一種超聲波清洗石墨舟及工藝卡點的方法
【技術領域】
[0001] 本發(fā)明設及晶娃太陽能電池生產(chǎn)工藝相關技術領域，尤其是指一種超聲波清洗石 墨舟及工藝卡點的方法。
【背景技術】
[0002] 晶娃太陽能電池片生產(chǎn)工藝流程依次為：化拋制絨、擴散制結、刻蝕、陽CVD、絲網(wǎng) 印刷、測試包裝。PECVD借助微波或射頻等手段使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形 成等離子體，而等離子體化學活性很強，很容易發(fā)生反應，從而在基片上沉積出所期望的薄 膜。
[0003] 具體在晶娃太陽能電池片制備過程中，由于其工藝參數(shù)的要求，要在晶娃電池片 表面通過陽CVD工藝鍛上一層藍色的氮化娃膜，一則增加其抗氧化性和提高電性能，二則 降低電池片的內(nèi)部損耗。在鍛膜過程中，通過在密閉的條件下，通過高能量的射頻電源激發(fā) 硅烷和氨氣在娃片表面沉積出氮化娃膜，利用石墨舟的導電性能優(yōu)良的特性，給電池片鍛 膜。
[0004] 作為石墨舟上面與娃片直接接觸的工藝卡點，其直接影響鍛膜的性能，因此石墨 舟的清潔性直接影響晶娃電池片的電性能。 陽〇化]石墨舟各個部分零件的清潔一直是令人頭痛的技術難題，由于運些部分結構比較 細小，其表面上的氮娃化合物雜物很難去除，雖然用氨氣酸可W除去一部分氮娃化合物，但 隨著氨氣酸的使用次數(shù)加大，石墨舟工藝卡點的會吸附大量的氨氣酸。
[0006] 在石墨舟的清洗方面，雖然進行了技術攻關，采取了很多措施，如加強酸的濃度； 改進現(xiàn)有清洗設備能力；增加純水的更換周期；增加人工清理等，仍然沒有達到理想的效 果，最后還得靠傳統(tǒng)的浸泡工藝來完成。浸泡對于使用循環(huán)次數(shù)少的石墨舟還可W，但對于 大批量生產(chǎn)來說，由于清洗時間長，清洗不徹底，故而成本會隨之增加。傳統(tǒng)石墨工藝卡點 清洗一次后無法達到新工藝點的出片效果，要徹底解決清潔度問題，必須采用新技術新設 備。
[0007] 傳統(tǒng)的清洗工藝將石墨舟舟片放入濃10% -20%的氨氣酸溶液，在密封條件下鼓 泡換水清洗。但此類傳統(tǒng)清洗工藝處理的石墨舟工藝卡點上面吸附了很多的HF。故而現(xiàn)有 的太陽能石墨舟清洗工藝，其氨氣酸用量高，對環(huán)境影響大，而且成本高。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008] 本發(fā)明是為了克服現(xiàn)有技術中存在上述的不足，提供了一種高效率、低成本且環(huán) 保的超聲波清洗石墨舟及工藝卡點的方法。
[0009] 為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用W下技術方案：
[0010] 一種超聲波清洗石墨舟及工藝卡點的方法，具體操作步驟如下：
[0011] (1)配置一定濃度的氨氣酸溶液，將換下的工藝卡點在密封條件下鼓泡清洗；
[0012] (2)將在氨氣酸溶液中浸泡的工藝卡點用純水將其洗涂，然后在超聲波反應器中 超聲清洗，每隔一段時間換水一次；
[0013] (3)將石墨舟及舟頭部分分別用氨氣酸溶液浸泡，然后用純水鼓泡清洗，每隔一段 時間換水一次；
[0014] (4)將工藝卡點和石墨舟W及舟頭部分置于真空干燥箱中烘干；
[0015] (5)將烘干的石墨舟及其工藝卡點再放入純水中洗涂，然后置于真空干燥箱中烘 干；
[0016] (6)將石墨舟各個部分組裝在一起。
[0017] 本發(fā)明優(yōu)化解決了鍛膜車間的色差返工問題，創(chuàng)造性的將超聲波清洗和普通清洗 結合起來，優(yōu)化普通清洗，通過采用超聲波W及烘箱結合的新型清洗方式，超聲波清洗設備 是利用超聲波在液體中的空化作用、加速度作用及直進流作用對液體和難溶解物，使污物 層被分散、乳化、剝離而達到清洗目的，使石墨舟片在使用多次后還能保證其導電性能的穩(wěn) 定，大大降低了鍛膜車間的色差問題，克服了現(xiàn)有太陽能石墨舟清洗工藝的不足，氨氣酸用 量高，對環(huán)境影響大和成本高的問題，提高了石墨舟及工藝卡點的清洗效率，降低成本且環(huán) 保，同時其工藝簡單，適于大規(guī)模生產(chǎn)。
