本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體不銹鋼ttn膜的清洗裝置及工藝。

背景技術(shù)：

1、ti常用作粘附層，用于改善材料與基底的粘附性；作為阻擋層，ti防止銅等金屬在高溫下的擴(kuò)散，tin常用于工具的硬質(zhì)涂層，提高耐磨性和使用壽命。金屬ttn沉積采用常用的pvd方式，ttn裝置不銹鋼部件目前洗行業(yè)清洗的清洗工藝，主要采用一定比例的硝氟酸去除表面沉積物，濺射過程接近target位置的沉積物厚度要高于其它位置的厚度；所以，在浸泡過程中正常位置沉積物已經(jīng)清洗干凈，頂部接近target的位置沉積物還未清洗干凈，部件會選擇繼續(xù)浸泡，達(dá)到清洗剩余沉積物的目的。

2、現(xiàn)有清洗工藝技術(shù)存在兩方面缺點：

3、1.ttn裝置浸泡到硝氟酸配液中，ti會和hf快速反應(yīng)并升溫，然后生成ti﹢離子和硝酸進(jìn)一步反應(yīng)，反應(yīng)后的硝酸配液生成一氧化氮，產(chǎn)生的部分一氧化氮和空氣中的氧氣進(jìn)行反應(yīng)生成二氧化氮，二氧化氮有毒、有刺激性、二氧化氮所帶來的環(huán)境污染也是多種多樣；

4、2.ttn裝置浸泡到硝氟酸配液中，ti會和hf快速反應(yīng)并升溫，配液高溫狀態(tài)危險系數(shù)高，不適合現(xiàn)場人員作業(yè)，同時高溫狀態(tài)的硝氟酸溶液會和不銹鋼反應(yīng)，?對部件本體進(jìn)行腐蝕，減少裝置部件的使用壽命。

5、對比文件，中國專利（申請?zhí)枺?022106743356）“tin去除液”，該去除液由氧化劑、ph緩沖劑、添加劑a、添加劑b和去離子水組成，氧化劑采用雙氧水，?ph緩沖劑為有機酸及有機酸鹽混合物，添加劑a為過硫酸銨，添加劑b為酚磺酸、醇類、金屬掩蔽劑的混合物，針對tin去除用到大量化學(xué)藥劑，反應(yīng)過程中會生成大量化學(xué)垃圾。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于提供一種半導(dǎo)體不銹鋼ttn膜的清洗裝置及工藝，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

2、為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種半導(dǎo)體不銹鋼ttn膜的清洗裝置及工藝，該裝置包括自動機械臂、浸泡籃、按工藝步驟順序設(shè)置的化學(xué)混液浸泡槽一、純水漂洗槽、高壓水洗槽、化學(xué)混液浸泡槽二、純水浸泡槽和吹干槽，所述自動機械臂設(shè)置在所有槽體的上方，工作端連接浸泡籃，所述化學(xué)混液浸泡槽一和化學(xué)混液浸泡槽二內(nèi)設(shè)有超聲波振板，所述高壓水洗槽內(nèi)設(shè)有高壓水洗噴嘴，所述吹干槽內(nèi)設(shè)有cda高壓噴嘴。

3、優(yōu)選的，化學(xué)混液浸泡槽一和化學(xué)混液浸泡槽二設(shè)置了藥液循環(huán)裝置，包括設(shè)置在槽體底部的出液口，出液口連接藥液循環(huán)反應(yīng)釜，反應(yīng)釜連接過濾裝置，過濾裝置連接槽體上方的進(jìn)液口，所述的連接都是通過管道連接，管道上設(shè)有水泵。

4、優(yōu)選的，所述的反應(yīng)釜內(nèi)藥水配方為氟化氨、過氧化氫、高純水、環(huán)六亞甲基四胺?，按質(zhì)量比2：8：8：1比例進(jìn)行配置，配置好后循環(huán)攪拌30min。

5、優(yōu)選的，利用該裝置的清洗工藝步驟如下，

6、s1,打開化學(xué)混液浸泡槽的循環(huán)泵，使浸泡槽和藥液反應(yīng)釜中的藥液循環(huán)起來;

7、s2,然后開啟化學(xué)混液浸泡槽所有超聲波，功率密度＞1w/in2;

8、s3,提升浸泡籃放置到化學(xué)混液浸泡槽一中，部件浸泡時間≥5min;

9、s4,提升起化學(xué)混液浸泡槽一中的浸泡籃，然后將浸泡欄在空中停滯2-5min;

10、s5,移動浸泡籃放置到純水漂洗槽中，部件浸泡時間5-10min;

11、s6,浸泡籃放置到高壓水洗槽中，高壓水洗時間10-20min;

12、s7,提升浸泡籃放置到化學(xué)混液浸泡槽二中，部件浸泡時間≥5min;

