本實(shí)用新型屬于腐蝕清洗槽自動(dòng)蓋板領(lǐng)域，更具體的說，它涉及腐蝕清洗槽自動(dòng)蓋板。

背景技術(shù)：

當(dāng)前的芯片制造過程中，國(guó)產(chǎn)設(shè)備的腐蝕槽和清洗槽都是手動(dòng)蓋板，沒辦法配合全自動(dòng)和半自動(dòng)機(jī)械手的自動(dòng)行程生產(chǎn)工藝要求，人工消耗大，人工操作不確定性因素高，人身安全系數(shù)低。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本實(shí)用新型的目的在于提供一種能夠自動(dòng)開合蓋板的腐蝕清洗槽。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供了如下技術(shù)方案：一種腐蝕清洗槽自動(dòng)蓋板，包括清洗槽，所述清洗槽上設(shè)有左蓋板與右蓋板，所述左蓋板上設(shè)有與左蓋板垂直設(shè)置的第一調(diào)節(jié)桿，所述清洗槽的內(nèi)壁上設(shè)有第一轉(zhuǎn)軸，所述第一調(diào)節(jié)桿的一端與第一轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接，另一端與左蓋板固定連接，所述右蓋板上設(shè)有與右蓋板垂直設(shè)置的第二調(diào)節(jié)桿，所述清洗槽的內(nèi)壁上設(shè)有第二轉(zhuǎn)軸，所述第二調(diào)節(jié)桿的一端與第二轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接，另一端與右蓋板固定連接，所述清洗槽上設(shè)有用于轉(zhuǎn)動(dòng)第一調(diào)節(jié)桿的第一轉(zhuǎn)動(dòng)裝置，用于轉(zhuǎn)動(dòng)第二調(diào)節(jié)桿的第二轉(zhuǎn)動(dòng)裝置。

進(jìn)一步設(shè)置為：所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)裝置包括第一氣缸與第一轉(zhuǎn)動(dòng)桿，所述第一氣缸與清洗槽的內(nèi)壁固定連接，所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)桿的一端與第一氣缸轉(zhuǎn)動(dòng)連接，另一端與第一轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接，且第一轉(zhuǎn)動(dòng)桿與第一調(diào)節(jié)桿固定連接。

進(jìn)一步設(shè)置為：所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)裝置包括第二氣缸與第二轉(zhuǎn)動(dòng)桿，所述第二氣缸與清洗槽的內(nèi)壁固定連接，所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)桿的一端與第二氣缸轉(zhuǎn)動(dòng)連接，另一端與第二轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接，且第二轉(zhuǎn)動(dòng)桿與第二調(diào)節(jié)桿固定連接。

進(jìn)一步設(shè)置為：所述第一氣缸與第一轉(zhuǎn)動(dòng)桿連接的一端為第一調(diào)節(jié)端，第一氣缸遠(yuǎn)離第一轉(zhuǎn)動(dòng)桿的一端為第一固定端，所述第二氣缸與第二轉(zhuǎn)動(dòng)桿連接的一端為第二調(diào)節(jié)端，第二氣缸遠(yuǎn)離第二轉(zhuǎn)動(dòng)桿的一端為第二固定端，所述第一調(diào)節(jié)端與第二調(diào)節(jié)端之間距離小于第一固定端與第二固定端之間的距離。

