)，支撐塊121上可以設(shè)置有插裝孔121a，螺紋套安裝軸411插設(shè)在支撐塊121上的插裝孔121a中。

優(yōu)選地，插裝孔121a可以為通孔，且螺紋套安裝軸411的長(zhǎng)度大于插裝孔121a的長(zhǎng)度，螺紋套安裝軸411的伸出插裝孔121a的一端上可以設(shè)置擋圈，以避免螺紋套41與支撐塊121分離，這樣可以使得支撐塊121的移動(dòng)更加平穩(wěn)。

優(yōu)選地，螺紋桿42的長(zhǎng)度不小于弧形導(dǎo)軌31的弦長(zhǎng)，以使得支撐塊121可以滑動(dòng)到弧形導(dǎo)軌31的兩端。

圖8是本發(fā)明實(shí)施例提供的另一種工件支撐臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖8所示，支座30上可以設(shè)置弧形齒條51，支撐塊121上設(shè)置有可與弧形齒條51相嚙合的齒輪52和動(dòng)力單元(圖未示)，齒輪52與弧形齒條51嚙合，動(dòng)力單元用于驅(qū)動(dòng)齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)52，從而可以通過(guò)驅(qū)動(dòng)齒輪52轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)支撐塊121移動(dòng)，以改變支撐平面10a的傾斜角度α。

實(shí)現(xiàn)時(shí)，動(dòng)力單元可以是電動(dòng)機(jī)。此外，電動(dòng)機(jī)上可以設(shè)置有電磁制動(dòng)器，電磁制動(dòng)器可以在支撐塊121移動(dòng)到某一位置后，抱緊電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)軸，避免支撐塊121在重力作用下移動(dòng)。

參照?qǐng)D1，噴淋組件2包括噴嘴支架21和設(shè)置在噴嘴支架21上的噴嘴22，通過(guò)噴嘴支架21固定安裝噴嘴22，可以便于使噴嘴21朝向放置在支撐平面10a上的工件，以通過(guò)噴嘴21噴淋清洗液清洗工件。

圖9是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種噴嘴支架的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖9所示，噴嘴支架21可以包括固定支架211和活動(dòng)支架212，活動(dòng)支架212可沿第一方向和第二方向移動(dòng)地設(shè)置在固定支架211上，噴嘴22設(shè)置在活動(dòng)支架212上，其中，第一方向和第二方向相互垂直。通過(guò)將活動(dòng)支架212設(shè)置在固定支架211上，由于活動(dòng)支架212可以沿第一方向和第二方向移動(dòng)，因此可以在進(jìn)行清洗前，通過(guò)調(diào)整活動(dòng)支架212，改變噴嘴22與支撐平面10a之間的間距，便于對(duì)工件進(jìn)行清洗。

進(jìn)一步地，活動(dòng)支架212可以包括x向移動(dòng)機(jī)構(gòu)和安裝架213，噴嘴22設(shè)置在安裝架213上，x向移動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置在固定支架211上，安裝架213轉(zhuǎn)動(dòng)連接在x向移動(dòng)機(jī)構(gòu)上，安裝架213的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線與第一方向和第二方向均垂直，從而通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)安裝架213，可以使安裝架213上的多個(gè)噴嘴22與工件的距離相同，使噴嘴22噴出的水流對(duì)工件不同區(qū)域的沖擊力相等。

具體地，固定支架211可以包括立桿2112和y向移動(dòng)機(jī)構(gòu)，y向移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括y向動(dòng)力單元2116、y向絲杠2111和y向螺母2113，y向絲杠2111與立桿2112平行間隔設(shè)置，立桿2112上可活動(dòng)地套設(shè)有y向套筒2114，y向螺母2113套設(shè)在y向絲杠2111上，y向螺母2113與y向套筒2114的外壁通過(guò)連接板2115固定連接，y向動(dòng)力單元2116用于驅(qū)動(dòng)y向絲杠2111轉(zhuǎn)動(dòng)，從而可以通過(guò)驅(qū)動(dòng)y向絲杠2111轉(zhuǎn)動(dòng)，使y向螺母2113沿著y向絲杠2111的軸向移動(dòng)，以帶動(dòng)y向套筒2114沿立桿2112的軸向移動(dòng)。

