本技術(shù)涉及尾氣處理，具體為一種尾氣處理設(shè)備的導(dǎo)流裝置。

背景技術(shù)：

1、epi外延工藝即硅外延工藝，是指在適合的晶體底層上使單個(gè)晶體半導(dǎo)體薄膜生長(zhǎng)。在硅外延工藝過(guò)程中，大量的tcs氣體會(huì)被作為工藝尾氣排出，這些有毒有害氣體必須經(jīng)過(guò)合適的尾氣處理并處理達(dá)標(biāo)后才能排入大氣。

2、在處理工藝尾氣時(shí)需要使用尾氣導(dǎo)流裝置對(duì)氣體進(jìn)行導(dǎo)流；

3、第一、由于工藝尾氣在排出時(shí)內(nèi)部會(huì)含有大量的二氧化硅等固體顆粒，這些顆粒極易附著在導(dǎo)流管內(nèi)壁上，導(dǎo)致導(dǎo)流管內(nèi)壁出現(xiàn)堵塞的情況，進(jìn)而影響導(dǎo)流管正常使用，降低了的裝置的實(shí)用性。

4、第二、在裝卸現(xiàn)有的導(dǎo)流管時(shí)需要工人將相鄰的導(dǎo)流管上的螺栓孔對(duì)準(zhǔn)，而對(duì)準(zhǔn)的過(guò)程需要耗費(fèi)一定的時(shí)間，且部分導(dǎo)流管內(nèi)部的清理組件也是通過(guò)緊固件連接的，導(dǎo)致現(xiàn)有的導(dǎo)流裝置裝卸效率低。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的在于提供一種尾氣處理設(shè)備的導(dǎo)流裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出的問(wèn)題。

2、為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種尾氣處理設(shè)備的導(dǎo)流裝置，包括導(dǎo)流管；位于所述導(dǎo)流管內(nèi)部的刮灰桿，所述刮灰桿用以清除所述導(dǎo)流管內(nèi)壁的灰塵；位于所述導(dǎo)流管兩端的安裝環(huán)，所述安裝環(huán)用以輔助所述導(dǎo)流管相互連接；所述安裝環(huán)焊接在所述導(dǎo)流管兩端外部，所述導(dǎo)流管一端內(nèi)部螺栓連接有導(dǎo)流扇，所述導(dǎo)流扇遠(yuǎn)離所述刮灰桿的一側(cè)螺栓連接有驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)輸出端螺栓連接有驅(qū)動(dòng)桿，所述驅(qū)動(dòng)桿遠(yuǎn)離所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的一端螺栓連接有減速齒輪組，所述減速齒輪組遠(yuǎn)離所述導(dǎo)流扇的一側(cè)螺栓連接有轉(zhuǎn)接塊，所述轉(zhuǎn)接塊上卡接有銜接桿，所述銜接桿內(nèi)開(kāi)有收縮槽，所述收縮槽內(nèi)活動(dòng)嵌合有卡塊，所述卡塊上開(kāi)有卡槽，所述卡塊遠(yuǎn)離所述轉(zhuǎn)接塊的一側(cè)焊接有延伸板，所述延伸板設(shè)有兩個(gè)，兩個(gè)所述延伸板相互遠(yuǎn)離的一側(cè)焊接有擋板。

3、優(yōu)選地，其中一個(gè)所述安裝環(huán)上開(kāi)有定位槽，另一個(gè)所述安裝環(huán)上焊接有定位塊，所述定位塊與所述定位槽形狀相同。

4、優(yōu)選地，所述導(dǎo)流扇的扇葉螺栓連接在所述驅(qū)動(dòng)桿外部，所述減速齒輪組包括多個(gè)大小不同的齒輪，所述減速齒輪組外部覆蓋有防護(hù)塊，所述防護(hù)塊螺栓連接在所述導(dǎo)流管內(nèi)部。

5、優(yōu)選地，所述卡塊設(shè)有兩個(gè)，兩個(gè)所述卡塊相互遠(yuǎn)離的一側(cè)螺栓連接有彈性件，所述彈性件遠(yuǎn)離所述卡塊的一端螺栓連接在所述收縮槽內(nèi)。

6、優(yōu)選地，所述卡塊相互靠近的一端活動(dòng)嵌合在所述卡槽內(nèi)，所述銜接桿上開(kāi)有與所述收縮槽連通的嵌合槽，所述嵌合槽上下兩側(cè)與所述轉(zhuǎn)接塊上下兩側(cè)緊貼。

7、優(yōu)選地，兩個(gè)所述刮灰桿相互遠(yuǎn)離的一側(cè)與所述導(dǎo)流管內(nèi)壁緊貼，所述銜接桿靠近所述延伸板的一側(cè)開(kāi)有升降槽，所述延伸板從所述升降槽內(nèi)伸出。

8、優(yōu)選地，所述升降槽兩側(cè)與頂部開(kāi)有限位槽，所述擋板兩側(cè)與頂部活動(dòng)嵌合在所限位槽內(nèi)。

9、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型所達(dá)到的有益效果是：

10、第一、開(kāi)啟驅(qū)動(dòng)電機(jī)，使驅(qū)動(dòng)桿旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而帶動(dòng)導(dǎo)流扇與減速齒輪組旋轉(zhuǎn)，導(dǎo)流扇會(huì)將蔓延至導(dǎo)流管內(nèi)的尾氣向驅(qū)動(dòng)電機(jī)的方向?qū)С?，減速齒輪組輸出端的齒輪會(huì)帶動(dòng)轉(zhuǎn)接塊旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而使銜接桿兩端的刮灰桿與導(dǎo)流扇呈不同的轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)，刮灰桿會(huì)將導(dǎo)流管內(nèi)壁附著的灰塵刮落，使灰塵跟隨高速流動(dòng)的空氣導(dǎo)出導(dǎo)流管，多個(gè)組件相互配合可以使尾氣在被引流時(shí)攜帶的大顆粒灰塵不會(huì)附著在導(dǎo)流管內(nèi)壁上，進(jìn)而防止導(dǎo)流管堵塞，提高了裝置的實(shí)用性。

