本技術(shù)涉及半導(dǎo)體廢水回收，具體為一種半導(dǎo)體氨氮和有機(jī)廢水回用系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

1、隨著半導(dǎo)體行業(yè)的迅速發(fā)展，半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的大量廢水、廢物引起了社會(huì)和企業(yè)越來(lái)越多的關(guān)注，廢水主要來(lái)自生產(chǎn)過(guò)程中的清洗、光刻除膠、蝕刻、剝離等工序，產(chǎn)生的廢水種類多，且水量大，如酸堿、含砷、含氟、有機(jī)廢水等，目前已有對(duì)不同種類的廢水分類處理的廢水處理系統(tǒng)。

2、目前廢水處理系統(tǒng)能夠?qū)λ嵝詮U水、堿性廢水、含氟廢水、含砷廢水和有機(jī)廢水分別收集處理，但蝕刻和清洗過(guò)程中產(chǎn)生的氨氮廢水其中會(huì)混有h2o2，多數(shù)處理系統(tǒng)未考慮氨氮廢水中含有的h2o2，且未能細(xì)化處理氨氮廢水和有機(jī)廢水或未深度處理，將廢水資源回用，處理效果較差。

3、因此，需要一種半導(dǎo)體氨氮和有機(jī)廢水回用系統(tǒng)來(lái)解決上述背景技術(shù)中提出的問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的在于提供一種半導(dǎo)體氨氮和有機(jī)廢水回用系統(tǒng)，以解決上述背景技術(shù)中提出的問(wèn)題。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：

3、一種半導(dǎo)體氨氮和有機(jī)廢水回用系統(tǒng)，包括氨氮廢水調(diào)節(jié)池和有機(jī)廢水調(diào)節(jié)池，所述氨氮廢水調(diào)節(jié)池和有機(jī)廢水調(diào)節(jié)池的右側(cè)設(shè)置有回用機(jī)構(gòu)；

4、所述回用機(jī)構(gòu)包括固定連接在氨氮廢水調(diào)節(jié)池和有機(jī)廢水調(diào)節(jié)池內(nèi)壁右側(cè)的第一提升泵，所述第一提升泵的出水口處固定連接有第一提升管，所述氨氮廢水調(diào)節(jié)池的右側(cè)從左至右依次設(shè)置有氨氮廢水ph調(diào)節(jié)池、氨氮廢水反應(yīng)池以及氨氮廢水中間池，所述有機(jī)廢水調(diào)節(jié)池的右側(cè)從左至右依次設(shè)置有廢水ph調(diào)節(jié)總池、水解酸化池、缺氧好氧池以及mbr池，所述氨氮廢水中間池內(nèi)壁的正面安裝有第二提升泵，所述第二提升泵的出水口處固定連接有第二提升管，所述氨氮廢水ph調(diào)節(jié)池、氨氮廢水反應(yīng)池、氨氮廢水中間池以及廢水ph調(diào)節(jié)總池、水解酸化池、缺氧好氧池、mbr池之間均通過(guò)連通口相連接，所述mbr池的外設(shè)置有產(chǎn)水泵，所述產(chǎn)水泵的出水口處固定連接有產(chǎn)水管，所述產(chǎn)水管遠(yuǎn)離產(chǎn)水泵的一端設(shè)置有中間均衡池，所述中間均衡池的右側(cè)從左至右依次設(shè)置有第三提升泵、石英砂過(guò)濾器、活性炭過(guò)濾器以及保安過(guò)濾器，所述保安過(guò)濾器通過(guò)增壓泵與ro設(shè)備相連接，所述ro設(shè)備的右側(cè)設(shè)置有回水池，所述石英砂過(guò)濾器、活性炭過(guò)濾器、保安過(guò)濾器、ro設(shè)備以及回水池之間均通過(guò)輸送管相連接。

5、作為本實(shí)用新型優(yōu)選的方案，所述氨氮廢水調(diào)節(jié)池和有機(jī)廢水調(diào)節(jié)池中均設(shè)置有曝氣管道。

6、作為本實(shí)用新型優(yōu)選的方案，所述氨氮廢水ph調(diào)節(jié)池中設(shè)攪拌機(jī)、ph計(jì)以及加藥管，所述氨氮廢水反應(yīng)池中設(shè)置h2o2計(jì)、攪拌機(jī)及h2o2催化劑加藥管。

