超聲波清洗裝置以及超聲波清洗方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及超聲波清洗裝置以及超聲波清洗方法。
【背景技術(shù)】
[0002]圖4是示意性示出以往的超聲波清洗裝置的剖視圖。
[0003]該超聲波清洗裝置具有儲液部112以及向該儲液部112內(nèi)的清洗液113振蕩超聲波振動(dòng)的超聲波振子111。超聲波振子111與清洗液113接觸的接觸面Illa朝向下方。換句話說，該接觸面Illa朝向重力所作用的方向(清洗液113下落的方向)。
[0004]另外，超聲波清洗裝置具有向儲液部112供給清洗液113的清洗液供給機(jī)構(gòu)116。清洗液供給機(jī)構(gòu)116具有供給管115、流量控制機(jī)構(gòu)114以及清洗液供給源(未圖示)。
[0005]接下來，對于利用上述超聲波清洗裝置來清洗基板等被清洗物的方法進(jìn)行說明。
[0006]首先，利用清洗液供給源將水、藥液等清洗液113向供給管115供給，將借助流量控制機(jī)構(gòu)114控制流量后的清洗液通過供給管115向儲液部112供給，暫時(shí)積存在儲液部112內(nèi)。通過超聲波振子111向積存在該儲液部112內(nèi)的清洗液113施加超聲波振動(dòng)，利用噴嘴121將被該施加超聲波振動(dòng)的清洗液113向儲液部112的外部放出。放出的該清洗液113保持被施加超聲波振動(dòng)的狀態(tài)向被清洗物(未圖示)供給，進(jìn)行超聲波清洗(例如參照專利文獻(xiàn)I)。
[0007]然而，存在想要減少在清洗被清洗物時(shí)使用的清洗液的量的要求。若能夠減少清洗液的量，則能夠降低清洗成本。另外，由于也存在利用非常昂貴的清洗液進(jìn)行清洗的情況，在使用這樣的清洗液的情況下，清洗成本降低的效果較大。
[0008]然而，在上述以往的超聲波清洗裝置中，減少清洗液的使用量存在極限，無法充分地減少清洗液的使用量。其理由如下所述。
[0009]在上述超聲波清洗裝置中，若過度減少利用清洗液供給機(jī)構(gòu)116向儲液部112供給的清洗液113的量，則形成清洗液113沒有充滿儲液部112的狀態(tài)，在超聲波振子111的接觸面Illa上產(chǎn)生未與清洗液113接觸的部分(空洞部分)，形成干燒狀態(tài)。若進(jìn)行這樣的干燒，則超聲波振子111的振幅變得過大，成為超聲波振子111發(fā)生故障的原因。因此，僅能夠?qū)⑶逑匆?13的使用量減少至不會(huì)形成干燒狀態(tài)的程度。
[0010]作為進(jìn)一步減少清洗液113的使用量的方法，考慮使噴嘴121的直徑變細(xì)而減少從噴嘴121放出的清洗液113的量。但是，若噴嘴121的直徑過細(xì)，在被施加超聲波振動(dòng)后的清洗液通過噴嘴121時(shí)，超聲波衰減，超聲波無法通過噴嘴121，清洗效果降低。因此，為了不使超聲波衰減，需要使噴嘴121的直徑大于超聲波的波長。
[0011]詳細(xì)來說，在將頻率為430kHz的超聲波振動(dòng)施加于清洗液113的情況下，超聲波的波長表示為音速/頻率=1500/430000，約為3.5mm。另外，在將頻率為950kHz的超聲波振動(dòng)施加于清洗液113的情況下，超聲波的波長表示為音速/頻率=1500/950000，約為1.6mmο因此，期望的是，在超聲波的頻率為430kHz的情況下，將噴嘴121的直徑設(shè)為3.5mm以上，在超聲波的頻率為950kHz的情況下，將噴嘴121的直徑設(shè)為1.6mm以上。如此，僅能夠使噴嘴121的直徑變細(xì)至不會(huì)導(dǎo)致超聲波衰減的程度，無法充分地減少清洗液的使用量。
[0012]在先技術(shù)文獻(xiàn)
[0013]專利文獻(xiàn)
[0014]專利文獻(xiàn)1:日本特開2007-289807號公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0015]本發(fā)明的一技術(shù)方案的課題在于，減少在清洗被清洗物時(shí)使用的清洗液的量。
[0016]用于解決課題的手段
[0017]以下，對本發(fā)明的各種技術(shù)方案進(jìn)行說明。
[0018][1] 一種超聲波清洗裝置，其特征在于，所述超聲波清洗裝置具備:超聲波振子；儲液部，其設(shè)為與所述超聲波振子接觸；流入口，其使清洗液向所述儲液部內(nèi)流入；以及流出口，其使所述清洗液向所述儲液部外流出，所述超聲波振子與所述清洗液接觸的接觸面配置為均低于所述流入口以及所述流出口。
[0019][2]在上述[1]的基礎(chǔ)上，超聲波清洗裝置的特征在于，具備:清洗液供給機(jī)構(gòu)，其通過所述流入口向所述儲液部供給所述清洗液；以及超聲波傳播管，在所述儲液部通過所述超聲波振子施加超聲波振動(dòng)后的所述清洗液通過所述流出口流向該超聲波傳播管，利用從所述超聲波傳播管放出的所述清洗液對被清洗物進(jìn)行清洗。
