本技術(shù)涉及石墨舟清洗，尤其涉及一種放置雙層石墨舟的槽體裝置。

背景技術(shù)：

1、在晶體硅電池片生產(chǎn)過程中，鍍膜工序是最重要的工序之一，該工序需要對硅片進行鍍膜處理。鍍膜工序通常借助于管式鍍膜設(shè)備。管式鍍膜設(shè)備在運行過程中需要石墨舟作硅片的載體，以便于鍍膜工序的展開。石墨舟承載硅片并連續(xù)鍍膜一定次數(shù)后，其表面附著氮化硅過多，會致使硅片出現(xiàn)鍍膜色差等異常情況，因此石墨舟在使用一定次數(shù)后需要對其進行清洗。

2、現(xiàn)有專利(公開號：cn216563041u)公開了一種石墨舟自動清洗用舟架，具體為機械手可以通過抓取部對舟架進行抓取，將石墨舟放置在舟架內(nèi)后，即可由機械手進行舟架和石墨舟在清洗槽的取放，以實現(xiàn)石墨舟的自動清洗，但我們在實際應(yīng)用中發(fā)現(xiàn)，舟架本身增加了機械手的負重，使得機械手不方便進行移動，因此本實用新型提供了一種放置雙層石墨舟的槽體裝置。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實用新型提供了一種放置雙層石墨舟的槽體裝置，用于解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

2、為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用了如下技術(shù)方案：

3、一種放置雙層石墨舟的槽體裝置，包括槽體，所述槽體內(nèi)壁底部設(shè)置有第一支撐組件，所述槽體內(nèi)部轉(zhuǎn)動連接有支撐柱，所述支撐柱表面轉(zhuǎn)動連接有固定板，且固定板與槽體固定連接，所述支撐柱表面設(shè)置有第二支撐組件，所述槽體內(nèi)壁固定安裝有安裝罩，所述安裝罩內(nèi)部設(shè)置有氣缸，所述氣缸輸出端設(shè)置有連桿組件，且連桿組件連接在支撐柱的表面。

4、優(yōu)選的，所述第一支撐組件包括設(shè)置于槽體內(nèi)壁底部的第一馬仔和第二馬仔，所述第一馬仔相向面固定安裝有第一孔洞支撐板。

5、優(yōu)選的，所述第二支撐組件包括設(shè)置于支撐柱表面的哨狀pp板，所述哨狀pp板相向面固定安裝有第二孔洞支撐板。

6、優(yōu)選的，所述連桿組件包括設(shè)置于氣缸輸出端的固定座，所述固定座內(nèi)部固定安裝有主動臂，所述主動臂內(nèi)部固定安裝有第一銷軸，所述第一銷軸表面轉(zhuǎn)動連接有連接桿，所述連接桿內(nèi)部轉(zhuǎn)動連接有第二銷軸，所述第二銷軸表面固定安裝有從動臂，且從動臂與支撐柱固定連接。

7、優(yōu)選的，所述槽體內(nèi)部固定安裝有支撐板擋塊，所述槽體表面固定安裝有中部加強筋，且中部加強筋高度與固定板高度相同，所述槽體表面固定安裝有底部加強筋，所述槽體表面固定安裝有底部加強筋。

8、優(yōu)選的，所述固定板的數(shù)量為多個，所述固定板表面貫穿設(shè)置有用于與支撐柱相連接的通孔，且支撐柱與通孔轉(zhuǎn)動連接。

9、優(yōu)選的，所述連接桿的數(shù)量為多個，所述連接桿對稱式分布于主動臂兩端支點，所述固定座位于主動臂的中部。

10、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是：該放置雙層石墨舟的槽體裝置，通過氣缸和連桿組件的配合使用，使得第二支撐組件向上翻轉(zhuǎn)90度，通過機械手將石墨舟的舟腳放置在第一支撐組件中，隨后通過氣缸和連桿組件的配合使用，使得第二支撐組件向下翻轉(zhuǎn)90度，通過機械手將石墨舟的舟腳放置在第二支撐組件中，隨后即可通過槽體內(nèi)部的清水對雙層放置的石墨舟進行清洗，便于槽體裝置自身就可以對石墨舟進行限位放置，可棄置洗用舟架，從而有效減輕機械手負重，且石墨舟可以雙層放置在槽體裝置中，從而便于槽體裝置可以一次性對雙層的石墨舟進行清洗，從而加快對石墨舟的清洗速度。

