本技術(shù)涉及晶圓清洗的，尤其涉及一種快排清洗槽。

背景技術(shù)：

1、晶圓在經(jīng)歷酸堿溶液后，酸堿液殘留可能導(dǎo)致設(shè)備部件的腐蝕，尤其是當(dāng)液體殘留在設(shè)備表面或通道中時，可能縮短設(shè)備的壽命，增加維護成本，酸堿液殘留可能導(dǎo)致表面產(chǎn)生污染或化學(xué)反應(yīng)，影響晶圓的表面質(zhì)量，因此，針對上述問題，提出一種超聲水浴加熱槽。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供了如下技術(shù)方案：一種快排清洗槽，包括水槽，所述水槽前后兩側(cè)面設(shè)置固定支架，所述水槽上方沿所述水槽中心對稱設(shè)置噴淋裝置，所述噴淋裝置包括噴淋管、固定板，兩個所述噴淋管分別設(shè)置在所述水槽前后側(cè)壁上方，所述噴淋管兩端設(shè)置固定板，兩個所述固定板分別固定設(shè)置在所述水槽左右兩側(cè)面上，所述噴淋管開設(shè)多個噴淋孔；所述水槽左側(cè)面設(shè)置水阻箱，所述水阻箱內(nèi)設(shè)置水阻計；所述水槽內(nèi)設(shè)置過濾板并通過固定柱固定在所述水槽底面上，所述水槽左側(cè)面下方前后兩端分別設(shè)置進水管，所述水槽底面設(shè)置兩個排水閥。

2、進一步地，所述水槽底面上設(shè)置兩個均流板，兩個所述均流板與兩個所述進水管相連通，所述均流板側(cè)面排列設(shè)置多個均流孔。

3、進一步地，所述均流孔的高度低于所述過濾板的高度。

4、進一步地，所述水槽四壁上表面均設(shè)置溢流口，所述溢流口為錐形并排列設(shè)置在所述水槽四壁上表面，使所述水槽四壁上端呈鋸齒形。

5、進一步地，所述水阻箱上表面與所述水槽上表面處于同一水平面。

6、進一步地，所述噴淋管上設(shè)置調(diào)節(jié)閥，兩個所述調(diào)節(jié)閥分別設(shè)置在兩端所述噴淋孔兩側(cè)。

7、本實用新型具有如下有益效果：

8、本實用新型中，噴淋管能夠在較短的時間內(nèi)對晶圓表面進行清洗，也能夠確保噴撒的溶液均勻覆蓋整個晶圓表面，使得清洗更加徹底；均流板和均流孔使水能夠均勻的流入水槽內(nèi)，不會對晶圓直沖使晶圓發(fā)生碰撞。

技術(shù)特征：

1.一種快排清洗槽，其特征在于：包括水槽(1)，所述水槽(1)前后兩側(cè)面設(shè)置固定支架(2)，所述水槽(1)上方沿所述水槽(1)中心對稱設(shè)置噴淋裝置(3)，所述噴淋裝置(3)包括噴淋管(31)、固定板(32)，兩個所述噴淋管(31)分別設(shè)置在所述水槽(1)前后側(cè)壁上方，所述噴淋管(31)兩端設(shè)置固定板(32)，兩個所述固定板(32)分別固定設(shè)置在所述水槽(1)左右兩側(cè)面上，所述噴淋管(31)開設(shè)多個噴淋孔(33)；所述水槽(1)左側(cè)面設(shè)置水阻箱(4)，所述水阻箱(4)內(nèi)設(shè)置水阻計(5)；所述水槽(1)內(nèi)設(shè)置過濾板(6)并通過固定柱(7)固定在所述水槽(1)底面上，所述水槽(1)左側(cè)面下方前后兩端分別設(shè)置進水管(8)，所述水槽(1)底面設(shè)置兩個排水閥(9)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種快排清洗槽，其特征在于：所述水槽(1)底面上設(shè)置兩個均流板(11)，兩個所述均流板(11)與兩個所述進水管(8)相連通，所述均流板(11)側(cè)面排列設(shè)置多個均流孔(12)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種快排清洗槽，其特征在于：所述均流孔(12)的高度低于所述過濾板(6)的高度。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種快排清洗槽，其特征在于：所述水槽(1)四壁上表面均設(shè)置溢流口(13)，所述溢流口(13)為錐形并排列設(shè)置在所述水槽(1)四壁上表面，使所述水槽(1)四壁上端呈鋸齒形。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種快排清洗槽，其特征在于：所述水阻箱(4)上表面與所述水槽(1)上表面處于同一水平面。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種快排清洗槽，其特征在于：所述噴淋管(31)上設(shè)置調(diào)節(jié)閥(34)，兩個所述調(diào)節(jié)閥(34)分別設(shè)置在兩端所述噴淋孔(33)兩側(cè)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及晶圓清洗的技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種快排清洗槽，包括水槽，水槽前后兩側(cè)面設(shè)置固定支架，水槽上方設(shè)置噴淋裝置，噴淋裝置包括噴淋管、固定板，兩個噴淋管分別設(shè)置在水槽前后側(cè)壁上方，噴淋管兩端設(shè)置固定板，兩個固定板分別設(shè)置在水槽左右兩側(cè)面上，噴淋管開設(shè)多個噴淋孔；水槽左側(cè)面設(shè)置水阻箱，水阻箱內(nèi)設(shè)置水阻計；水槽內(nèi)設(shè)置過濾板并通過固定柱固定在水槽底面，水槽左側(cè)面下方前后兩端分別設(shè)置進水管，水槽底面設(shè)置兩個排水閥。本技術(shù)中，噴淋管能在較短的時間內(nèi)對晶圓表面進行清洗，也能夠確保噴撒的溶液均勻覆蓋整個晶圓表面，使得清洗更加徹底；均流板和均流孔使水能夠均勻的流入水槽內(nèi)，不會對晶圓直沖使晶圓發(fā)生碰撞。

技術(shù)研發(fā)人員：朱磊,王從好
受保護的技術(shù)使用者：昆山宜昊設(shè)備科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240505
技術(shù)公布日：2024/12/30