本申請涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)，尤其涉及一種用于石英夾具的清洗工裝。

背景技術(shù)：

1、垂直液相外延的過程中需要用到夾具固定襯底片，又因為整個液相外延的過程是一個重復(fù)升高溫和降溫的過程，這就需要一個耐高溫材料來貼合液相外延工藝過程，為此，一般選用石英作為夾具的材料。

2、石英經(jīng)過原材料加工制成石英夾具之后，表面附帶有雜質(zhì)顆粒，為此需要對石英夾具進行清洗。而由于石英夾具的體積小且數(shù)量多，在清洗過程中石英夾具容易接觸而導(dǎo)致部分夾具無法浸入清洗液中，對清洗效果造成影響。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、有鑒于此，本申請的目的是提供一種用于石英夾具的清洗工裝，用于解決清洗過程中石英夾具容易接觸的問題。

2、為達到上述技術(shù)目的，本申請?zhí)峁┮环N用于石英夾具的清洗工裝，包括：手柄與底座；

3、所述底座上設(shè)置有多個間隔設(shè)置的凹槽；

4、相鄰的所述凹槽之間形成間隔；

5、所述間隔上設(shè)置有通孔；

6、所述通孔沿豎直方向貫穿所述底座；

7、所述手柄連接于所述底座上方。

8、進一步地，還包括清洗容器；

9、所述清洗容器設(shè)置有放置清洗液的清洗腔；

10、所述清洗腔用于供所述底座置入，且所述清洗腔的形狀與所述底座的形狀相適配。

11、進一步地，所述底座為圓柱形。

12、進一步地，所述手柄的底部設(shè)置有螺紋，并與所述底座螺紋連接。

13、進一步地，所述手柄連接所述底座的中部，且與所述底座組成中心對稱結(jié)構(gòu)。

14、進一步地，所述手柄上設(shè)置有摩擦紋。

15、進一步地，所述間隔上間隔設(shè)置有多個所述通孔。

16、進一步地，所述凹槽的槽沿設(shè)置有圓弧倒角。

17、進一步地，所述凹槽的槽寬為5±0.01mm；

18、所述凹槽的槽深為6±0.01mm。

19、進一步地，所述底座為聚四氟乙烯底座。

20、從以上技術(shù)方案可以看出，本申請?zhí)峁┮环N用于石英夾具的清洗工裝，包括：手柄與底座；所述底座上設(shè)置有多個間隔設(shè)置的凹槽；相鄰的所述凹槽之間形成間隔；所述間隔上設(shè)置有通孔；所述通孔沿豎直方向貫穿所述底座；所述手柄連接于所述底座上方。

21、本方案通過底座上的凹槽，可以將石英夾具一一對應(yīng)放置在凹槽上，實現(xiàn)清洗多個石英夾具同時避免石英夾具相互接觸的問題；并且，本方案中在底座上設(shè)置通孔使得底座浸入清洗液的過程中清洗液可以從通孔穿過而更快將石英夾具浸沒，可以確保清洗效果以及提升清洗效率。

技術(shù)特征：

1.一種用于石英夾具的清洗工裝，其特征在于，包括：手柄(10)與底座(20)；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于石英夾具的清洗工裝，其特征在于，還包括清洗容器；

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于石英夾具的清洗工裝，其特征在于，所述底座(20)為圓柱形。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于石英夾具的清洗工裝，其特征在于，所述手柄(10)的底部設(shè)置有螺紋，并與所述底座(20)螺紋連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的用于石英夾具的清洗工裝，其特征在于，所述手柄(10)連接所述底座(20)的中部，且與所述底座(20)組成中心對稱結(jié)構(gòu)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于石英夾具的清洗工裝，其特征在于，所述手柄(10)上設(shè)置有摩擦紋。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于石英夾具的清洗工裝，其特征在于，所述間隔(22)上間隔設(shè)置有多個所述通孔(23)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于石英夾具的清洗工裝，其特征在于，所述凹槽(21)的槽沿設(shè)置有圓弧倒角。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于石英夾具的清洗工裝，其特征在于，所述凹槽(21)的槽寬為5±0.01mm；

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于石英夾具的清洗工裝，其特征在于，所述底座(20)為聚四氟乙烯底座。

技術(shù)總結(jié)
本申請公開了一種用于石英夾具的清洗工裝，包括：手柄與底座；所述底座上設(shè)置有多個間隔設(shè)置的凹槽；相鄰的所述凹槽之間形成間隔；所述間隔上設(shè)置有通孔；所述通孔沿豎直方向貫穿所述底座；所述手柄連接于所述底座上方。本方案通過底座上的凹槽，可以將石英夾具一一對應(yīng)放置在凹槽上，實現(xiàn)清洗多個石英夾具同時避免石英夾具相互接觸的問題；并且，本方案中在底座上設(shè)置通孔使得底座浸入清洗液的過程中清洗液可以從通孔穿過而更快將石英夾具浸沒，可以確保清洗效果以及提升清洗效率。

技術(shù)研發(fā)人員：張倪,朱道康,姚本東
受保護的技術(shù)使用者：安徽光智科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20231130
技術(shù)公布日：2024/12/23