本技術(shù)涉及一種涂膠顯影機及其廢液排放裝置，屬于顯影機領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

1、涂膠顯影機的工作流程主要涉及涂膠、曝光、顯影等步驟，這些步驟在光刻工藝中至關(guān)重要；首先，在潔凈的晶圓表面均勻涂覆一層光刻膠，其次將晶圓放置在光刻機中，通過光源照射晶圓表面，形成所需的圖案；光刻膠在光照下發(fā)生化學反應，使得光刻膠在曝光區(qū)域發(fā)生溶解或固化。

2、其中，涂膠顯影機工作產(chǎn)生的廢液中含有化學物質(zhì)，直接排放對于生態(tài)環(huán)境造成污染，因此本實用新型提供一種帶有廢液處理功能的涂膠顯影機。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型提供了一種廢液排放裝置，包括外接端、廢液處理設備，所述外接端設于廢液處理設備頂部中間位置，并且外接端與廢液處理設備內(nèi)部結(jié)構(gòu)連接；

2、所述廢液處理設備呈圓臺狀設立。

3、進一步的，所述廢液處理設備包含物理處理倉、化學處理倉，所述物理處理倉、化學處理倉呈上下結(jié)構(gòu)位于設備內(nèi)腔，并且所述物理處理倉、化學處理倉二者之間可相通；

4、所述物理處理倉的內(nèi)壁上開設有廢液進管，并且該管道為單向流通管道。

5、進一步的，所述物理處理倉包含主軸管、濾網(wǎng)，主軸管位于倉腔中央位置，并且所述主軸管的頂端與外接端相連，所述主軸管的底部穿過濾網(wǎng)；

6、所述濾網(wǎng)呈半球狀設立，且所述濾網(wǎng)底部中間位置固定安裝有定位軸；

7、所述定位軸的直徑大于主軸管的直徑，二者之間可實現(xiàn)間隙配合，使得主軸管可實現(xiàn)旋轉(zhuǎn)的同時，并不會上下位移；

8、所述主軸管在穿過濾網(wǎng)的位置上設開有吸入端，可將濾網(wǎng)上的殘渣進行吸附，便于將其回收再處理。

9、進一步的，所述物理處理倉還包含實心軸桿，所述實心軸桿位于主軸管的底端位置。

10、進一步的，所述化學處理倉包含轉(zhuǎn)軸、攪拌板，所述攪拌板設有若干，并等距分布在轉(zhuǎn)軸側(cè)面；

11、所述轉(zhuǎn)軸的上下兩端分別與實心軸桿以及清掃端固定連接，且所述清掃端的作業(yè)點剛好位于倉腔的底面；

12、所述清掃端的外層邊緣位置上安裝有毛刷，掃刷更為全面；

13、所述攪拌板呈“8”字形設立，并且豎向固定在實心軸桿上。

14、進一步的，所述化學處理倉還包含液體輸出管道，液體輸出管道呈一定角度傾斜向下，便于將發(fā)液體引導輸出。

15、基于上述所述的廢液排放裝置的一種涂膠顯影機，包括上蓋、顯示屏、儲液罐、主體，所述上蓋位于主體頂部偏左一側(cè)，所述顯示屏安裝在主體的側(cè)面板上，且位于中間位置，所述主體的內(nèi)腔中安裝有儲液罐，上蓋下方的腔體為該設備的作業(yè)區(qū)，顯影機作業(yè)產(chǎn)生的廢液通過廢液進管進入到物理處理倉內(nèi)進行廢液處理。

16、有益效果

17、本實用新型通過濾網(wǎng)對廢液進行初步的過濾處理，殘渣滯留在濾網(wǎng)上，通過主軸管在穿過濾網(wǎng)的位置上的吸入端，可將濾網(wǎng)上的殘渣進行吸附，便于將其回收再處理；借助攪拌板將過濾后的廢液與石灰水混合，將其中的酸性物質(zhì)中和，從而有效降低廢液的腐蝕性。

技術(shù)特征：

1.一種廢液排放裝置，其特征在于：包括外接端（1）、廢液處理設備（2），所述外接端（1）設于廢液處理設備（2）頂部中間位置，并且外接端（1）與廢液處理設備（2）內(nèi)部結(jié)構(gòu)連接；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的廢液排放裝置，其特征在于：所述物理處理倉（21）包含主軸管（00）、濾網(wǎng)（03），主軸管（00）位于倉腔中央位置，并且所述主軸管（00）的頂端與外接端（1）相連，所述主軸管（00）的底部穿過濾網(wǎng)（03）；

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的廢液排放裝置，其特征在于：所述物理處理倉（21）還包含實心軸桿（02），所述實心軸桿（02）位于主軸管（00）的底端位置。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的廢液排放裝置，其特征在于：所述化學處理倉（23）包含轉(zhuǎn)軸（53）、攪拌板（54），所述攪拌板（54）設有若干，并等距分布在轉(zhuǎn)軸（53）側(cè)面；

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的廢液排放裝置，其特征在于：所述化學處理倉（23）還包含液體輸出管道（51），液體輸出管道（51）呈一定角度傾斜向下。

6.基于權(quán)利要求1-5任意一項所述的廢液排放裝置的涂膠顯影機，其特征在于：包括上蓋（31）、顯示屏（32）、儲液罐（33）、主體（34），所述上蓋（31）位于主體（34）頂部偏左一側(cè)，所述顯示屏（32）安裝在主體（34）的側(cè)面板上，且位于中間位置，所述主體（34）的內(nèi)腔中安裝有儲液罐（33），上蓋（31）下方的腔體為該設備的作業(yè)區(qū)，顯影機作業(yè)產(chǎn)生的廢液通過廢液進管（22）進入到物理處理倉（21）內(nèi)進行廢液處理。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)提供了一種涂膠顯影機及其廢液排放裝置，包括外接端、廢液處理設備，外接端設于廢液處理設備頂部中間位置，并且外接端與廢液處理設備內(nèi)部結(jié)構(gòu)連接，通過濾網(wǎng)對廢液進行初步的過濾處理，殘渣滯留在濾網(wǎng)上，通過主軸管在穿過濾網(wǎng)的位置上的吸入端，可將濾網(wǎng)上的殘渣進行吸附，便于將其回收再處理；借助攪拌板將過濾后的廢液與石灰水混合，將其中的酸性物質(zhì)中和，從而有效降低廢液的腐蝕性。

技術(shù)研發(fā)人員：張軍區(qū),葉挺
受保護的技術(shù)使用者：南方華創(chuàng)半導體（無錫）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240506
技術(shù)公布日：2025/1/6