本申請(qǐng)涉及設(shè)備清洗，具體而言，涉及一種冷阱清洗設(shè)備和清洗方法。

背景技術(shù)：

1、液晶面板生產(chǎn)系統(tǒng)中，冷阱(cold?trap)提供一個(gè)非常低溫的表面，使真空室中的油氣和水汽冷凝成液態(tài)或固態(tài)，減少對(duì)真空度的影響，從而提高真空泵的工作效率。真空室中的氣體含有光刻膠等物質(zhì)，使用一段時(shí)間后，光刻膠會(huì)附著在冷阱的冷卻管道上，影響冷卻的效果，需要定期清洗。由于冷阱獨(dú)特的密閉結(jié)構(gòu)，每次清洗需要對(duì)產(chǎn)品上的所有固定螺絲進(jìn)行拆卸后單獨(dú)清洗，清洗工序復(fù)雜，清洗工時(shí)太長(zhǎng)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本申請(qǐng)的目的在于提供一種冷阱清洗裝置來(lái)對(duì)冷阱進(jìn)行清洗，改進(jìn)冷阱清洗方法，提高清洗效率。

2、本申請(qǐng)的實(shí)施例是這樣實(shí)現(xiàn)的：

3、第一方面，本申請(qǐng)實(shí)施例提供一種冷阱清洗設(shè)備，包括冷阱組、水洗組件和烘干組件；

4、冷阱組設(shè)置于第一管道，第一管道兩端分別設(shè)置第一閥門(mén)和第七閥門(mén)，第一管道于第一閥門(mén)與冷阱組之間連接第二管道一端，第一管道于第七閥門(mén)與冷阱組之間連接第二管道另一端；水洗組件設(shè)置于第二管道，第二管道于水洗組件兩側(cè)分別設(shè)置第十三閥門(mén)和第九閥門(mén)，第二管道于第九閥門(mén)遠(yuǎn)離水洗組件一側(cè)設(shè)置第八閥門(mén)，第二管道于第十三閥門(mén)與水洗組件之間連接第三管道一端，第二管道于第八閥門(mén)遠(yuǎn)離第九閥門(mén)一側(cè)連接第三管道另一端，第三管道兩端分別設(shè)置第十五閥門(mén)和第十六閥門(mén)；第二管道于第十三閥門(mén)遠(yuǎn)離水洗組件一側(cè)連接第四管道一端，第二管道于第九閥門(mén)和第八閥門(mén)之間連接第四管道另一端，第四管道兩端分別設(shè)置靠近第十三閥門(mén)的第十四閥門(mén)和靠近第九閥門(mén)的第十閥門(mén)，第四管道于第十閥門(mén)旁設(shè)置第十二閥門(mén)，第四管道于第十閥門(mén)與第十二閥門(mén)之間連接第五管道，烘干組件設(shè)置于第五管道，第五管道首端設(shè)置第十一閥門(mén)；冷阱組包括在第一管道上依次設(shè)置的至少一個(gè)冷阱，水洗組件包括水槽，水槽安裝有靠近第九閥門(mén)的泵，烘干組件包括加熱器，加熱器安裝有鼓風(fēng)機(jī)。

5、進(jìn)一步地，冷阱組件包括依次設(shè)置的第一冷阱、第二冷阱和第三冷阱，第一冷阱靠近第一閥門(mén)，第一冷阱與第二冷阱之間設(shè)置第二閥門(mén)，第二冷阱與第三冷阱之間設(shè)置第五閥門(mén)；第一管道于第一冷阱與第二閥門(mén)之間連接第一支管首端，第一管道于第二冷阱與第五閥門(mén)之間連接第二支管一端，第二支管另一端連接第一支管，第一管道于第三冷阱與第七閥門(mén)之間連接第三支管一端，第三支管另一端連接第一支管末端，第一支管于第二支管遠(yuǎn)離第三支管的一側(cè)設(shè)置第三閥門(mén)，第二支管設(shè)置第四閥門(mén)，第三支管設(shè)置第六閥門(mén)。

6、第二方面，本申請(qǐng)實(shí)施例提供一種冷阱清洗方法，使用前述冷阱清洗設(shè)備，清洗步驟為：

7、s1、水洗：

8、s11、逆時(shí)針清洗：關(guān)閉第十閥門(mén)、第十六閥門(mén)、第七閥門(mén)、第一閥門(mén)、第十四閥門(mén)、第十五閥門(mén)，開(kāi)啟第九閥門(mén)、第八閥門(mén)、第十三閥門(mén)，開(kāi)啟泵，水洗液經(jīng)第九閥門(mén)泵出，依次逆時(shí)針流經(jīng)第二管道、第一管道、冷阱、第二管道后回到水槽，循環(huán)清洗1-2h關(guān)閉泵；

