本技術(shù)涉及半導(dǎo)體晶圓清洗，更具體地說，涉及一種集成式清洗裝置。

背景技術(shù)：

1、在晶圓的封裝工序中，晶圓減薄為至關(guān)重要的一環(huán)，該過程需要對(duì)晶圓以及搬運(yùn)晶圓的微孔陶瓷吸盤進(jìn)行清潔，必須保證在減薄后的晶圓底面以及負(fù)責(zé)搬運(yùn)晶圓的微孔陶瓷吸盤是干凈的，防止微孔陶瓷吸盤底部有灰塵，導(dǎo)致在吸真空搬運(yùn)晶圓的情況下造成晶圓破裂，同時(shí)也可以防止晶圓電路面磨削結(jié)束后附著灰塵，造成搬運(yùn)后再清洗機(jī)位置吸真空破損。

2、現(xiàn)有的技術(shù)方案由于毛刷和油石分開放置來完成晶圓以及搬運(yùn)晶圓的微孔陶瓷吸盤清洗，會(huì)造成空間浪費(fèi)，同時(shí)不能保證油石和毛刷絕對(duì)平行，需要對(duì)油石和毛刷分開進(jìn)行調(diào)試，如此一來，會(huì)浪費(fèi)時(shí)間。

3、因此，如何解決現(xiàn)有的晶圓清洗設(shè)備占用空間大和調(diào)試繁瑣的問題，是目前本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、有鑒于此，本實(shí)用新型的目的是提供一種集成式清洗裝置，可以減小整個(gè)設(shè)備的占用空間以及調(diào)平的時(shí)間，還可以降低設(shè)備的成本。

2、為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：

3、一種集成式清洗裝置，包括具有刷面部及磨面部的一體式清洗組件、對(duì)清洗組件進(jìn)行調(diào)平處理的調(diào)平機(jī)構(gòu)，刷面部與磨面部非同一面布置，清洗組件沿調(diào)平機(jī)構(gòu)往復(fù)移動(dòng)，以對(duì)待清洗部件往復(fù)接觸式清洗，還包括一翻轉(zhuǎn)組件，以使刷面部和磨面部在工作位翻轉(zhuǎn)切換。

4、優(yōu)選的，清洗組件的兩端通過支架設(shè)置在運(yùn)動(dòng)底板上，運(yùn)動(dòng)底板可往復(fù)移動(dòng)的設(shè)于調(diào)平機(jī)構(gòu)。

5、優(yōu)選的，清洗組件還包括異形轉(zhuǎn)軸，異形轉(zhuǎn)軸的兩端與支架轉(zhuǎn)動(dòng)連接，異形轉(zhuǎn)軸上設(shè)有用于安裝磨面部的調(diào)整板，異形轉(zhuǎn)軸上固定有刷面部。

6、優(yōu)選的，調(diào)整板上設(shè)有用于安裝磨面部的固定槽，調(diào)整板的兩側(cè)設(shè)有螺紋孔，螺紋孔與第一螺釘配合，以固定磨面部于調(diào)整板，清洗組件具有調(diào)平結(jié)構(gòu)，調(diào)平結(jié)構(gòu)設(shè)于調(diào)整板，調(diào)平結(jié)構(gòu)包括頂絲和第二螺釘，頂絲和第二螺釘配合，以調(diào)平和固定調(diào)整板于異形轉(zhuǎn)軸。

7、優(yōu)選的，刷面部和磨面部的兩側(cè)設(shè)有噴洗組件，噴洗組件與控制裝置連接并用于噴洗待清洗部件，噴洗組件包括設(shè)于調(diào)平機(jī)構(gòu)上的支座，支座的頂部設(shè)有噴水管，噴水管上設(shè)有多個(gè)噴孔。

8、優(yōu)選的，調(diào)平機(jī)構(gòu)包括：

9、調(diào)平底板，設(shè)于固定底座，調(diào)平底板上設(shè)有減震件，運(yùn)動(dòng)底板上設(shè)有用以容納減震件的槽孔，減震件的外周套接有緩沖墊；

10、調(diào)平螺釘，為中空結(jié)構(gòu)，調(diào)平螺釘設(shè)于調(diào)平底板；

11、鎖緊螺釘，插接于調(diào)平螺釘內(nèi)，鎖緊螺釘?shù)囊欢伺c固定底座連接，鎖緊螺釘相對(duì)調(diào)平底板的兩端面通過鎖緊螺母鎖緊，以實(shí)現(xiàn)調(diào)平底板的定位和鎖緊，通過調(diào)平螺釘和鎖緊螺釘?shù)呐浜?，以調(diào)整調(diào)平底板的水平度。