進(jìn)一步設(shè)置為：所述左蓋板與右蓋板閉合的時(shí)候，第一氣缸與第一轉(zhuǎn)動(dòng)桿的夾角為150度。

進(jìn)一步設(shè)置為：所述左蓋板與右蓋板閉合的時(shí)候，第二氣缸與第二轉(zhuǎn)動(dòng)桿的夾角為150度。

本實(shí)用新型的有益效果是：在需要打開左蓋板與右蓋板的時(shí)候，第一氣缸推動(dòng)第一轉(zhuǎn)動(dòng)桿，第一轉(zhuǎn)動(dòng)桿在第一轉(zhuǎn)軸上轉(zhuǎn)動(dòng)，能夠帶動(dòng)第一調(diào)節(jié)桿，能夠?qū)⒆笊w板打開，第二氣缸推動(dòng)第二轉(zhuǎn)動(dòng)桿，第二轉(zhuǎn)動(dòng)桿在第二轉(zhuǎn)軸上轉(zhuǎn)動(dòng)，能夠帶動(dòng)第二調(diào)節(jié)桿，能夠?qū)⒂疑w板打開，在蓋板與右蓋板需要蓋上的時(shí)候，第一氣缸拉動(dòng)第一轉(zhuǎn)動(dòng)桿，第一轉(zhuǎn)動(dòng)桿在第一轉(zhuǎn)軸上轉(zhuǎn)動(dòng)，能夠帶動(dòng)第一調(diào)節(jié)桿，能夠?qū)⒆笊w板蓋上，第二氣缸拉動(dòng)動(dòng)第二轉(zhuǎn)動(dòng)桿，第二轉(zhuǎn)動(dòng)桿在第二轉(zhuǎn)軸上轉(zhuǎn)動(dòng)，能夠帶動(dòng)第二調(diào)節(jié)桿，能夠?qū)⒂疑w板蓋上，根據(jù)指令要求左蓋板與右蓋板實(shí)現(xiàn)自動(dòng)開啟和閉合，配合機(jī)械手的工作要求，自動(dòng)蓋板有效的配合槽內(nèi)溫度控制的要求，自動(dòng)蓋板有效控制了槽內(nèi)液體的揮發(fā)。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型一種腐蝕清洗槽自動(dòng)蓋板的結(jié)構(gòu)示意圖一；

圖2為本實(shí)用新型一種腐蝕清洗槽自動(dòng)蓋板的結(jié)構(gòu)示意圖二；

圖3為本實(shí)用新型一種腐蝕清洗槽自動(dòng)蓋板的結(jié)構(gòu)示意圖三。

圖中： 1、清洗槽；2、左蓋板；3、右蓋板；4、第一調(diào)節(jié)桿；5、第一轉(zhuǎn)軸；6、第二調(diào)節(jié)桿；7、第二轉(zhuǎn)軸；8、第一氣缸；9、第一轉(zhuǎn)動(dòng)桿；10、第二氣缸；11、第二轉(zhuǎn)動(dòng)桿；12、第一調(diào)節(jié)端；13、第一固定端；14、第二調(diào)節(jié)端；15、第二固定端。

具體實(shí)施方式

參照?qǐng)D1至圖3所示，本案例實(shí)施的一種腐蝕清洗槽自動(dòng)蓋板，包括清洗槽1，所述清洗槽1上設(shè)有左蓋板2與右蓋板3，所述左蓋板2上設(shè)有與左蓋板2垂直設(shè)置的第一調(diào)節(jié)桿4，所述清洗槽1的內(nèi)壁上設(shè)有第一轉(zhuǎn)軸5，所述第一調(diào)節(jié)桿4的一端與第一轉(zhuǎn)軸5轉(zhuǎn)動(dòng)連接，另一端與左蓋板2固定連接，所述右蓋板3上設(shè)有與右蓋板3垂直設(shè)置的第二調(diào)節(jié)桿6，所述清洗槽1的內(nèi)壁上設(shè)有第二轉(zhuǎn)軸7，所述第二調(diào)節(jié)桿6的一端與第二轉(zhuǎn)軸7轉(zhuǎn)動(dòng)連接，另一端與右蓋板3固定連接，所述清洗槽1上設(shè)有用于轉(zhuǎn)動(dòng)第一調(diào)節(jié)桿4的第一轉(zhuǎn)動(dòng)裝置，用于轉(zhuǎn)動(dòng)第二調(diào)節(jié)桿6的第二轉(zhuǎn)動(dòng)裝置；