11、第二、向相互遠(yuǎn)離的方向推動(dòng)延伸板，卡塊從卡槽內(nèi)移出時(shí)可將銜接桿從轉(zhuǎn)接塊上取下，進(jìn)而對(duì)刮灰桿進(jìn)行裝卸或清洗，在安裝相鄰的導(dǎo)流管時(shí)，將其中一個(gè)安裝環(huán)上的定位槽對(duì)準(zhǔn)另一個(gè)安裝環(huán)上的定位塊，并使定位塊嵌入定位槽內(nèi)，此時(shí)即可使用緊固件將兩個(gè)相鄰的導(dǎo)流管安裝在一起，刮灰桿與導(dǎo)流管均可以通過(guò)卡接連接與定位，大大減少了工人的安裝時(shí)間，提高了安裝效率。

技術(shù)特征：

1.一種尾氣處理設(shè)備的導(dǎo)流裝置，其特征在于：包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種尾氣處理設(shè)備的導(dǎo)流裝置，其特征在于：其中一個(gè)所述安裝環(huán)(2)上開(kāi)有定位槽(4)，另一個(gè)所述安裝環(huán)(2)上焊接有定位塊(3)，所述定位塊(3)與所述定位槽(4)形狀相同。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種尾氣處理設(shè)備的導(dǎo)流裝置，其特征在于：所述導(dǎo)流扇(6)的扇葉螺栓連接在所述驅(qū)動(dòng)桿(7)外部，所述減速齒輪組(21)包括多個(gè)大小不同的齒輪，所述減速齒輪組(21)外部覆蓋有防護(hù)塊(20)，所述防護(hù)塊(20)螺栓連接在所述導(dǎo)流管(1)內(nèi)部。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種尾氣處理設(shè)備的導(dǎo)流裝置，其特征在于：所述卡塊(12)設(shè)有兩個(gè)，兩個(gè)所述卡塊(12)相互遠(yuǎn)離的一側(cè)螺栓連接有彈性件(13)，所述彈性件(13)遠(yuǎn)離所述卡塊(12)的一端螺栓連接在所述收縮槽(10)內(nèi)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種尾氣處理設(shè)備的導(dǎo)流裝置，其特征在于：所述卡塊(12)相互靠近的一端活動(dòng)嵌合在所述卡槽(19)內(nèi)，所述銜接桿(9)上開(kāi)有與所述收縮槽(10)連通的嵌合槽(11)，所述嵌合槽(11)上下兩側(cè)與所述轉(zhuǎn)接塊(18)上下兩側(cè)緊貼。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種尾氣處理設(shè)備的導(dǎo)流裝置，其特征在于：兩個(gè)所述刮灰桿(8)相互遠(yuǎn)離的一側(cè)與所述導(dǎo)流管(1)內(nèi)壁緊貼，所述銜接桿(9)靠近所述延伸板(14)的一側(cè)開(kāi)有升降槽(16)，所述延伸板(14)從所述升降槽(16)內(nèi)伸出。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種尾氣處理設(shè)備的導(dǎo)流裝置，其特征在于：所述升降槽(16)兩側(cè)與頂部開(kāi)有限位槽(17)，所述擋板(15)兩側(cè)與頂部活動(dòng)嵌合在所述限位槽(17)內(nèi)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及尾氣處理技術(shù)領(lǐng)域，且公開(kāi)了一種尾氣處理設(shè)備的導(dǎo)流裝置。該尾氣處理設(shè)備的導(dǎo)流裝置，包括導(dǎo)流管；位于所述導(dǎo)流管內(nèi)部的刮灰桿，所述刮灰桿用以清除所述導(dǎo)流管內(nèi)壁的灰塵；位于所述導(dǎo)流管兩端的安裝環(huán)，進(jìn)而帶動(dòng)導(dǎo)流扇與減速齒輪組旋轉(zhuǎn)，導(dǎo)流扇會(huì)將蔓延至導(dǎo)流管內(nèi)的尾氣向驅(qū)動(dòng)電機(jī)的方向?qū)С?，減速齒輪組輸出端的齒輪會(huì)帶動(dòng)轉(zhuǎn)接塊旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而使銜接桿兩端的刮灰桿與導(dǎo)流扇呈不同的轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)，刮灰桿會(huì)將導(dǎo)流管內(nèi)壁附著的灰塵刮落，使灰塵跟隨高速流動(dòng)的空氣導(dǎo)出導(dǎo)流管，多個(gè)組件相互配合可以使尾氣在被引流時(shí)攜帶的大顆?；覊m不會(huì)附著在導(dǎo)流管內(nèi)壁上，進(jìn)而防止導(dǎo)流管堵塞，提高了裝置的實(shí)用性。

技術(shù)研發(fā)人員：朱志剛
受保護(hù)的技術(shù)使用者：湖南常儒科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240411
技術(shù)公布日：2025/1/6