12、優(yōu)選的，調(diào)平底板上固設(shè)有帶有導(dǎo)向槽的滑塊，運(yùn)動(dòng)底板與固定在調(diào)平底板上的圓柱氣缸的輸出端連接，圓柱氣缸與控制裝置連接，圓柱氣缸帶動(dòng)運(yùn)動(dòng)底板沿導(dǎo)向槽往復(fù)運(yùn)動(dòng)。

13、優(yōu)選的，支架上設(shè)有與控制裝置連接的翻轉(zhuǎn)氣缸，翻轉(zhuǎn)氣缸的輸出端與齒輪連接，齒輪設(shè)于異形轉(zhuǎn)軸的端部，并用于帶動(dòng)異形轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)動(dòng)。

14、優(yōu)選的，支架上設(shè)有兩個(gè)限位螺釘，兩個(gè)限位螺釘對(duì)稱設(shè)于異形轉(zhuǎn)軸的兩側(cè)，異形轉(zhuǎn)軸的一側(cè)設(shè)有限位擋板，限位擋板與限位螺釘配合，以穩(wěn)定翻轉(zhuǎn)后的磨面部和刷面部的位置。

15、優(yōu)選的，支架的頂部一側(cè)安裝有刮板，刮板的頂部低于噴水管。

16、本實(shí)用新型提供的集成式清洗裝置包括清洗組件、調(diào)平機(jī)構(gòu)和翻轉(zhuǎn)組件，具體來說，清洗組件為具有刷面部及磨面部的一體式清洗組件，以實(shí)現(xiàn)對(duì)待清洗部件的清洗，通過調(diào)平機(jī)構(gòu)的調(diào)平作用，實(shí)現(xiàn)對(duì)整體的調(diào)平。

17、清洗組件可沿調(diào)平機(jī)構(gòu)往復(fù)移動(dòng)，通過清洗組件的往復(fù)移動(dòng)可以實(shí)現(xiàn)對(duì)待清洗部件的多次反復(fù)清洗，清洗組件通過翻轉(zhuǎn)組件的作用，可翻轉(zhuǎn)的設(shè)于調(diào)平機(jī)構(gòu)，磨面部和刷面部設(shè)置在調(diào)平機(jī)構(gòu)的不同位置，磨面部用于清洗吸附晶圓的吸盤，刷面部用于清洗晶圓，通過清洗組件的翻轉(zhuǎn)實(shí)現(xiàn)磨面部和刷面部的交替工作，也就是說，通過清洗組件的翻轉(zhuǎn)，可以調(diào)整磨面部或刷面部進(jìn)入清洗狀態(tài)，從而使二者可以交替工作，互相不干涉，相較于傳統(tǒng)設(shè)置方案而言，可以通過調(diào)平機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)調(diào)平，減少調(diào)整時(shí)間。

技術(shù)特征：

1.一種集成式清洗裝置，其特征在于，包括具有刷面部(101)及磨面部(102)的一體式清洗組件(1)、對(duì)所述清洗組件(1)進(jìn)行調(diào)平處理的調(diào)平機(jī)構(gòu)(2)，所述刷面部(101)與所述磨面部(102)非同一面布置，所述清洗組件(1)沿所述調(diào)平機(jī)構(gòu)(2)往復(fù)移動(dòng)，以對(duì)待清洗部件往復(fù)接觸式清洗，還包括一翻轉(zhuǎn)組件，以使所述刷面部(101)和所述磨面部(102)在工作位翻轉(zhuǎn)切換。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成式清洗裝置，其特征在于，所述清洗組件(1)的兩端通過支架(3)設(shè)置在運(yùn)動(dòng)底板(4)上，所述運(yùn)動(dòng)底板(4)可往復(fù)移動(dòng)的設(shè)于所述調(diào)平機(jī)構(gòu)(2)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的集成式清洗裝置，其特征在于，所述清洗組件(1)還包括異形轉(zhuǎn)軸(103)，所述異形轉(zhuǎn)軸(103)的兩端與所述支架(3)轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述異形轉(zhuǎn)軸(103)上設(shè)有用于安裝所述磨面部(102)的調(diào)整板(104)，所述異形轉(zhuǎn)軸(103)上固定有所述刷面部(101)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的集成式清洗裝置，其特征在于，所述調(diào)整板(104)上設(shè)有用于安裝所述磨面部(102)的固定槽，所述調(diào)整板(104)的兩側(cè)設(shè)有螺紋孔，所述螺紋孔與第一螺釘配合，以固定所述磨面部(102)于所述調(diào)整板(104)，所述清洗組件(1)具有調(diào)平結(jié)構(gòu)(5)，所述調(diào)平結(jié)構(gòu)(5)設(shè)于所述調(diào)整板(104)，所述調(diào)平結(jié)構(gòu)(5)包括頂絲(51)和第二螺釘(52)，所述頂絲(51)和所述第二螺釘(52)配合，以調(diào)平和固定所述調(diào)整板(104)于所述異形轉(zhuǎn)軸(103)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的集成式清洗裝置，其特征在于，所述刷面部(101)和所述磨面部(102)的兩側(cè)設(shè)有噴洗組件(6)，所述噴洗組件(6)與控制裝置連接并用于噴洗所述待清洗部件，所述噴洗組件(6)包括設(shè)于所述調(diào)平機(jī)構(gòu)(2)上的支座(61)，所述支座(61)的頂部設(shè)有噴水管(62)，所述噴水管(62)上設(shè)有多個(gè)噴孔。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的集成式清洗裝置，其特征在于，所述調(diào)平機(jī)構(gòu)(2)包括：