13、s8,提升起化學(xué)混液浸泡槽二中的浸泡籃，然后將浸泡欄在空中停滯2-5min;

14、s9,移動浸泡籃放置到純水浸泡槽中，部件浸泡時間5-10min;

15、s10,浸泡籃放置到吹干槽中，吹干時間10-15min。

16、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：該自動化清洗裝置由浸泡槽、純水槽、高壓水洗、cda吹掃等組成，部件在浸泡籃不再通過人工進(jìn)行搬送和清洗，選擇好需要的作業(yè)槽體，設(shè)備可以快速完成搬送和作業(yè)，清洗槽采用了外循環(huán)過濾裝置，保證循環(huán)的藥液的干凈，內(nèi)部采用的防腐超聲波振板，利用超聲波在液體中的空化作用、加速度作用及直進(jìn)流作用對液體間接使污物層被分散、剝離而達(dá)到清洗目的；整個清洗裝置采用了閉環(huán)流程作業(yè)，保證部件清洗的有效性。

17、裝置根據(jù)部件大小，可疊加多個部件，極大提高清洗效率，同時設(shè)備投入成本降低，員工勞動強度降低。

18、氟化氨相比較強酸和氟化氫銨而言，氟化氨的粘度較低，蒸汽壓較大，易于揮發(fā)，因此使用氟化氨作為掩蔽劑可以降低殘留污染物的風(fēng)險，同時，氟化氨的毒性較弱，對操作人員的傷害也較小，具備較好的安全性。

技術(shù)特征：

1.一種半導(dǎo)體不銹鋼ttn膜的清洗裝置及工藝，其特征是：該裝置包括自動機械臂、浸泡籃、按工藝步驟順序設(shè)置的化學(xué)混液浸泡槽一、純水漂洗槽、高壓水洗槽、化學(xué)混液浸泡槽二、純水浸泡槽和吹干槽，所述自動機械臂設(shè)置在所有槽體的上方，工作端連接浸泡籃，所述化學(xué)混液浸泡槽一和化學(xué)混液浸泡槽二內(nèi)設(shè)有超聲波振板，所述高壓水洗槽內(nèi)設(shè)有高壓水洗噴嘴，所述吹干槽內(nèi)設(shè)有cda高壓噴嘴。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體不銹鋼ttn膜的清洗裝置及工藝，其特征是：所述化學(xué)混液浸泡槽一和化學(xué)混液浸泡槽二設(shè)置了藥液循環(huán)裝置，包括設(shè)置在槽體底部的出液口，出液口連接藥液循環(huán)反應(yīng)釜，反應(yīng)釜連接過濾裝置，過濾裝置連接槽體上方的進(jìn)液口，所述的連接都是通過管道連接，管道上設(shè)有水泵。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種半導(dǎo)體不銹鋼ttn膜的清洗裝置及工藝，其特征是：所述的反應(yīng)釜內(nèi)藥水配方為氟化氨、過氧化氫、高純水、環(huán)六亞甲基四胺?，按質(zhì)量比2：8：8：1比例進(jìn)行配置，配置好后循環(huán)攪拌30min。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體不銹鋼ttn膜的清洗裝置及工藝，其特征是：利用該裝置的清洗工藝步驟如下，

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體不銹鋼TTN膜的清洗裝置及工藝，包括自動機械臂、浸泡籃、按工藝步驟順序設(shè)置的化學(xué)混液浸泡槽一、純水漂洗槽、高壓水洗槽、化學(xué)混液浸泡槽二、純水浸泡槽和吹干槽，所述自動機械臂設(shè)置在所有槽體的上方，工作端連接浸泡籃，所述化學(xué)混液浸泡槽一和化學(xué)混液浸泡槽二內(nèi)設(shè)有超聲波振板，所述高壓水洗槽內(nèi)設(shè)有高壓水洗噴嘴，所述吹干槽內(nèi)設(shè)有CDA高壓噴嘴，該自動化清洗裝置由浸泡槽、純水槽、高壓水洗、CDA吹掃等組成，部件在浸泡籃不再通過人工進(jìn)行搬送和清洗，選擇好需要的作業(yè)槽體，設(shè)備可以快速完成搬送和作業(yè)，清洗槽采用了外循環(huán)過濾裝置，保證循環(huán)的藥液的干凈，內(nèi)部采用的防腐超聲波振板，利用超聲波在液體中的空化作用、加速度作用及直進(jìn)流作用對液體間接使污物層被分散、剝離而達(dá)到清洗目的；整個清洗裝置采用了閉環(huán)流程作業(yè)，保證部件清洗的有效性。

技術(shù)研發(fā)人員：李帥雨,賀賢漢,張繼月
受保護(hù)的技術(shù)使用者：安徽富樂德科技發(fā)展股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/2