7、作為本實(shí)用新型優(yōu)選的方案，所述廢水ph調(diào)節(jié)總池中設(shè)置有攪拌機(jī)、ph計(jì)以及硫酸和氫氧化鈉加藥管，所述水解酸化池中安裝有潛水?dāng)嚢铏C(jī)和填料，所述第一提升管與氨氮廢水ph調(diào)節(jié)池、第一提升管與廢水ph調(diào)節(jié)總池以及第二提升管與廢水ph調(diào)節(jié)總池的連接方式均為固定連接。

8、作為本實(shí)用新型優(yōu)選的方案，所述缺氧好氧池分為好氧區(qū)域和缺氧區(qū)域，且兩個(gè)區(qū)域之間用隔板分開、用連通口聯(lián)通，所述缺氧好氧池的缺氧區(qū)域中設(shè)置有碳源和營(yíng)養(yǎng)鹽加藥管、懸掛填料，好氧區(qū)域中鋪設(shè)曝氣盤和組合填料，并設(shè)置硝化液回流泵。

9、作為本實(shí)用新型優(yōu)選的方案，所述石英砂過(guò)濾器前加入非氧化性殺菌劑，保安過(guò)濾器前加入阻垢劑，所述石英砂過(guò)濾器濾速為12m/h，活性炭過(guò)濾器的濾速為10m/h，保安過(guò)濾器的孔徑為1μm。

10、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：

11、1、本實(shí)用新型中，通過(guò)設(shè)計(jì)一種半導(dǎo)體氨氮和有機(jī)廢水回用系統(tǒng)，利用該裝置中的回用機(jī)構(gòu)來(lái)回收廢水，氨氮廢水進(jìn)入氨氮廢水調(diào)節(jié)池中進(jìn)行均衡水質(zhì)和水量，氨氮廢水調(diào)節(jié)池外壁的第一提升泵通過(guò)第一提升管將氨氮廢水提升到氨氮廢水ph調(diào)節(jié)池內(nèi)，向氨氮廢水ph調(diào)節(jié)池內(nèi)加入硫酸和氫氧化鈉，將氨氮廢水ph值調(diào)節(jié)至中性后，氨氮廢水通過(guò)連通口流入氨氮廢水反應(yīng)池，向氨氮廢水反應(yīng)池中加入h2o2催化劑，使氨氮廢水中的h2o2催化分解，反應(yīng)后的廢水通過(guò)流通口流入氨氮廢水中間池內(nèi)穩(wěn)定，有機(jī)廢水進(jìn)入有機(jī)廢水調(diào)節(jié)池中均衡水質(zhì)水量，有機(jī)廢水調(diào)節(jié)池外壁的第一提升泵通過(guò)第一提升管將有機(jī)廢水提升至廢水ph調(diào)節(jié)池，同時(shí)第二提升泵通過(guò)第二提升管將氨氮廢水中間池內(nèi)的氨氮廢水送入廢水ph調(diào)節(jié)總池內(nèi)，將廢水ph調(diào)節(jié)總池內(nèi)的廢水調(diào)節(jié)至中性，調(diào)節(jié)好的廢水自流進(jìn)入水解酸化池，利用水解菌、酸化菌使廢水中大分子有機(jī)物分解為小分子并去除水中部分的cod，反應(yīng)后的廢水再進(jìn)入缺氧好氧池中去除水中的有機(jī)物和氨氮，缺氧好氧池中的廢水處理后進(jìn)入mbr池，將泥水分離，產(chǎn)水泵將產(chǎn)水從mbr池中抽出，泵入中間池均衡水量水質(zhì)，平衡后的產(chǎn)水依次通過(guò)石英砂過(guò)濾器、活性炭過(guò)濾器以及保安過(guò)濾器過(guò)濾去除懸浮物和膠體后，經(jīng)增壓泵送入ro設(shè)備進(jìn)行分離凈化處理，ro設(shè)備凈化后的產(chǎn)水進(jìn)入回水池儲(chǔ)存起來(lái)，解決了目前廢水處理系統(tǒng)能夠?qū)λ嵝詮U水、堿性廢水、含氟廢水、含砷廢水和有機(jī)廢水分別收集處理，但蝕刻和清洗過(guò)程中產(chǎn)生的氨氮廢水其中會(huì)混有h2o2，多數(shù)處理系統(tǒng)未考慮氨氮廢水中含有的h2o2，且未能細(xì)化處理氨氮廢水和有機(jī)廢水或未深度處理，將廢水資源回用，處理效果較差的問(wèn)題。

