本發(fā)明屬于半導體清洗設備，具體涉及到一種硅片超聲波清洗機。

背景技術：

1、硅片是指用硅單晶或多晶硅材料制成的薄片，通常具有平整的表面和特定的晶體結構，在半導體工業(yè)中，硅片是制造集成電路和其他電子器件的基礎材料，硅片在進行加工時，需要進行多次清洗，去除表面的殘留物和有機雜質(zhì)，以便于進行加工，硅片清洗包括超聲波清洗、等離子清洗以及其他清洗方式，超聲波清洗是一種常用于硅片清洗的有效方法，它利用超聲波在液體中形成的高頻振動波，通過液體中的微小氣泡的破裂和沖擊效應，可以對硅片表面的污染物進行有效去除。

2、現(xiàn)有的硅片超聲波清洗機一般都是自動化進行，將硅片放到清洗籃中，通過清洗機上的鉤子自動將清洗籃依次放到酸堿清洗槽和純水清洗槽內(nèi)，通過超聲波進行清洗，清洗后再進行烘干，此方式雖然效率較高，但是仍有一些不足，將清洗籃放入到酸堿清洗槽內(nèi)時，清洗籃是靜止不動，通過超聲波進行清洗時，無法對硅片與清洗籃接觸的死角進行清洗，導致對硅片清洗不徹底，進而影響硅片后續(xù)的加工質(zhì)量。

技術實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明所要解決的技術問題在于克服上述現(xiàn)有技術的缺點，提供一種硅片超聲波清洗機。

2、解決上述技術問題所采用的技術方案是：一種硅片超聲波清洗機，包括支撐機構，所述支撐機構中心一側(cè)固定連接有上料架，所述支撐機構中心固定安裝有清洗機構，所述支撐機構中心另一側(cè)固定連接有下料架；

3、所述清洗機構中心一側(cè)安裝有升降機構，所述清洗機構中心另一側(cè)固定安裝有烘干機構，所述上料架和清洗機構上均設有清洗籃，兩個所述清洗籃上均設有若干個硅片主體；

4、所述支撐機構上滑動連接有左右移動機構，所述左右移動機構上安裝有上下移動機構，所述上下移動機構的底部安裝有鉤起機構。

5、進一步的，所述支撐機構包括底架，所述底架的頂部前后端均固定連接有支撐架，兩個所述支撐架上均固定連接有第一滑軌，兩個所述第一滑軌的內(nèi)表面均固定連接有第一齒條。

6、通過上述技術方案，兩個第一滑軌和第一齒條與左右移動機構配合，實現(xiàn)鉤起機構左右移動，進而帶動清洗籃內(nèi)的多個硅片主體進行移動，以便于進行清洗。

7、進一步的，所述清洗機構包括固定連接于底架頂部中心的清洗柜，所述清洗柜上依次分別開設有第一清洗槽、第二清洗槽、第三清洗槽和烘干槽，所述第一清洗槽、第二清洗槽、第三清洗槽和烘干槽內(nèi)壁均固定連接有超聲波發(fā)射器，所述底架的頂部中心前端固定連接有超聲波發(fā)生器，所述超聲波發(fā)生器與多個超聲波發(fā)射器之間均固定連接有導線。

8、通過上述技術方案，對清洗籃內(nèi)的多個硅片主體進行清洗時，首先工作人員分別在第一清洗槽、第二清洗槽和第三清洗槽內(nèi)投入有機溶液、酸堿溶液和純化水，再將裝有硅片主體的清洗籃放置在上料架上，通過鉤起機構鉤起清洗籃，再通過左右移動機構和上下移動機構進行移動，將清洗籃放置到第一清洗槽內(nèi)的升降機構上，啟動超聲波發(fā)生器，將電能轉(zhuǎn)換為機械振動能，通過導線進行輸送到相連接的超聲波發(fā)射器內(nèi)，再通過超聲波發(fā)射器輸送到第一清洗槽內(nèi)的有機溶液中，有機溶液產(chǎn)生微小波動對清洗籃內(nèi)的硅片主體進行超聲波清洗，清洗一定時間后，再以同樣的方式通過左右移動機構、上下移動機構和鉤起機構將第一清洗槽內(nèi)清洗籃依次移至第二清洗槽和第三清洗槽內(nèi)，依次啟動超聲波發(fā)生器，以同樣的方式對清洗籃的硅片主體進行超聲波清洗，清洗一定時間后，通過左右移動機構、上下移動機構和鉤起機構將清洗籃移動至烘干槽內(nèi)，通過烘干機構對其進行烘干，烘干結束后，再通過左右移動機構、上下移動機構和鉤起機構將清洗籃移動至下料架上，完成對若干個硅片主體的清洗。