[0018] 作為優(yōu)選，在步驟（1)中，配置濃度12% -30%的氨氣酸溶液，將換下的工藝卡點 在密封條件下鼓泡清洗8小時。
[0019] 作為優(yōu)選，在步驟（2)中，超聲波的頻率為3. 5~4KHZ，且每隔1-1.化換水一次。 能夠及時除去清洗水溶液中的氮娃化合物W及石墨雜質(zhì)。
[0020] 作為優(yōu)選，在步驟（3)中，采用9% -30%的氨氣酸溶液浸泡6-化，用純水鼓泡清洗 4小時，每20-30分鐘換水一次。
[0021] 作為優(yōu)選，在步驟（4)中，將工藝卡點和石墨舟W及舟頭部分置于150°C的真空干 燥箱中烘2-3h。
[0022] 作為優(yōu)選，在步驟巧）中，將烘干的石墨舟及其工藝卡點再放入純水中洗涂2-化， 然后用150°C的真空干燥箱中烘2-化。
[0023] 本發(fā)明的有益效果是：提高了石墨舟及工藝卡點的清洗效率，降低石墨舟及工藝 卡點的清洗成本，大大降低了鍛膜車間的色差問題，環(huán)保，同時其工藝簡單，適于大規(guī)模生 產(chǎn)。
【具體實施方式】
[0024] 下面結合【具體實施方式】對本發(fā)明做進一步的描述。
[00巧]對于石墨舟W及工藝卡點的清潔問題，在生產(chǎn)中唯一的衡量標準是返工片的數(shù) 量，在其他因素不變的情況下，返工片數(shù)量高，意味著石墨舟的清潔出了問題。表1是通過 同管同機臺對電池片進行鍛膜試驗后得到的返工片數(shù)量，不同的是石墨舟的清洗方式不 同。 陽026] 實施例1 :
[0027] (1)配置濃度9%的氨氣酸溶液，將換下的工藝卡點在密封條件下鼓泡清洗8小 時；
[0028] (2)將在氨氣酸溶液中浸泡的工藝卡點用純水將其洗涂，然后在超聲波反應器中 超聲清洗，超聲波頻率為3. 5~4KHZ，隔1-1.化換水一次，及時除去清洗水溶液中的氮娃化 合物W及石墨雜質(zhì)；
[0029] (3)將石墨舟及舟頭部分分別用9%的氨氣酸溶液浸泡6-化，直至表面清洗干凈， 然后用純水鼓泡清洗4小時，其中每20分鐘換水一次；
[0030] (4)將工藝卡點和石墨舟W及舟頭部分置于150°C的真空干燥箱中烘化；
[0031] (5)將烘干的石墨舟及其工藝卡點再放入純水中洗涂化，然后用150°C的真空干 燥箱中烘化；
[0032] (6)將石墨舟各個部分組裝在一起。 陽〇3引 實施例2 :
[0034] (1)配置濃度15%的氨氣酸溶液，將換下的工藝卡點在密封條件下鼓泡清洗8小 時；
[0035] (2)將在氨氣酸溶液中浸泡的工藝卡點用純水將其洗涂，然后在超聲波反應器中 超聲清洗，超聲波頻率為3. 5~4KHZ，每隔1-1.化換水一次，及時除去清洗水溶液中的氮娃 化合物W及石墨雜質(zhì)；
[0036] (3)將石墨舟及其工藝卡點再放入純水中洗涂化，然后用150°C的真空干燥箱中 烘2-化。
[0037] 4)將石墨舟各個部分組裝在一起。 陽03引實施例3 :
[0039] (1)配置濃度17%的氨氣酸溶液，將換下的工藝卡點在密封條件下鼓泡清洗8小 時；
[0040] (2)將在氨氣酸溶液中浸泡的工藝卡點用純水將其洗涂，然后在超聲波反應器中 超聲清洗，超聲波頻率為3. 5~4KHZ，每隔1-1.化換水一次，及時除去清洗水溶液中的氮娃 化合物W及石墨雜質(zhì)；
[0041] (3)將石墨舟及舟頭部分分別用17%的氨氣酸溶液浸泡6-化，直至表面清洗干 凈，然后用純水鼓泡清洗4小時，其中每25分鐘換水一次；
[0042] (4)將工藝卡點和石墨舟W及舟頭部分置于150°C的真空干燥箱中烘化；
[0043] (5)將烘干的石墨舟及其工藝卡點再放入純水中洗涂化，然后用150°C的真空干 燥箱中烘化； W44] (6)將石墨舟各個部分組裝在一起。 W45] 實施例4 :