9、s12、順時(shí)針清洗：關(guān)閉第八閥門(mén)、第十一閥門(mén)、第十三閥門(mén)、第一閥門(mén)，第七閥門(mén)，開(kāi)啟第九閥門(mén)、第十閥門(mén)、第十二閥門(mén)、第十四閥門(mén)、第十五閥門(mén)、第十六閥門(mén)，開(kāi)啟泵，水洗液經(jīng)第九閥門(mén)泵出，依次順時(shí)針流經(jīng)第二管道、第四管道、第二管道、第一管道、冷阱、第二管道、第三管道、第二管道后回到水槽，循環(huán)清洗1-2h關(guān)閉泵；s11與s12步驟可調(diào)換順序；

10、s2、開(kāi)啟冷阱的排空閥，排掉冷阱內(nèi)的水洗液；

11、s3、烘干：

12、s31、順時(shí)針烘干：關(guān)閉第十閥門(mén)，第十三閥門(mén)、第一閥門(mén)、第十六閥門(mén)、第八閥門(mén)，開(kāi)啟第十一閥門(mén)、第十二閥門(mén)、第十四閥門(mén)、第七閥門(mén)，開(kāi)啟加熱器和鼓風(fēng)機(jī)，熱風(fēng)經(jīng)第十一閥門(mén)、第十二閥門(mén)涌出，依次順時(shí)針流經(jīng)第五管道、第四管道、第二管道、第一管道、冷阱后由第七閥門(mén)經(jīng)第一管道排出，循環(huán)烘烤1-2h關(guān)閉加熱器和鼓風(fēng)機(jī)；

13、s32、逆時(shí)針烘干：關(guān)閉第十二閥門(mén)、第十六閥門(mén)、第九閥門(mén)、第七閥門(mén)、第十三閥門(mén)、第十四閥門(mén)，開(kāi)啟第十一閥門(mén)、第十閥門(mén)、第八閥門(mén)和第一閥門(mén)，開(kāi)啟加熱器和鼓風(fēng)機(jī)，熱風(fēng)經(jīng)第十一閥門(mén)、第十閥門(mén)涌出，依次逆時(shí)針流經(jīng)第五管道、第四管道、第二管道、第一管道、冷阱后由第一閥門(mén)經(jīng)第一管道排出，循環(huán)烘烤1-2h關(guān)閉加熱器和鼓風(fēng)機(jī)；s31與s32步驟可調(diào)換順序。

14、清洗步驟s1、s3中，通過(guò)控制第二閥門(mén)、第三閥門(mén)、第四閥門(mén)、第五閥門(mén)、第六閥門(mén)中各個(gè)閥門(mén)的開(kāi)合狀態(tài)，實(shí)現(xiàn)對(duì)第一冷阱、第二冷阱和第三冷阱的選擇性清洗。

15、進(jìn)一步地，對(duì)第一冷阱、第二冷阱和第三冷阱的選擇性清洗方法為：

16、清洗第一冷阱時(shí)，開(kāi)啟第六閥門(mén)、第三閥門(mén)，關(guān)閉第五閥門(mén)、第四閥門(mén)、第二閥門(mén)；

17、清洗第一冷阱+第二冷阱時(shí)，開(kāi)啟第六閥門(mén)、第四閥門(mén)、第二閥門(mén)，關(guān)閉第三閥門(mén)、第五閥門(mén)；

18、清洗第一冷阱+第三冷阱時(shí)，開(kāi)啟第三閥門(mén)、第四閥門(mén)、第五閥門(mén)，關(guān)閉第二閥門(mén)、第六閥門(mén)；

19、清洗第一冷阱+第二冷阱+第三冷阱時(shí)，開(kāi)啟第二閥門(mén)、第五閥門(mén)，關(guān)閉第三閥門(mén)、第四閥門(mén)、第六閥門(mén)。

20、進(jìn)一步地，水洗液包括藥水和純凈水；步驟s1包括：

21、s11、逆時(shí)針?biāo)幩逑矗宏P(guān)閉第十閥門(mén)、第十六閥門(mén)、第七閥門(mén)、第一閥門(mén)、第十四閥門(mén)、第十五閥門(mén)，開(kāi)啟第九閥門(mén)、第八閥門(mén)、第十三閥門(mén)，開(kāi)啟泵，藥水經(jīng)第九閥門(mén)泵出，依次逆時(shí)針流經(jīng)第二管道、第一管道、冷阱、第二管道后回到水槽，循環(huán)清洗1-2h關(guān)閉泵；

22、s12、順時(shí)針?biāo)幩逑矗宏P(guān)閉第八閥門(mén)、第十一閥門(mén)、第十三閥門(mén)、第一閥門(mén)，第七閥門(mén)，開(kāi)啟第九閥門(mén)、第十閥門(mén)、第十二閥門(mén)、第十四閥門(mén)、第十五閥門(mén)、第十六閥門(mén)，開(kāi)啟泵，藥水經(jīng)第九閥門(mén)泵出，依次順時(shí)針流經(jīng)第二管道、第四管道、第二管道、第一管道、冷阱、第二管道、第三管道、第二管道后回到水槽，循環(huán)清洗1-2h關(guān)閉泵；s11與s12步驟可調(diào)換順序；