9、進一步的，所述升降機構包括固定連接于清洗柜前后端外壁一側(cè)的兩個電動推桿，兩個所述電動推桿活塞的頂端均固定連接有連接架，兩個所述連接架之間固定連接有支撐底座，兩個所述連接架的內(nèi)壁均固定連接有限位條，所述清洗柜上且位于第一清洗槽的內(nèi)壁前后端均固定連接有凹形條，兩個所述限位條與對應的凹形條滑動連接。

10、通過上述技術方案，當清洗籃放置到支撐底座上時，啟動兩個電動推桿，兩個電動推桿分別通過活塞慢慢推動對應的連接架，使得兩個連接架帶動支撐底座向上移動，使得支撐底座帶動清洗籃上升，慢慢移動一定高度后，兩個電動推桿活塞再回縮，帶動清洗籃慢慢下降，兩個電動推桿活塞升降往復移動，實現(xiàn)清洗籃升降往復移動，使得清洗籃內(nèi)的硅片主體更好的接收到超聲波清洗，有利于有機溶液從清洗籃的底部對硅片主體進行清洗，提高對硅片主體的清洗效率和清洗質(zhì)量。

11、進一步的，所述烘干機構包括固定連接于清洗柜前端另一側(cè)的兩個第一安裝殼，兩個所述第一安裝殼的內(nèi)部中心前端位置均安裝有多個送風機，兩個所述第一安裝殼的內(nèi)部中心后端位置均固定連接有多個加熱條，所述清洗柜的后端一側(cè)固定連接有兩個第二安裝殼，兩個所述第二安裝殼內(nèi)均固定安裝有多個排風機。

12、通過上述技術方案，當清洗籃移動至烘干槽內(nèi)時，啟動多個送風機和多個加熱條，對清洗籃內(nèi)的硅片主體吹熱風，再啟動多個排風機，對烘干槽內(nèi)的熱風進行排走，加速烘干槽內(nèi)的氣體循環(huán)，以提高對硅片主體的烘干效率。

13、進一步的，所述左右移動機構包括設置于兩個第一滑軌之間的移動架，所述移動架的前后端四角處均轉(zhuǎn)動連接有滑輪，多個所述滑輪分別與對應的第一滑軌滑動連接，所述移動架中心一側(cè)轉(zhuǎn)動連接有貫穿的第一連接軸，所述第一連接軸的外壁兩端均固定連接有第一齒輪，兩個所述第一齒輪分別與對應的第一齒條嚙合，所述第一連接軸的外壁中心固定連接有第二齒輪，所述移動架的底部內(nèi)表面后端固定安裝有第一電機，所述第一電機輸出軸的外壁固定連接有第三齒輪，所述第三齒輪與第二齒輪嚙合。

14、通過上述技術方案，當鉤起機構鉤住清洗籃時，需要進行移動，啟動第一電機，使得第一電機通過輸出軸帶動第三齒輪轉(zhuǎn)動，進而帶動第二齒輪轉(zhuǎn)動，第二齒輪轉(zhuǎn)動帶動第一連接軸轉(zhuǎn)動，進而帶動兩個第一齒輪在對應的第一齒條上轉(zhuǎn)動，實現(xiàn)移動架來回移動。