技術(shù)特征：

1.一種半導(dǎo)體氨氮和有機(jī)廢水回用系統(tǒng)，包括氨氮廢水調(diào)節(jié)池（1）和有機(jī)廢水調(diào)節(jié)池（2），其特征在于：所述氨氮廢水調(diào)節(jié)池（1）和有機(jī)廢水調(diào)節(jié)池（2）的右側(cè)設(shè)置有回用機(jī)構(gòu)（3）；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體氨氮和有機(jī)廢水回用系統(tǒng)，其特征在于：所述氨氮廢水調(diào)節(jié)池（1）和有機(jī)廢水調(diào)節(jié)池（2）中均設(shè)置有曝氣管道。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體氨氮和有機(jī)廢水回用系統(tǒng)，其特征在于：所述氨氮廢水ph調(diào)節(jié)池（303）中設(shè)攪拌機(jī)、ph計(jì)以及加藥管，所述氨氮廢水反應(yīng)池（304）中設(shè)置h2o2計(jì)、攪拌機(jī)及h2o2催化劑加藥管。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體氨氮和有機(jī)廢水回用系統(tǒng)，其特征在于：所述廢水ph調(diào)節(jié)總池（306）中設(shè)置有攪拌機(jī)、ph計(jì)以及硫酸和氫氧化鈉加藥管，所述水解酸化池（307）中安裝有潛水?dāng)嚢铏C(jī)和填料，缺氧好氧池（308）的缺氧區(qū)安裝潛水?dāng)嚢铏C(jī)、好氧區(qū)設(shè)置曝氣裝置，所述第一提升管（302）與氨氮廢水ph調(diào)節(jié)池（303）、第一提升管（302）與廢水ph調(diào)節(jié)總池（306）以及第二提升管（311）與廢水ph調(diào)節(jié)總池（306）的連接方式均為固定連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體氨氮和有機(jī)廢水回用系統(tǒng)，其特征在于：所述缺氧好氧池（308）分為好氧區(qū)域和缺氧區(qū)域，且兩個(gè)區(qū)域之間用隔板和分開，用連通口相連，所述缺氧好氧池（308）的缺氧區(qū)域設(shè)置碳源和營(yíng)養(yǎng)鹽加藥管、懸掛填料，好氧區(qū)域中鋪設(shè)曝氣盤和組合填料，并設(shè)置硝化液回流泵。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體氨氮和有機(jī)廢水回用系統(tǒng)，其特征在于：所述石英砂過(guò)濾器（316）前加入非氧化性殺菌劑，保安過(guò)濾器（318）前加入阻垢劑，所述石英砂過(guò)濾器（316）濾速為12m/h，活性炭過(guò)濾器（317）的濾速為10m/h，保安過(guò)濾器（318）的孔徑為1μm。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及半導(dǎo)體廢水回收技術(shù)領(lǐng)域，尤其為一種半導(dǎo)體氨氮和有機(jī)廢水回用系統(tǒng)，包括氨氮廢水調(diào)節(jié)池和有機(jī)廢水調(diào)節(jié)池，所述氨氮廢水調(diào)節(jié)池和有機(jī)廢水調(diào)節(jié)池的右側(cè)設(shè)置有回用機(jī)構(gòu)；所述回用機(jī)構(gòu)包括固定連接在氨氮廢水調(diào)節(jié)池和有機(jī)廢水調(diào)節(jié)池內(nèi)壁右側(cè)的第一提升泵，通過(guò)設(shè)計(jì)一種半導(dǎo)體氨氮和有機(jī)廢水回用系統(tǒng)，利用該裝置中的回用機(jī)構(gòu)來(lái)回收廢水，解決了目前廢水處理系統(tǒng)能夠?qū)λ嵝詮U水、堿性廢水、含氟廢水、含砷廢水和有機(jī)廢水分別收集處理，但蝕刻和清洗過(guò)程中產(chǎn)生的氨氮廢水其中會(huì)混有H<subgt;2</subgt;O<subgt;2</subgt;，多數(shù)處理系統(tǒng)未考慮氨氮廢水中含有的H<subgt;2</subgt;O<subgt;2</subgt;，且未能細(xì)化處理氨氮廢水和有機(jī)廢水或未深度處理，將廢水資源回用，處理效果較差的問(wèn)題。

技術(shù)研發(fā)人員：張程貽
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海三邦水處理技術(shù)有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240509
技術(shù)公布日：2025/1/9