本技術(shù)屬于硅片清潔領(lǐng)域，特別涉及一種硅片用的清潔裝置。

背景技術(shù)：

1、半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中硅片須經(jīng)嚴(yán)格清洗。微量污染也會(huì)導(dǎo)致器件失效，清洗的目的在于清除表面污染雜質(zhì)，包括有機(jī)物和無(wú)機(jī)物。這些雜質(zhì)有的以原子狀態(tài)或離子狀態(tài)，有的以薄膜形式或顆粒形式存在于硅片表面，會(huì)導(dǎo)致各種缺陷，清除污染的方法有物理清洗和化學(xué)清洗兩種。

2、目前在太陽(yáng)能電池片的生產(chǎn)過(guò)程中，需要對(duì)其硅片表面進(jìn)行清潔去除硅片表面的雜質(zhì)。

3、但是現(xiàn)有現(xiàn)有的硅片清潔裝置，對(duì)硅片單面清潔，且在單面清潔完成后將硅片翻轉(zhuǎn)，再對(duì)另一面進(jìn)行清潔，清潔的效率低。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、鑒于上述現(xiàn)有的硅片用的清潔裝置，不便于對(duì)硅片進(jìn)行清潔，本實(shí)用新型的目的之一在于提供一種硅片用的清潔裝置，該硅片用的清潔裝置便于對(duì)硅片進(jìn)行清洗。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用下列技術(shù)方案：

3、一種硅片用的清潔裝置，包括：

4、清洗組件，所述清洗組件包括；

5、清洗箱，其外側(cè)設(shè)置有門體；

6、儲(chǔ)水箱，設(shè)置于所述清洗箱的頂部；

7、水泵，設(shè)置于所述儲(chǔ)水箱上；

8、輸水管，設(shè)置于所述水泵上；

9、電動(dòng)推桿，對(duì)稱設(shè)置于所述清洗箱的內(nèi)側(cè)；

10、箱體，設(shè)置于所述電動(dòng)推桿的底部；

11、噴頭，對(duì)稱設(shè)置于所述箱體的底部；

12、漏板，設(shè)置于所述清洗箱的內(nèi)側(cè)；

13、支撐架，設(shè)置于所述漏板的頂部；

14、硅片夾具，設(shè)置于所述支撐架的頂部；

15、所述箱體的底部設(shè)置有驅(qū)動(dòng)組件，所述驅(qū)動(dòng)組件包括；

16、框體，設(shè)置于所述箱體的底部；

17、電機(jī)，設(shè)置于所述框體上；

18、滾筒刷，轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置于所述框體的內(nèi)側(cè)；

19、傳動(dòng)輪，分別設(shè)置于所述滾筒刷的外側(cè)壁；

20、傳動(dòng)帶，分別與兩個(gè)所述傳動(dòng)輪傳動(dòng)連接。

21、在本實(shí)用新型公開(kāi)的其中一個(gè)技術(shù)方案中，所述框體的內(nèi)側(cè)設(shè)置有輔助組件，所述輔助組件包括；連接板，轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置于所述框體的內(nèi)側(cè)，并與所述滾筒刷螺栓連接。

22、在本實(shí)用新型公開(kāi)的其中一個(gè)技術(shù)方案中，所述漏板與所述支撐架通過(guò)螺栓連接。

23、在本實(shí)用新型公開(kāi)的其中一個(gè)技術(shù)方案中，所述漏板的頂部開(kāi)設(shè)有插槽。

24、在本實(shí)用新型公開(kāi)的其中一個(gè)技術(shù)方案中，所述門體上設(shè)置有觀察窗。

25、在本實(shí)用新型公開(kāi)的其中一個(gè)技術(shù)方案中，所述清洗箱的內(nèi)側(cè)對(duì)稱設(shè)置有擋塊，并與所述漏板螺栓連接。

26、在本實(shí)用新型公開(kāi)的其中一個(gè)技術(shù)方案中，所述框體的外側(cè)設(shè)置有防護(hù)殼。

27、在本實(shí)用新型公開(kāi)的其中一個(gè)技術(shù)方案中，所述清洗箱的內(nèi)側(cè)對(duì)稱設(shè)置有l(wèi)ed燈。