所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)裝置包括第一氣缸8與第一轉(zhuǎn)動(dòng)桿9，所述第一氣缸8與清洗槽1的內(nèi)壁固定連接，所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)桿9的一端與第一氣缸8轉(zhuǎn)動(dòng)連接，另一端與第一轉(zhuǎn)軸5轉(zhuǎn)動(dòng)連接，且第一轉(zhuǎn)動(dòng)桿9與第一調(diào)節(jié)桿4固定連接，所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)裝置包括第二氣缸10與第二轉(zhuǎn)動(dòng)桿11，所述第二氣缸10與清洗槽1的內(nèi)壁固定連接，所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)桿11的一端與第二氣缸10轉(zhuǎn)動(dòng)連接，另一端與第二轉(zhuǎn)軸7轉(zhuǎn)動(dòng)連接，且第二轉(zhuǎn)動(dòng)桿11與第二調(diào)節(jié)桿6固定連接；

所述第一氣缸8與第一轉(zhuǎn)動(dòng)桿9連接的一端為第一調(diào)節(jié)端12，第一氣缸8遠(yuǎn)離第一轉(zhuǎn)動(dòng)桿9的一端為第一固定端13，所述第二氣缸10與第二轉(zhuǎn)動(dòng)桿11連接的一端為第二調(diào)節(jié)端14，第二氣缸10遠(yuǎn)離第二轉(zhuǎn)動(dòng)桿11的一端為第二固定端15，所述第一調(diào)節(jié)端12與第二調(diào)節(jié)端14之間距離小于第一固定端13與第二固定端15之間的距離，所述左蓋板2與右蓋板3閉合的時(shí)候，第一氣缸8與第一轉(zhuǎn)動(dòng)桿9的夾角為150度，所述左蓋板2與右蓋板3閉合的時(shí)候，第二氣缸10與第二轉(zhuǎn)動(dòng)桿11的夾角為150度。

在需要打開左蓋板2與右蓋板3的時(shí)候，第一氣缸8推動(dòng)第一轉(zhuǎn)動(dòng)桿9，第一轉(zhuǎn)動(dòng)桿9在第一轉(zhuǎn)軸5上轉(zhuǎn)動(dòng)，能夠帶動(dòng)第一調(diào)節(jié)桿4，能夠?qū)⒆笊w板2打開，第二氣缸10推動(dòng)第二轉(zhuǎn)動(dòng)桿11，第二轉(zhuǎn)動(dòng)桿11在第二轉(zhuǎn)軸7上轉(zhuǎn)動(dòng)，能夠帶動(dòng)第二調(diào)節(jié)桿6，能夠?qū)⒂疑w板3打開，在蓋板與右蓋板3需要蓋上的時(shí)候，第一氣缸8拉動(dòng)第一轉(zhuǎn)動(dòng)桿9，第一轉(zhuǎn)動(dòng)桿9在第一轉(zhuǎn)軸5上轉(zhuǎn)動(dòng)，能夠帶動(dòng)第一調(diào)節(jié)桿4，能夠?qū)⒆笊w板2蓋上，第二氣缸10拉動(dòng)動(dòng)第二轉(zhuǎn)動(dòng)桿11，第二轉(zhuǎn)動(dòng)桿11在第二轉(zhuǎn)軸7上轉(zhuǎn)動(dòng)，能夠帶動(dòng)第二調(diào)節(jié)桿6，能夠?qū)⒂疑w板3蓋上，根據(jù)指令要求左蓋板2與右蓋板3實(shí)現(xiàn)自動(dòng)開啟和閉合，配合機(jī)械手的工作要求，自動(dòng)蓋板有效的配合槽內(nèi)溫度控制的要求，自動(dòng)蓋板有效控制了槽內(nèi)液體的揮發(fā)

以上所述的實(shí)施例只是本實(shí)用新型的一種較佳的方案，并非對(duì)本實(shí)用新型作任何形式上的限制，在不超出權(quán)利要求所記載的技術(shù)方案的前提下還有其它的變體及改型。