技術(shù)特征：

1.一種放置雙層石墨舟的槽體裝置，包括槽體(1)，其特征在于，所述槽體(1)內(nèi)壁底部設(shè)置有第一支撐組件，所述槽體(1)內(nèi)部轉(zhuǎn)動連接有支撐柱(5)，所述支撐柱(5)表面轉(zhuǎn)動連接有固定板(6)，且固定板(6)與槽體(1)固定連接，所述支撐柱(5)表面設(shè)置有第二支撐組件，所述槽體(1)內(nèi)壁固定安裝有安裝罩(11)，所述安裝罩(11)內(nèi)部設(shè)置有氣缸(12)，所述氣缸(12)輸出端設(shè)置有連桿組件，且連桿組件連接在支撐柱(5)的表面。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種放置雙層石墨舟的槽體裝置，其特征在于，所述第一支撐組件包括設(shè)置于槽體(1)內(nèi)壁底部的第一馬仔(2)和第二馬仔(4)，所述第一馬仔(2)相向面固定安裝有第一孔洞支撐板(3)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種放置雙層石墨舟的槽體裝置，其特征在于，所述第二支撐組件包括設(shè)置于支撐柱(5)表面的哨狀pp板(7)，所述哨狀pp板(7)相向面固定安裝有第二孔洞支撐板(8)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種放置雙層石墨舟的槽體裝置，其特征在于，所述連桿組件包括設(shè)置于氣缸(12)輸出端的固定座(13)，所述固定座(13)內(nèi)部固定安裝有主動臂(14)，所述主動臂(14)內(nèi)部固定安裝有第一銷軸(15)，所述第一銷軸(15)表面轉(zhuǎn)動連接有連接桿(16)，所述連接桿(16)內(nèi)部轉(zhuǎn)動連接有第二銷軸(17)，所述第二銷軸(17)表面固定安裝有從動臂(18)，且從動臂(18)與支撐柱(5)固定連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種放置雙層石墨舟的槽體裝置，其特征在于，所述槽體(1)內(nèi)部固定安裝有支撐板擋塊(9)，所述槽體(1)表面固定安裝有中部加強筋(10)，且中部加強筋(10)高度與固定板(6)高度相同，所述槽體(1)表面固定安裝有底部加強筋(19)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種放置雙層石墨舟的槽體裝置，其特征在于，所述固定板(6)的數(shù)量為多個，所述固定板(6)表面貫穿設(shè)置有用于與支撐柱(5)相連接的通孔，且支撐柱(5)與通孔轉(zhuǎn)動連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種放置雙層石墨舟的槽體裝置，其特征在于，所述連接桿(16)的數(shù)量為多個，所述連接桿(16)對稱式分布于主動臂(14)兩端支點，所述固定座(13)位于主動臂(14)的中部。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種放置雙層石墨舟的槽體裝置，包括槽體，所述槽體內(nèi)壁底部設(shè)置有第一支撐組件，所述槽體內(nèi)部轉(zhuǎn)動連接有支撐柱，所述支撐柱表面轉(zhuǎn)動連接有固定板，且固定板與槽體固定連接，所述支撐柱表面設(shè)置有第二支撐組件，所述槽體內(nèi)壁固定安裝有安裝罩，所述安裝罩內(nèi)部設(shè)置有氣缸，所述氣缸輸出端設(shè)置有連桿組件，且連桿組件連接在支撐柱的表面。通過氣缸、連桿組件、第一支撐組件和第二支撐組件的配合使用，便于槽體裝置自身就可以對石墨舟進行限位放置，可棄置洗用舟架，從而有效減輕機械手負重，且石墨舟可以雙層放置在槽體裝置中，從而便于槽體裝置可以一次性對雙層的石墨舟進行清洗，從而加快對石墨舟的清洗速度。

技術(shù)研發(fā)人員：周埒男,陳磊
受保護的技術(shù)使用者：無錫中硅新陽智能裝備有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240422
技術(shù)公布日：2025/1/9