28、通過(guò)以上說(shuō)明可知，本實(shí)用新型的有益效果是：

29、將需要清洗的硅片放入硅片夾具的內(nèi)部，固定完成后通過(guò)外接電源啟動(dòng)電動(dòng)推桿使其下壓箱體，箱體帶動(dòng)框體下降，并將框體套在硅片夾具的外側(cè)，然后通過(guò)水泵將儲(chǔ)水箱內(nèi)部的水，通過(guò)輸水管輸送到箱體的內(nèi)部，然后通過(guò)噴頭噴灑到硅片夾具的表面，然后通過(guò)外接電源啟動(dòng)電機(jī)使其帶動(dòng)滾筒刷轉(zhuǎn)動(dòng)，由于兩個(gè)滾筒刷的一端外側(cè)壁均設(shè)置有傳動(dòng)輪，并且兩個(gè)傳動(dòng)輪通過(guò)傳動(dòng)帶傳動(dòng)連接，這樣可以帶動(dòng)兩組滾筒刷轉(zhuǎn)動(dòng)，對(duì)固定在硅片夾具內(nèi)側(cè)的硅片兩面進(jìn)行刷洗，該裝置可以同時(shí)對(duì)硅片的兩面進(jìn)行刷洗，增加了作業(yè)效率。

技術(shù)特征：

1.一種硅片用的清潔裝置，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片用的清潔裝置，其特征在于，所述框體的內(nèi)側(cè)設(shè)置有輔助組件，所述輔助組件包括；連接板，轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置于所述框體的內(nèi)側(cè)，并與所述滾筒刷螺栓連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅片用的清潔裝置，其特征在于，所述漏板與所述支撐架通過(guò)螺栓連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的硅片用的清潔裝置，其特征在于，所述漏板的頂部開(kāi)設(shè)有插槽。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的硅片用的清潔裝置，其特征在于，所述門體上設(shè)置有觀察窗。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的硅片用的清潔裝置，其特征在于，所述清洗箱的內(nèi)側(cè)對(duì)稱設(shè)置有擋塊，并與所述漏板螺栓連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的硅片用的清潔裝置，其特征在于，所述框體的外側(cè)設(shè)置有防護(hù)殼。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的硅片用的清潔裝置，其特征在于，所述清洗箱的內(nèi)側(cè)對(duì)稱設(shè)置有l(wèi)ed燈。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)屬于硅片清潔領(lǐng)域。鑒于現(xiàn)有的硅片用的清潔裝置清潔效率低，本技術(shù)公開(kāi)了一種硅片用的清潔裝置，包括：清洗組件所述清洗組件包括；清洗箱其外側(cè)設(shè)置有門體；儲(chǔ)水箱設(shè)置于所述清洗箱的頂部；將需要清洗的硅片放入硅片夾具的內(nèi)部，固定完成后通過(guò)外接電源啟動(dòng)電動(dòng)推桿使其下壓箱體，并將框體套在硅片夾具的外側(cè)，然后通過(guò)水泵將儲(chǔ)水箱內(nèi)部的水，通過(guò)輸水管輸送到箱體的內(nèi)部，通過(guò)噴頭噴灑到硅片夾具的表面，由于兩個(gè)滾筒刷的一端外側(cè)壁均設(shè)置有傳動(dòng)輪，并且兩個(gè)傳動(dòng)輪通過(guò)傳動(dòng)帶傳動(dòng)連接，這樣可以帶動(dòng)兩組滾筒刷轉(zhuǎn)動(dòng)，對(duì)固定在硅片夾具內(nèi)側(cè)的硅片兩面進(jìn)行刷洗，該裝置可以同時(shí)對(duì)硅片的兩面進(jìn)行刷洗，增加了作業(yè)效率。

技術(shù)研發(fā)人員：廖良,張華峰,廖家興,劉瀟
受保護(hù)的技術(shù)使用者：都江堰市天興硅業(yè)有限責(zé)任公司
技術(shù)研發(fā)日：20240516
技術(shù)公布日：2025/1/6