[0020][3]在上述[2]的基礎(chǔ)上，超聲波清洗裝置的特征在于，所述儲液部配置在所述接觸面上，所述超聲波傳播管具有向下方彎曲的形狀。
[0021][4]在上述[2]的基礎(chǔ)上，超聲波清洗裝置的特征在于，所述儲液部配置在所述接觸面下，所述儲液部包括所述超聲波傳播管的一部分，所述超聲波傳播管具有向下方彎曲的形狀。
[0022][5]在上述[2]至[4]中任一項(xiàng)的基礎(chǔ)上，超聲波清洗裝置的特征在于，所述清洗液供給機(jī)構(gòu)具有控制向所述儲液部供給的所述清洗液的流量的流量控制機(jī)構(gòu)。
[0023][6]在上述[5]的基礎(chǔ)上，超聲波清洗裝置的特征在于，所述超聲波振子具有如下功能:在所述流量控制機(jī)構(gòu)使清洗液從所述流入口向所述儲液部內(nèi)流入而形成所述接觸面被所述清洗液覆蓋的狀態(tài)，進(jìn)而停止來自所述流入口的所述清洗液的流入之后，在再次開始從所述流入口朝向所述儲液部內(nèi)流入清洗液的同時(shí)或者再次開始所述清洗液的流入之前，開始進(jìn)行超聲波振蕩。
[0024][7]在上述[6]的基礎(chǔ)上，超聲波清洗裝置的特征在于，所述超聲波振子具有如下功能:在所述流量控制機(jī)構(gòu)使因開始進(jìn)行基于該超聲波振子的超聲波振蕩而被施加超聲波振動(dòng)的所述儲液部內(nèi)的清洗液從所述流出口向所述儲液部外流出之后，在停止從所述流入口朝向所述儲液部內(nèi)流入清洗液的同時(shí)或者停止所述清洗液的流入之后，停止進(jìn)行超聲波振蕩。
[0025][8]在上述[1]至[7]中任一項(xiàng)的基礎(chǔ)上，超聲波清洗裝置的特征在于，所述儲液部具有如下功能:在通過使清洗液從所述流入口向所述儲液部內(nèi)流入而形成所述接觸面被所述清洗液覆蓋的狀態(tài)之后，即便停止來自所述流入口的所述清洗液的流入或者減少所述清洗液的流入量，也維持所述接觸面被所述清洗液覆蓋的狀態(tài)。
[0026][9] 一種超聲波清洗方法，其特征在于，準(zhǔn)備超聲波清洗裝置，該超聲波清洗裝置構(gòu)成為具有設(shè)為與超聲波振子接觸的儲液部，所述超聲波振子與所述儲液部內(nèi)的清洗液接觸的接觸面配置為均低于所述儲液部的流入口以及流出口，在通過使清洗液從所述流入口向所述儲液部內(nèi)流入而形成所述接觸面被所述清洗液覆蓋的狀態(tài)之后，即便停止來自所述流入口的所述清洗液的流入或者減少所述清洗液的流入量，也維持所述接觸面被所述清洗液覆蓋的狀態(tài)。
[0027][10] 一種超聲波清洗方法，其特征在于，準(zhǔn)備超聲波清洗裝置，該超聲波清洗裝置構(gòu)成為具有設(shè)為與超聲波振子接觸的儲液部，所述超聲波振子與所述儲液部內(nèi)的清洗液接觸的接觸面配置為均低于所述儲液部的流入口以及流出口，在通過使清洗液從所述流入口向所述儲液部內(nèi)流入而形成所述接觸面被所述清洗液覆蓋的狀態(tài)之后，停止來自所述流入口的所述清洗液的流入，在再次開始從所述流入口朝向所述儲液部內(nèi)流入清洗液的同時(shí)或者再次開始所述清洗液的流入之前，通過開始進(jìn)行基于所述超聲波振子的超聲波振蕩而向所述儲液部內(nèi)的所述清洗液施加超聲波振動(dòng)。
[0028][11]在上述[10]的基礎(chǔ)上，超聲波清洗方法的特征在于，在開始進(jìn)行基于所述超聲波振子的超聲波振蕩之后，使被施加所述超聲波振動(dòng)后的所述清洗液從所述流出口向所述儲液部外流出，在停止從所述流入口朝向所述儲液部內(nèi)流入清洗液的同時(shí)或者停止所述清洗液的流入之后，停止進(jìn)行基于所述超聲波振子的超聲波振蕩。
[0029]發(fā)明效果
[0030]根據(jù)本發(fā)明的一技術(shù)方案，能夠減少在清洗被清洗物時(shí)使用的清洗液的量。
【附圖說明】
[0031]圖1是示意性示出本發(fā)明的一技術(shù)方案的超聲波清洗裝置的剖視圖。
[0032]圖2是示出在以一張為單位對作為被清洗物的基板進(jìn)行超聲波清洗時(shí)，對圖4所示的超聲波清洗裝置與圖1所示的超聲波清洗裝置進(jìn)行比較的程序的圖。
[0033]圖3是示意性示出本發(fā)明的一技術(shù)方案的超聲波清洗裝置的剖視圖。
[0034]圖4是示意性示出以往的超聲波清洗裝置的剖視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0035]以下，使用附圖對本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說明。但是，本領(lǐng)域技術(shù)人員可容易地理解，本發(fā)明并不限于以下的說明，在不脫離本發(fā)明的主旨