本技術(shù)涉及清洗設(shè)備，具體為干法清洗機(jī)。

背景技術(shù)：

1、干式清洗機(jī)是使用氣體清洗劑，以壓力或抽吸方法清除不良物質(zhì)的機(jī)器，或者不使用清洗劑，而是使用刷子或者其它材料制作的零件直接將制件上的不良物質(zhì)去除的機(jī)器，用于多領(lǐng)域(如電子，半導(dǎo)體芯片制造等)使用，用于清洗產(chǎn)品表面臟污物質(zhì)，也可對產(chǎn)品表面材料作活化處理等。

2、現(xiàn)有的干法清洗機(jī)由于密封性等原因，使得零件的清洗效率不高，同時(shí)，在清洗完畢后，清洗倉內(nèi)部的空氣會混雜廢料顆粒和有害氣體，如果直接排出，會影響環(huán)境，因此，提出干法清洗機(jī)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、(一)解決的技術(shù)問題

2、針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型提供了干法清洗機(jī)，具備清洗效果好和便于過濾排放氣體等優(yōu)點(diǎn)，解決了干法清洗機(jī)清洗效果不佳和不能過濾排放氣體的問題。

3、(二)技術(shù)方案

4、為實(shí)現(xiàn)上述清洗效果好和便于過濾排放氣體的目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：

5、干法清洗機(jī)，包括清洗機(jī)外殼、安裝在清洗機(jī)外殼上的控制面板，以及安裝在清洗機(jī)外殼底部的輪子，所述清洗機(jī)外殼的內(nèi)部分別開設(shè)有鉛板空腔和安裝腔，所述安裝腔的內(nèi)部安裝有真空泵和射頻電源本體，所述鉛板的內(nèi)部開設(shè)了抽氣口和等射頻電源輻射入口，其中真空泵的輸入端與抽氣口相連通，其中射頻電源本體的輸出端與等射頻電源輻射入口相連通，所述鉛板空腔的內(nèi)部開設(shè)有排氣管，排氣管上連接有過濾閥。

6、作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述鉛板空腔的內(nèi)底壁上安裝有清洗臺，用于放置待零件。

7、作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述鉛板空腔相對的兩個內(nèi)壁上均開設(shè)有兩個等射頻電源輻射入口，兩個所述等射頻電源輻射入口分別位于清洗臺的兩側(cè)。

8、作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述清洗機(jī)外殼上開設(shè)有排氣口，排氣口開設(shè)在安裝腔與清洗機(jī)外殼相近的側(cè)壁上。

9、作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述鉛板空腔處鉸接有密封門，密封門上安裝了透明觀察窗。

10、作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述過濾閥的內(nèi)部安裝了凈化網(wǎng)。

11、作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述過濾閥螺紋連接在排氣管位于鉛板空腔內(nèi)部的一端上。

12、(三)有益效果

13、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型提供了干法清洗機(jī)，具備以下有益效果：

14、該干法清洗機(jī)，通過鉛板腔體設(shè)計(jì)，且腔體結(jié)構(gòu)材質(zhì)使用鉛板膈開內(nèi)部高壓電壓離子輻射，兩路氣體分開進(jìn)入，并可控制不同氣氛流量和時(shí)間，從而達(dá)到提升零件清洗效率的效果，通過在鉛板空腔的內(nèi)部安裝了排氣管和在排氣管上螺紋連接了帶有凈化網(wǎng)的過濾閥，使零件在清潔完成后，鉛板空腔內(nèi)部的空氣能夠被凈化后再排放，從而達(dá)到保護(hù)環(huán)境的效果。

技術(shù)特征：

1.干法清洗機(jī)，包括清洗機(jī)外殼(1)、安裝在清洗機(jī)外殼(1)上的控制面板(2)，以及安裝在清洗機(jī)外殼(1)底部的輪子(3)，其特征在于：所述清洗機(jī)外殼(1)的內(nèi)部分別開設(shè)有鉛板空腔(7)和安裝腔(9)，所述安裝腔(9)的內(nèi)部安裝有真空泵(8)和射頻電源本體(10)，所述鉛板空腔(7)的內(nèi)部開設(shè)了抽氣口(13)和等射頻電源輻射入口(14)，其中真空泵(8)的輸入端與抽氣口(13)相連通，其中射頻電源本體(10)的輸出端與等射頻電源輻射入口(14)相連通，所述鉛板空腔(7)的內(nèi)部開設(shè)有排氣管(16)，排氣管(16)上連接有過濾閥(11)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的干法清洗機(jī)，其特征在于：所述鉛板空腔(7)的內(nèi)底壁上安裝有清洗臺(12)，用于放置待零件。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的干法清洗機(jī)，其特征在于：所述鉛板空腔(7)相對的兩個內(nèi)壁上均開設(shè)有兩個等射頻電源輻射入口(14)，兩個所述等射頻電源輻射入口(14)分別位于清洗臺(12)的兩側(cè)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的干法清洗機(jī)，其特征在于：所述清洗機(jī)外殼(1)上開設(shè)有排氣口(4)，排氣口(4)開設(shè)在安裝腔(9)與清洗機(jī)外殼(1)相近的側(cè)壁上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的干法清洗機(jī)，其特征在于：所述鉛板空腔(7)處鉸接有密封門(5)，密封門(5)上安裝了透明觀察窗(6)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的干法清洗機(jī)，其特征在于：所述過濾閥(11)的內(nèi)部安裝了凈化網(wǎng)(15)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的干法清洗機(jī)，其特征在于：所述過濾閥(11)螺紋連接在排氣管(16)位于鉛板空腔(7)內(nèi)部的一端上。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及清洗設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，且公開了干法清洗機(jī)，包括清洗機(jī)外殼、安裝在清洗機(jī)外殼上的控制面板，以及安裝在清洗機(jī)外殼底部的輪子，所述清洗機(jī)外殼的內(nèi)部分別開設(shè)有鉛板空腔和安裝腔，所述安裝腔的內(nèi)部安裝有真空泵和射頻電源本體，所述鉛板的內(nèi)部開設(shè)了抽氣口和等射頻電源輻射入口。該干法清洗機(jī)，通過鉛板腔體設(shè)計(jì)，且腔體結(jié)構(gòu)材質(zhì)使用鉛板膈開內(nèi)部高壓電壓離子輻射，兩路氣體分開進(jìn)入，并可控制不同氣氛流量和時(shí)間，從而達(dá)到提升零件清洗效率的效果，通過在鉛板空腔的內(nèi)部安裝了排氣管和在排氣管上螺紋連接了帶有凈化網(wǎng)的過濾閥，使零件在清潔完成后，鉛板空腔內(nèi)部的空氣能夠被凈化后再排放，從而達(dá)到保護(hù)環(huán)境的效果。

技術(shù)研發(fā)人員：徐志先,劉亮,任凱,蔣萍燕
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海博納微電子設(shè)備有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240429
技術(shù)公布日：2024/12/23