本發(fā)明涉及載具清洗，特別涉及一種清洗裝置。

背景技術：

1、在微電子和半導體制造時需要使用載具將光阻桶從倉庫運輸到無塵車間內，而由于載具在轉運過程中，不可避免的會沾染上灰塵等雜質，所以為避免載具攜帶灰塵等雜質進入無塵車間，所以需要對載具的外表面進行清洗。

2、目前，現有對載具以及載具內裝載的光阻桶的清洗方式大多只能依靠人工來完成擦拭、清洗，而這樣的清洗方式不僅需要耗費大量的人力，且清洗的效率以及清洗的效果均不理想。

技術實現思路

1、本發(fā)明的主要目的是提出一種清洗裝置，旨在解決現有技術中利用人工對載具進行清洗時清洗的效率以及清洗的效果均不理想的問題。

2、為實現上述目的，本發(fā)明提出的一種清洗裝置，用于清洗裝載光阻桶的載具，包括傳送機構以及沿所述傳送機構的輸送方向設置的上料機構、清洗機構、翻轉機構、吹風機構和下料機構，所述清洗裝置具有沿所述傳送機構的輸送方向依次設置的上料區(qū)、清洗區(qū)、干燥區(qū)和下料區(qū)；

3、所述上料機構位于所述上料區(qū)，以用于將所述載具輸送至所述傳送機構上；

4、所述清洗機構位于所述清洗區(qū)，所述清洗機構包括清洗組件和側邊刷洗組件，所述側邊刷洗組件設于所述清洗組件的一側，所述清洗組件與所述側邊刷洗組件均用于對所述載具清洗；

5、所述翻轉機構位于所述清洗區(qū)，并與所述清洗組件對應設置，所述翻轉機構用于帶動所述載具翻轉，以使所述載具背離所述清洗組件的一面朝向所述清洗組件進行清洗；

6、所述吹風機構位于所述干燥區(qū)，以用于吹干清洗后所述載具；

7、所述下料機構位于所述下料區(qū)，以用于轉運吹干后所述載具。

8、在一實施例中，所述清洗組件包括水洗部件和氣吹部件，所述水洗部件和所述氣吹部件均設于所述傳送機構，并位于所述載具底部，所述水洗部件與所述氣吹部件的數量均為多個，多個所述水洗部件與多個所述氣吹部件沿所述傳送機構的輸送方向交錯設置。

9、在一實施例中，所述水洗部件朝向所述載具的一側凸出設有旋轉噴嘴，所述旋轉噴嘴可插入翻轉后所述載具內，以對所述載具的內周壁進行清洗。

10、在一實施例中，所述翻轉機構包括吊架結構、調節(jié)組件、翻轉組件和夾持組件，所述吊架結構被設置于所述傳送機構的外周側，所述調節(jié)組件與所述翻轉組件連接，所述調節(jié)組件設于所述吊架結構上，所述調節(jié)組件可驅使所述翻轉組件在所述吊架結構的內側移動，所述夾持組件設于所述翻轉組件朝向所述傳送機構的一側，所述夾持組件用于對所述載具夾持，所述翻轉組件用于帶動所述夾持組件與被夾持的所述載具翻轉。

11、在一實施例中，所述吊架結構包括兩根支撐柱、連接兩根支撐柱的橫梁以及設于兩根支撐柱遠離橫梁可轉動連接的水平調節(jié)腳輪；

12、所述調節(jié)組件包括第一驅動機構、第一導軌、第二驅動機構、第二導軌以及安裝骨架，所述第一導軌設于所述橫梁上，所述第一導軌的延伸方向與所述橫梁的延伸方向一致，所述翻轉組件設于所述安裝骨架上，所述安裝骨架可滑動地設于所述第一導軌上，所述第二導軌設于所述安裝骨架上，所述第二導軌的延伸方向與所述安裝骨架的延伸方向一致，所述翻轉組件可滑動地設于所述第二導軌上，所述第一驅動機構用于驅使所述安裝骨架、所述翻轉組件以及所述第二驅動機構沿所述第一導軌的延伸方向移動，所述第二驅動機構用于驅使所述夾持組件沿所述第二導軌的延伸方向移動，以調節(jié)所述翻轉組件與所述夾持組件的位置，以使所述夾持組件對所述載具夾持。