15、進一步的，所述上下移動機構包括固定連接于移動架前后端內(nèi)壁的兩個第二滑軌，兩個所述第二滑軌上均滑動連接有滑條，兩個所述滑條的內(nèi)表面均固定連接有升降板，兩個所述升降板的一側(cè)均固定連接有第二齒條，所述移動架的底部內(nèi)表面前后端均固定連接有固定座，兩個所述固定座之間轉(zhuǎn)動連接有第二連接軸，所述第二連接軸的外壁前后端均固定連接有第四齒輪，兩個所述第四齒輪分別與對應的第二齒條嚙合，所述第二連接軸的外壁中心固定連接有第五齒輪，所述移動架的底部內(nèi)表面前端固定安裝有第二電機，所述第二電機輸出軸的外壁固定連接有第六齒輪，所述第六齒輪與第五齒輪嚙合，兩個所述升降板的底部之間固定連接有安裝板。

16、通過上述技術方案，需要將鉤起的清洗籃移至第一清洗槽內(nèi)時，啟動第二電機，使得第二電機通過輸出軸轉(zhuǎn)動帶動第六齒輪轉(zhuǎn)動，進而帶動第五齒輪轉(zhuǎn)動，第五齒輪轉(zhuǎn)動帶動第二連接軸轉(zhuǎn)動，進而帶動兩個第四齒輪轉(zhuǎn)動，兩個第四齒輪轉(zhuǎn)動分別在對應的第二齒條上滾動，進而帶動兩個升降板向下移動，從而帶動安裝板向下移動，進而帶動清洗籃向下移動至第一清洗槽內(nèi)，第二電機輸出軸反轉(zhuǎn)時，便帶動安裝板向上移動，以便后續(xù)對清洗籃的升降處理。

17、進一步的，所述鉤起機構包括轉(zhuǎn)動連接于安裝板中心的轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸的底端固定連接有連接板，所述連接板的底部四角均固定連接有鉤子，所述轉(zhuǎn)軸的外壁頂端固定連接有第七齒輪，所述安裝板的頂部一側(cè)固定連接有第三電機，所述第三電機輸出軸的外壁固定連接有第八齒輪。

18、通過上述技術方案，對上料架上的清洗籃鉤起時，通過左右移動機構和上下移動機構帶動多個鉤子移動至清洗籃的附近，慢慢靠近清洗籃連接耳的旁邊，再通過左右移動機構移動多個鉤子，使得多個鉤子分別移動至清洗籃連接耳的下方，再通過上下移動機構上升，使得多個鉤子分別鉤住清洗籃上的連接耳，實現(xiàn)對清洗籃鉤住，再有序?qū)^住的清洗籃依次放入到第一清洗槽、第二清洗槽和第三清洗槽內(nèi)進行清洗。

19、進一步的，所述第八齒輪與第七齒輪嚙合。

20、通過上述技術方案，放入到第二清洗槽內(nèi)時，啟動第三電機，第三電機通過輸出軸轉(zhuǎn)動帶動第八齒輪轉(zhuǎn)動，進而帶動第七齒輪轉(zhuǎn)動，第七齒輪轉(zhuǎn)動帶動轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動，進而帶動連接板和多個鉤子轉(zhuǎn)動，實現(xiàn)對鉤住清洗籃的轉(zhuǎn)動，以便于第二清洗槽內(nèi)酸堿溶液對其進行超聲波清洗，超聲波發(fā)射器所發(fā)出的振動，能夠?qū)杵黧w與清洗籃的死角處進行清洗，大大提高了對硅片主體的清洗范圍以及清洗質(zhì)量。

21、本發(fā)明的有益效果如下：（1）本發(fā)明通過設計升降機構和鉤起機構，在對硅片進行超聲波清洗時，通過升降機構升降往復移動，使得清洗液更好的接觸硅片，能夠讓硅片的不同角度進行清洗，同時鉤起機構可以進行轉(zhuǎn)動，能夠?qū)杵c清洗籃的死角處進行清洗，大大提高了對硅片的清洗范圍以及清洗質(zhì)量；（2）本發(fā)明通過設計左右移動機構和上下移動機構，使得該裝置更加自動化，能夠快速將硅片進行清洗和烘干處理，并且依次進行，工作效率較高，進而提高對硅片的清洗效率。