x向移動(dòng)機(jī)構(gòu)可以包括x向動(dòng)力單元2123、x向絲杠2121和x向套筒2122，x向套筒2122的一端套設(shè)在x向絲杠2121上，且與x向絲杠2121螺紋連接，x向套筒2122的另一端與安裝架213連接，x向套筒2122的外壁上設(shè)有沿x向套筒2122的軸向延伸的凸棱2124，連接板2115上可以設(shè)置有限位安裝孔2115a，x向套筒2122活動(dòng)插裝在限位安裝孔2115a中，x向動(dòng)力單元2123與連接板2115相對(duì)固定，x向動(dòng)力單元2123用于驅(qū)動(dòng)x向絲杠2121轉(zhuǎn)動(dòng)，從而可以通過(guò)驅(qū)動(dòng)x向絲杠2121轉(zhuǎn)動(dòng)，使x向套筒2122沿著x向絲杠2121的軸向移動(dòng)，以帶動(dòng)安裝架213移動(dòng)。

容易想到的是，連接板2115上，位于限位安裝孔2115a的邊緣處設(shè)置有與凸棱2124相匹配的槽，凸棱2124位于槽中，從而可以通過(guò)凸棱2124與槽的配合，避免x向套筒2122隨x向絲杠2121一同轉(zhuǎn)動(dòng)。

在其他實(shí)施例中，也可以將x向套筒2122的截面的外輪廓設(shè)置為除圓形之外的其他形狀，例如橢圓形、矩形，以避免x向套筒2122隨x向絲杠2121一同轉(zhuǎn)動(dòng)。

實(shí)現(xiàn)時(shí)，x向移動(dòng)機(jī)構(gòu)還可以包括安裝板21231和連桿21232，連桿21232的一端與連接板2115相對(duì)固定，連桿21232的另一端與安裝板21231固定連接，x向動(dòng)力單元2123可以設(shè)置在安裝板21231上，從而便于安裝x向動(dòng)力單元2123。

安裝板21231上可以連接兩根連桿21232，一根連桿21232可以連接在y向螺母2113上，另一根連桿21232可以連接在y向套筒2114上。

其中，x向動(dòng)力單元2123和y向動(dòng)力單元2116均可以為電動(dòng)機(jī)，優(yōu)選為伺服電機(jī)，以便于控制。

圖10是本發(fā)明實(shí)施例提供的另一種噴嘴支架的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖10所示，安裝架213上可以設(shè)置有耳板2131，x向套筒2122通過(guò)耳板2131與安裝架213鉸接，這樣可以方便調(diào)節(jié)安裝架213的角度，以使安裝架213平行于支撐平面10a。

具體地，耳板2131與x向套筒2122之間可以通過(guò)銷軸2132連接，連接方式簡(jiǎn)單，便于安裝架213的轉(zhuǎn)動(dòng)，此外，銷軸2132上還可以設(shè)置緊固螺母(圖未示)，緊固螺母與銷軸2132螺紋連接，以使得可以在調(diào)整安裝架213后，通過(guò)擰緊緊固螺母，將安裝架213固定，避免安裝架213在清洗過(guò)程中發(fā)生轉(zhuǎn)動(dòng)。

圖11是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種安裝架的正視圖。如圖11所示，安裝架213可以呈矩形，多個(gè)噴嘴22均勻排布在安裝架213上。在其他實(shí)施例中，安裝架213也可以是圓形或是其他形狀。

優(yōu)選地，安裝架213上相距最遠(yuǎn)的兩個(gè)噴嘴22之間的距離小于待清洗的玻璃基板的較短的一條邊的長(zhǎng)度，這樣可以避免清洗過(guò)程中，用于清洗的去離子水被噴灑到玻璃基板的不需要清洗的一面上。

優(yōu)選地，噴嘴22可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在噴嘴支架21上，且噴嘴22的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線垂直于噴嘴22的噴射方向，使得可以調(diào)整噴嘴22的朝向，即調(diào)節(jié)噴嘴22的出水方向與垂直于安裝架213的方向之間的夾角θ(如圖2中的夾角θ)，便于對(duì)工件進(jìn)行清洗。

優(yōu)選可以在安裝架213上設(shè)置萬(wàn)向噴嘴，萬(wàn)向噴嘴可以隨意改變噴嘴的朝向，從而便于對(duì)工件進(jìn)行清洗。

以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。