13、在一實施例中，所述第一導軌包括主導軌和副導軌，所述主導軌設于所述橫梁，所述副導軌設于所述水平調節(jié)腳輪，所述副導軌的延伸方向與所述主導軌的延伸方向一致，所述第二驅動機構可滑動地設于所述副導軌上。

14、在一實施例中，所述上料機構和/或所述下料機構包括上料機架，所述上料機架的一端具有避讓空間，所述避讓空間用于供轉運載具的轉運車停泊；

15、升降組件設于所述上料機架上；

16、輸送組件設于所述升降組件上，所述升降組件與所述輸送組件驅動連接，以驅動所述輸送組件在第一位置和第二位置之間進行升降，所述第二位置位于所述第一位置的上方；

17、在所述第一位置，所述輸送組件用于承托位于所述避讓空間內所述轉運車上的載具；

18、在所述第二位置，所述輸送組件用于將承載于其上的載具輸送至所述清洗裝置的傳送機構；和/或

19、所述上料機架的兩側設有導向組件，所述導向組件用于在所述輸送組件輸送所述載具時對所述載具進行導向；和/或

20、所述上料機架上還設置有稱重模塊，所述稱重模塊用于對所述載具稱重，以獲取所述載具裝載狀態(tài)信息；和/或

21、所述上料機架沿輸送所述傳送機構的輸送方向的兩端設置有制動組件，所述制動組件用于防止所述載具從所述輸送組件上滑落。

22、在一實施例中，所述傳送機構包括傳送機架；

23、兩個滾筒傳送組件，分別可轉動地設于所述傳送機架的兩端，兩個所述滾筒傳送組件對應并間隔設置，以形成安裝空間；

24、第一傳動件，設于兩個所述滾筒傳送組件之間，并分別與兩個所述滾筒傳送組件傳動連接；

25、驅動件，設于所述傳送機架，并與所述第一傳動件連動連接，所述驅動件驅動所述第一傳動件帶動兩個所述滾筒傳送組件同步運行，以對所述載具進行輸送。

26、在一實施例中，所述吹風機構包括兩個支撐架、第一吹風部、第二吹風部、第三吹風部以及第四吹風部，兩個所述支撐架設于所述傳送機構的兩側，所述第一吹風部可轉動地設于一所述支撐架上，所述第二吹風部可轉動地設于另一所述支撐架上并與所述第一吹風部對應，所述第三吹風部的兩端分別與兩個所述支撐架可轉動連接并位于兩個所述支撐架的上方，所述第四吹風部設于所述傳送機構內并與所述第三吹風部對應。

27、在一實施例中，所述側邊刷洗機構用于對所述載具的周側進行刷洗，所述側邊刷洗機構包括第三導軌、第三驅動機構以及刷洗組件，所述第三導軌與所述第三驅動機構分別位于所述刷洗組件的相對側，并分別設于所述傳送機構上，所述刷洗組件與所述第三導軌滑動連接，所述第三驅動機構用于驅使所述刷洗組件沿所述第三導軌的延伸方向往復移動，以對所述載具的外周側刷洗，所述刷洗組件包括清洗管和刷洗毛刷，所述清潔管設于所述刷洗毛刷的上方。

28、本發(fā)明的技術方案通過這樣的設置從而使得載具使用完成后需要進行清洗時，可通過清洗裝置更加高效的對載具實現自動化清洗，清洗裝置不僅能夠自動化的對載具實現清洗，還可通過清洗機構中的清洗組件和側邊刷洗機構以及翻轉機構配合實現全面的清洗，從而使得清洗裝置不僅自動化程度高，對載具的清洗也很全面，進而使得清洗效率與清洗效果都比較好。

技術特征：

1.一種清洗裝置，用于清洗裝載光阻桶的載具，其特征在于，包括傳送機構以及沿所述傳送機構的輸送方向設置的上料機構、清洗機構、翻轉機構、吹風機構和下料機構，所述清洗裝置具有沿所述傳送機構的輸送方向依次設置的上料區(qū)、清洗區(qū)、干燥區(qū)和下料區(qū)；

2.如權利要求1所述的清洗裝置，其特征在于，所述清洗組件包括水洗部件和氣吹部件，所述水洗部件和所述氣吹部件均設于所述傳送機構，并位于所述載具底部，所述水洗部件與所述氣吹部件的數量均為多個，多個所述水洗部件與多個所述氣吹部件沿所述傳送機構的輸送方向交錯設置。