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的集成式清洗裝置，其特征在于，所述調(diào)平底板(21)上固設(shè)有帶有導(dǎo)向槽的滑塊(9)，所述運(yùn)動(dòng)底板(4)與固定在所述調(diào)平底板(21)上的圓柱氣缸(10)的輸出端連接，所述圓柱氣缸(10)與所述控制裝置連接，所述圓柱氣缸(10)帶動(dòng)所述運(yùn)動(dòng)底板(4)沿所述導(dǎo)向槽往復(fù)運(yùn)動(dòng)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的集成式清洗裝置，其特征在于，所述支架(3)上設(shè)有與所述控制裝置連接的翻轉(zhuǎn)氣缸(11)，所述翻轉(zhuǎn)氣缸(11)的輸出端與齒輪(12)連接，所述齒輪(12)設(shè)于所述異形轉(zhuǎn)軸(103)的端部，并用于帶動(dòng)所述異形轉(zhuǎn)軸(103)的轉(zhuǎn)動(dòng)。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的集成式清洗裝置，其特征在于，所述支架(3)上設(shè)有兩個(gè)限位螺釘(13)，兩個(gè)所述限位螺釘(13)對(duì)稱設(shè)于所述異形轉(zhuǎn)軸(103)的兩側(cè)，所述異形轉(zhuǎn)軸(103)的一側(cè)設(shè)有限位擋板(14)，所述限位擋板(14)與所述限位螺釘(13)配合，以穩(wěn)定翻轉(zhuǎn)后的所述刷面部(101)和所述磨面部(102)的位置。

10.根據(jù)權(quán)利要求5-9任意一項(xiàng)所述的集成式清洗裝置，其特征在于，所述支架(3)的頂部一側(cè)安裝有刮板(15)，所述刮板(15)的頂部低于所述噴水管(62)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種集成式清洗裝置，涉及半導(dǎo)體晶圓清洗技術(shù)領(lǐng)域，為了解決現(xiàn)有的晶圓清洗設(shè)備占用空間大和調(diào)試繁瑣的問題，該裝置包括具有刷面部及磨面部的一體式清洗組件、對(duì)清洗組件進(jìn)行調(diào)平處理的調(diào)平機(jī)構(gòu)，刷面部與磨面部非同一面布置，清洗組件沿調(diào)平機(jī)構(gòu)往復(fù)移動(dòng)，以對(duì)待清洗部件往復(fù)接觸式清洗，還包括一翻轉(zhuǎn)組件，以使刷面部和磨面部在工作位翻轉(zhuǎn)切換，通過清洗組件的翻轉(zhuǎn)實(shí)現(xiàn)磨面部和刷面部的交替工作，可以調(diào)整磨面部或刷面部進(jìn)入清洗狀態(tài)，從而使二者可以交替工作，互相不干涉，相較于傳統(tǒng)設(shè)置方案而言，可以通過調(diào)平機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)調(diào)平，減少調(diào)整時(shí)間。

技術(shù)研發(fā)人員：趙彤宇,武永超,韓精昆,呂鵬,王琦
受保護(hù)的技術(shù)使用者：光力瑞弘電子科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240430
技術(shù)公布日：2025/1/2