本技術(shù)涉及水處理設(shè)備,特別是涉及一種純水處理裝置。
背景技術(shù):
1、在半導(dǎo)體制作工藝中,大多工序都要經(jīng)過化學(xué)處理,而每一道化學(xué)處理都離不開超純水。目前,超純水的獲取通常通過純水處理設(shè)備對原水進行過濾等處理而獲得。但是現(xiàn)有的純水處理設(shè)備大多存在過濾器使用壽命較短,過濾器更換不及時導(dǎo)致處理后的水質(zhì)不達(dá)標(biāo)的情況。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、基于此,有必要提供一種液體處理質(zhì)量較高且成本較低的純水處理裝置。
2、本申請實施例提供的純水處理裝置,包括收集箱、可開閉的第一通道組件、以及單級或多級依次級聯(lián)的過濾單元;
3、過濾單元包括:過濾器、儲液箱、以及設(shè)于儲液箱內(nèi)的水質(zhì)檢測器,過濾器與儲液箱連通;
4、各儲液箱均通過一組對應(yīng)的第一通道組件與收集箱連通;
5、其中,第一通道組件配置為在對應(yīng)的儲液箱中的水質(zhì)檢測器的檢測值超過預(yù)設(shè)閾值時開啟,以使對應(yīng)儲液箱內(nèi)的液體排出到收集箱中。
6、在其中一個實施例中,第一通道組件包括第一管道和設(shè)置在第一管道上的第一開閉閥,第一管道的兩端分別連接于儲液箱和收集箱。
7、在其中一個實施例中,儲液箱包括入口和排液口,入口與過濾器的出液端連接,第一管道的背離收集箱的端部與排液口連通。
8、在其中一個實施例中,純水處理裝置還包括可開閉的第二通道組件,將直接連接于待處理液體提供源過濾單元定義為初級過濾單元;
9、收集箱還通過第二通道組件與初級過濾單元的過濾器的進液端連接。
10、在其中一個實施例中,第二通道組件包括第二管道和設(shè)置在第二管道上的第二開閉閥。
11、在其中一個實施例中,水質(zhì)檢測器配置為投入式濁度傳感器或流通式濁度傳感器。
12、在其中一個實施例中,收集箱中設(shè)有收集箱水質(zhì)檢測器。
13、在其中一個實施例中,各儲液箱中設(shè)有液位傳感器。
14、在其中一個實施例中,儲液箱還包括出口;
15、過濾單元配置為多級依次級聯(lián);
16、將直接連接于待處理液體提供源的過濾單元定義為初級過濾單元,將除了初級過濾單元之外的過濾單元定義為次級過濾單元;
17、初級過濾單元的過濾器的進液端連接于待處理液體提供源;
18、各次級過濾單元的過濾器的進液端,均連接于上游側(cè)相鄰的過濾單元的儲液箱的出口。
19、在其中一個實施例中,同一次級過濾單元的過濾器和儲液箱的入口之間設(shè)有單向閥。
20、上述的純水處理裝置的有益效果:
21、各儲液箱均通過一組對應(yīng)的第一通道組件與收集箱連通,并且第一通道組件配置為在對應(yīng)的儲液箱中的水質(zhì)檢測器的檢測值超過預(yù)設(shè)閾值時開啟,從而能夠在該儲液箱中的液體質(zhì)量不達(dá)標(biāo)時,將儲液箱中的液體經(jīng)過第一通道組件排出到收集箱中,該部分質(zhì)量不達(dá)標(biāo)的液體不會直接作為處理完畢的液體產(chǎn)品,或者不再繼續(xù)流轉(zhuǎn)到下級的過濾單元中。如此設(shè)置,能夠在液體質(zhì)量不達(dá)標(biāo)時,及時將不達(dá)標(biāo)的液體排出,以利于最終得到處理質(zhì)量可靠的液體。在過濾單元是多級級聯(lián)的情況下,可以將質(zhì)量出現(xiàn)問題的過濾單元中的質(zhì)量不達(dá)標(biāo)液體及時排放掉,不再經(jīng)過其他過濾單元,避免該質(zhì)量不合格液體在各級過濾單元逐級過濾后依然不達(dá)標(biāo)的情況,可以提高其余過濾單元中過濾器的使用壽命,降低成本,并最終提高液體處理質(zhì)量。
1.一種純水處理裝置,其特征在于,包括收集箱、可開閉的第一通道組件、以及單級或多級依次級聯(lián)的過濾單元;
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的純水處理裝置,其特征在于,所述第一通道組件包括第一管道和設(shè)置在所述第一管道上的第一開閉閥,所述第一管道的兩端分別連接于所述儲液箱和所述收集箱。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的純水處理裝置,其特征在于,所述儲液箱包括入口和排液口,所述入口與所述過濾器的出液端連接,所述第一管道的背離所述收集箱的端部與所述排液口連通。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的純水處理裝置,其特征在于,所述純水處理裝置還包括可開閉的第二通道組件,將直接連接于待處理液體提供源的所述過濾單元定義為初級過濾單元;
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的純水處理裝置,其特征在于,所述第二通道組件包括第二管道和設(shè)置在所述第二管道上的第二開閉閥。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的純水處理裝置,其特征在于,所述水質(zhì)檢測器配置為投入式濁度傳感器或流通式濁度傳感器。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的純水處理裝置,其特征在于,所述收集箱中設(shè)有收集箱水質(zhì)檢測器。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的純水處理裝置,其特征在于,各所述儲液箱中設(shè)有液位傳感器。
9.根據(jù)權(quán)利要求3-8中任一項所述的純水處理裝置,其特征在于,所述儲液箱還包括出口;
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的純水處理裝置,其特征在于,同一所述次級過濾單元的過濾器和所述儲液箱的入口之間設(shè)有單向閥。