3.如權利要求2所述的清洗裝置，其特征在于，所述水洗部件朝向所述載具的一側凸出設有旋轉噴嘴，所述旋轉噴嘴可插入翻轉后所述載具內，以對所述載具的內周壁進行清洗。

4.如權利要求1所述的清洗裝置，其特征在于，所述翻轉機構包括吊架結構、調節(jié)組件、翻轉組件和夾持組件，所述吊架結構被設置于所述傳送機構的外周側，所述調節(jié)組件與所述翻轉組件連接，所述調節(jié)組件設于所述吊架結構上，所述調節(jié)組件可驅使所述翻轉組件在所述吊架結構的內側移動，所述夾持組件設于所述翻轉組件朝向所述傳送機構的一側，所述夾持組件用于對所述載具夾持，所述翻轉組件用于帶動所述夾持組件與被夾持的所述載具翻轉。

5.如權利要求4所述的清洗裝置，其特征在于，所述吊架結構包括兩根支撐柱、連接兩根支撐柱的橫梁以及設于兩根支撐柱遠離橫梁可轉動連接的水平調節(jié)腳輪；

6.如權利要求5所述的清洗裝置，其特征在于，所述第一導軌包括主導軌和副導軌，所述主導軌設于所述橫梁，所述副導軌設于所述水平調節(jié)腳輪，所述副導軌的延伸方向與所述主導軌的延伸方向一致，所述第二驅動機構可滑動地設于所述副導軌上。

7.如權利要求1至6中任一項所述的清洗裝置，其特征在于，所述上料機構和/或所述下料機構包括上料機架，所述上料機架的一端具有避讓空間，所述避讓空間用于供轉運載具的轉運車停泊；

8.如權利要求1至6中任一項所述的清洗裝置，其特征在于，所述傳送機構包括傳送機架；

9.如權利要求1至6中任一項所述的清洗裝置，其特征在于，所述吹風機構包括兩個支撐架、第一吹風部、第二吹風部、第三吹風部以及第四吹風部，兩個所述支撐架設于所述傳送機構的兩側，所述第一吹風部可轉動地設于一所述支撐架上，所述第二吹風部可轉動地設于另一所述支撐架上并與所述第一吹風部對應，所述第三吹風部的兩端分別與兩個所述支撐架可轉動連接并位于兩個所述支撐架的上方，所述第四吹風部設于所述傳送機構內并與所述第三吹風部對應。

10.如權利要求1至6中任一項所述的清洗裝置，其特征在于，所述側邊刷洗機構用于對所述載具的周側進行刷洗，所述側邊刷洗機構包括第三導軌、第三驅動機構以及刷洗組件，所述第三導軌與所述第三驅動機構分別位于所述刷洗組件的相對側，并分別設于所述傳送機構上，所述刷洗組件與所述第三導軌滑動連接，所述第三驅動機構用于驅使所述刷洗組件沿所述第三導軌的延伸方向往復移動，以對所述載具的外周側刷洗，所述刷洗組件包括清洗管和刷洗毛刷，所述清潔管設于所述刷洗毛刷的上方。

技術總結
本發(fā)明公開了一種清洗裝置，涉及載具清洗技術領域，其中，一種清洗裝置，包括傳送機構以及沿傳送機構的輸送方向設置的上料機構、清洗機構、翻轉機構、吹風機構和下料機構，清洗裝置具有沿傳送機構的輸送方向依次設置的上料區(qū)、清洗區(qū)、干燥區(qū)和下料區(qū)；上料機構位于上料區(qū)，以用于將載具輸送至傳送機構上；清洗機構位于清洗區(qū)，清洗機構包括清洗組件和側邊刷洗組件，側邊刷洗組件設于清洗組件的一側，清洗組件與側邊刷洗組件均用于對載具清洗；翻轉機構位于清洗區(qū)，并與清洗組件對應設置，翻轉機構用于帶動載具翻轉；本發(fā)明提供的技術方案不僅自動化程度高，對載具的清洗也很全面，進而使得清洗效率與清洗效果都比較好。

技術研發(fā)人員：羅嘉盛,吳奧明,王雪剛
受保護的技術使用者：深圳億博爾電子科技有限公司
技術研發(fā)日：
技術公布日：2025/1/2