23、s13、逆時(shí)針純水清洗：將水槽中藥水替換為純凈水，重復(fù)s11操作；

24、s14、順時(shí)針純水清洗：將水槽中藥水替換為純凈水，重復(fù)s12操作；s13與s14步驟步驟可調(diào)換順序。

25、進(jìn)一步地，s1中藥水中各成分的質(zhì)量百分比為：20％的nh3·h2o、40％的naoh、20％的h2o、20％的fe(oh)2。

26、相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，本申請(qǐng)的實(shí)施例至少具有如下優(yōu)點(diǎn)或有益效果：

27、本發(fā)明提供了一種冷阱清洗設(shè)備和清洗方法，巧妙布置管道、閥門(mén)、水洗組件和烘干組件，可以實(shí)現(xiàn)冷阱的順時(shí)針?biāo)?、逆時(shí)針?biāo)?、順時(shí)針烘干、逆時(shí)針烘干，多個(gè)冷阱同時(shí)清洗，替代傳統(tǒng)的拆解產(chǎn)品的清洗方法，清洗作業(yè)操作簡(jiǎn)單，效率高，能有效降低人工成本，并對(duì)水洗液進(jìn)行循環(huán)和回收利用，對(duì)環(huán)境無(wú)污染。

技術(shù)特征：

1.一種冷阱清洗設(shè)備，其特征在于，包括冷阱組、水洗組件和烘干組件；

2.如權(quán)利要求1所述的冷阱清洗設(shè)備，其特征在于，所述冷阱組件包括依次設(shè)置的第一冷阱(51)、第二冷阱(52)和第三冷阱(53)，所述第一冷阱(51)靠近所述第一閥門(mén)(201)，所述第一冷阱(51)與第二冷阱(52)之間設(shè)置第二閥門(mén)(202)，所述第二冷阱(52)與第三冷阱(53)之間設(shè)置第五閥門(mén)(205)；所述第一管道(11)于所述第一冷阱(51)與第二閥門(mén)(202)之間連接第一支管(111)首端，所述第一管道(11)于第二冷阱(52)與第五閥門(mén)(205)之間連接第二支管(112)一端，所述第二支管(112)另一端連接所述第一支管(111)，所述第一管道(11)于第三冷阱(53)與第七閥門(mén)(207)之間連接第三支管(113)一端，所述第三支管(113)另一端連接所述第一支管(111)末端，所述第一支管(111)于第二支管(112)遠(yuǎn)離第三支管(113)的一側(cè)設(shè)置第三閥門(mén)(203)，所述第二支管(112)設(shè)置第四閥門(mén)(204)，所述第三支管(113)設(shè)置第六閥門(mén)(206)。

3.一種冷阱清洗方法，其特征在于，使用如權(quán)利要求1所述的冷阱清洗設(shè)備，清洗步驟為：

4.如權(quán)利要求3所述的冷阱清洗方法，其特征在于，

5.如權(quán)利要求4所述的冷阱清洗方法，其特征在于，對(duì)第一冷阱(51)、第二冷阱(52)和第三冷阱(53)的選擇性清洗方法為：

6.如權(quán)利要求3-5中任一項(xiàng)所述的冷阱清洗方法，其特征在于，水洗液包括藥水和純凈水；步驟s1包括：

7.如權(quán)利要求6所述的冷阱清洗方法，其特征在于，所述藥水中各成分的質(zhì)量百分比為：20％的nh3·h2o、40％的naoh、20％的h2o、20％的fe(oh)2。

技術(shù)總結(jié)
本申請(qǐng)?zhí)岢隽艘环N冷阱清洗設(shè)備和清洗方法，冷阱組設(shè)置于第一管道，第一管道兩端分別設(shè)置第一閥門(mén)和第七閥門(mén)，第一管道于第一閥門(mén)與冷阱組之間連接第二管道一端，第一管道于第七閥門(mén)與冷阱組之間連接第二管道另一端；水洗組件設(shè)置于第二管道，第二管道于水洗組件兩側(cè)分別設(shè)置第十三閥門(mén)和第九閥門(mén)，第二管道于第九閥門(mén)遠(yuǎn)離水洗組件一側(cè)設(shè)置第八閥門(mén)，第二管道于第十三閥門(mén)與水洗組件之間連接第三管道一端，第二管道于第八閥門(mén)遠(yuǎn)離第九閥門(mén)一側(cè)連接第三管道另一端，第三管道兩端分別設(shè)置第十五閥門(mén)和第十六閥門(mén)；第二管道連接第四管道，第四管連接第五管道，烘干組件設(shè)置于第五管道，改進(jìn)冷阱方法，提高清洗效率。

技術(shù)研發(fā)人員：李國(guó)兵,邱俊,黃旭
受保護(hù)的技術(shù)使用者：四川富樂(lè)德科技發(fā)展有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/6