本技術(shù)涉及籽晶清洗,尤其是涉及一種籽晶立式清洗工裝。
背景技術(shù):
1、我司在單晶硅棒拉制過程中,會使用籽晶進(jìn)行引放,籽晶是非常關(guān)鍵的輔料。籽晶掏制后需進(jìn)行拋光、酸洗后才能使用。酸洗是籽晶最后一道工序,酸洗會對籽晶掏制、拋光過程中產(chǎn)生的金屬和氧化層進(jìn)行腐蝕,保證了純度,避免雜質(zhì)進(jìn)入拉晶環(huán)節(jié)(單晶硅棒拉制過程)。
2、當(dāng)前酸洗籽晶時,會向耐酸堿料槽內(nèi)加入一定比例且適量的氫氟酸與硝酸,再在耐酸堿料槽內(nèi)以臥躺或平放的方式一次放置12根待酸洗的籽晶,浸泡約8-10min,浸泡過程中需要不斷使用耐酸堿鑷子對籽晶進(jìn)行翻轉(zhuǎn),直至清洗完畢。
3、但目前籽晶酸洗的過程存在以下缺陷:
4、1、臥躺或平放的籽晶在酸洗時,相互之間易發(fā)生碰撞、破損、隱裂。
5、2、操作人員對籽晶進(jìn)行翻轉(zhuǎn)時,無法保證每個面均被腐蝕或腐蝕的程度不一(籽晶未完全被酸液浸沒,或者,籽晶與料盒底部大面積接觸),進(jìn)而導(dǎo)致籽晶錐度面各處錐度不一致。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、針對上述情況,本實(shí)用新型提供一種籽晶立式清洗工裝,旨在解決籽晶酸洗過程中碰撞破損、腐蝕的程度不一的問題。。
2、為實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案:
3、本實(shí)用新型提供一種籽晶立式清洗工裝,其包括:
4、清洗容器;
5、用于放置籽晶的支架,能夠自由進(jìn)出所述清洗容器,并能夠在所述清洗容器中旋轉(zhuǎn);
6、所述支架包括:
7、底座,用于支撐籽晶;
8、立柱,一端連接于所述底座;
9、限位板,位于所述底座的上方并連接于所述立柱;所述限位板上分布有多個與籽晶相匹配的限位孔。
10、在本實(shí)用新型的一些實(shí)施例中,所述限位孔的數(shù)量大于或等于16個。
11、在本實(shí)用新型的一些實(shí)施例中,至少兩個所述限位板沿所述立柱的軸向間隔設(shè)置。
12、在本實(shí)用新型的一些實(shí)施例中,還包括容器蓋;所述立柱能夠貫穿所述容器蓋。
13、在本實(shí)用新型的一些實(shí)施例中,所述立柱連接有旋轉(zhuǎn)手柄。
14、在本實(shí)用新型的一些實(shí)施例中,所述清洗容器呈桶狀。
15、在本實(shí)用新型的一些實(shí)施例中,所述底座上設(shè)置有支撐柱,所述支撐柱的頂部用于與籽晶的底端接觸。
16、在本實(shí)用新型的一些實(shí)施例中,所述底座上開設(shè)有定位孔,所述支撐柱與所述定位孔過盈配合。
17、在本實(shí)用新型的一些實(shí)施例中,所述支撐柱的上部側(cè)壁上具有防脫凸塊。
18、在本實(shí)用新型的一些實(shí)施例中,所述支撐柱的頂部呈錐形或圓臺狀。
19、本實(shí)用新型實(shí)施例至少具有如下優(yōu)點(diǎn)或有益效果:
20、一、通過限位板和限位孔能夠?qū)ψ丫鸬街?、分隔和保護(hù)的作用,避免籽晶相互之間發(fā)生碰撞、破損、隱裂。
21、二、支架可在清洗容器內(nèi)旋轉(zhuǎn),使籽晶和酸液均產(chǎn)生移動、晃動,有利于使籽晶各部位均與酸液接觸,籽晶各個面酸洗腐蝕的程度一致,從而避免籽晶因錐度不均勻造成與引晶過程所使用夾頭(用于帶動籽晶升降)之間出現(xiàn)卡頓的情況(裝配問題)。
22、三、支架不僅能夠在酸洗過程中放置籽晶,還能在酸洗后的清洗、風(fēng)干、檢查等過程中放置、轉(zhuǎn)運(yùn)籽晶。
23、本實(shí)用新型的其他特征和優(yōu)點(diǎn)將在隨后的說明書中闡述,并且,部分地從說明書中變得明顯,或者通過實(shí)施本實(shí)用新型而了解。
1.一種籽晶立式清洗工裝,其特征在于,包括:
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的籽晶立式清洗工裝,其特征在于,所述限位孔的數(shù)量大于或等于16個。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的籽晶立式清洗工裝,其特征在于,至少兩個所述限位板沿所述立柱的軸向間隔設(shè)置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的籽晶立式清洗工裝,其特征在于,還包括容器蓋;所述立柱能夠貫穿所述容器蓋。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的籽晶立式清洗工裝,其特征在于,所述立柱連接有旋轉(zhuǎn)手柄。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的籽晶立式清洗工裝,其特征在于,所述清洗容器呈桶狀。
7.根據(jù)權(quán)利要求1~6任一項(xiàng)所述的籽晶立式清洗工裝,其特征在于,所述底座上設(shè)置有支撐柱,所述支撐柱的頂部用于與籽晶的底端接觸。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的籽晶立式清洗工裝,其特征在于,所述底座上開設(shè)有定位孔,所述支撐柱與所述定位孔過盈配合。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的籽晶立式清洗工裝,其特征在于,所述支撐柱的上部側(cè)壁上具有防脫凸塊。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的籽晶立式清洗工裝,其特征在于,所述支撐柱的頂部呈錐形或圓臺狀。