[0046] (1)配置濃度30%的氨氣酸溶液，將換下的工藝卡點在密封條件下鼓泡清洗8小 時；
[0047] (2)將在氨氣酸溶液中浸泡的工藝卡點用純水將其洗涂，然后在超聲波反應器中 超聲清洗，超聲波頻率為3. 5~4KHZ，每隔1-1.化換水一次，及時除去清洗水溶液中的氮娃 化合物W及石墨雜質(zhì)；
[0048] (3)將石墨舟及舟頭部分分別用30%的氨氣酸溶液浸泡6-化，直至表面清洗干 凈，然后用純水鼓泡清洗4小時，其中每20分鐘換水一次；
[0049] (4)將工藝卡點和石墨舟W及舟頭部分置于150°C的真空干燥箱中烘化；
[0050] (5)將烘干的石墨舟及其工藝卡點再放入純水中洗涂化，然后用150°C的真空干 燥箱中烘化；
[0051] (6)將石墨舟各個部分組裝在一起。 陽0巧對比例1 :
[0053] (1)配置濃度17%的氨氣酸溶液，將石墨舟整舟放在氨氣酸清洗槽中，鼓泡清洗 她；
[0054] 似將酸洗好的石墨舟放置在純水中，通過鼓泡清洗6h，其中每比換水一次； 陽化日](3)將水洗好的石墨舟放置在150°的真空烘箱中烘干2-化。
[0056] 表1各實施例W及對比例的返工片數(shù)量
【主權項】
1. 一種超聲波清洗石墨舟及工藝卡點的方法，其特征是，具體操作步驟如下： (1) 配置一定濃度的氫氟酸溶液，將換下的工藝卡點在密封條件下鼓泡清洗； (2) 將在氫氟酸溶液中浸泡的工藝卡點用純水將其洗滌，然后在超聲波反應器中超聲 清洗，每隔一段時間換水一次； (3) 將石墨舟及舟頭部分分別用氫氟酸溶液浸泡，然后用純水鼓泡清洗，每隔一段時間 換水一次； (4) 將工藝卡點和石墨舟以及舟頭部分置于真空干燥箱中烘干； (5) 將烘干的石墨舟及其工藝卡點再放入純水中洗滌，然后置于真空干燥箱中烘干； (6) 將石墨舟各個部分組裝在一起。2. 根據(jù)權利要求1所述的一種超聲波清洗石墨舟及工藝卡點的方法，其特征是，在步 驟（1)中，配置濃度12% -30%的氫氟酸溶液，將換下的工藝卡點在密封條件下鼓泡清洗8 小時。3. 根據(jù)權利要求1所述的一種超聲波清洗石墨舟及工藝卡點的方法，其特征是，在步 驟（2)中，超聲波的頻率為3. 5~4KHz，且每隔1-1. 5h換水一次。4. 根據(jù)權利要求1所述的一種超聲波清洗石墨舟及工藝卡點的方法，其特征是，在步 驟（3)中，采用9% -30 %的氫氟酸溶液浸泡6-8h，用純水鼓泡清洗4小時，每20-30分鐘換 水一次。5. 根據(jù)權利要求1或2所述的一種超聲波清洗石墨舟及工藝卡點的方法，其特征是，在 步驟（4)中，將工藝卡點和石墨舟以及舟頭部分置于150°C的真空干燥箱中烘2-3h。6. 根據(jù)權利要求1或2所述的一種超聲波清洗石墨舟及工藝卡點的方法，其特征是，在 步驟（5)中，將烘干的石墨舟及其工藝卡點再放入純水中洗滌2-3h，然后用150°C的真空干 燥箱中烘2-3h。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種超聲波清洗石墨舟及工藝卡點的方法。它具體操作步驟如下：配置一定濃度的氫氟酸溶液，將換下的工藝卡點在密封條件下鼓泡清洗；將在氫氟酸溶液中浸泡的工藝卡點用純水將其洗滌，然后在超聲波反應器中超聲清洗，每隔一段時間換水一次；將石墨舟及舟頭部分分別用氫氟酸溶液浸泡，然后用純水鼓泡清洗，每隔一段時間換水一次；將工藝卡點和石墨舟以及舟頭部分置于真空干燥箱中烘干；將烘干的石墨舟及其工藝卡點再放入純水中洗滌，然后置于真空干燥箱中烘干；將石墨舟各個部分組裝在一起。本發(fā)明的有益效果是：提高了石墨舟及工藝卡點的清洗效率，降低成本，大大降低了鍍膜車間的色差問題，環(huán)保，同時其工藝簡單，適于大規(guī)模生產(chǎn)。
【IPC分類】B08B3/12, B08B7/04, F26B5/04
【公開號】CN105195469
【申請?zhí)枴緾N201510466672
【發(fā)明人】楊文哲, 董方, 鄭正明, 唐福云
【申請人】橫店集團東磁股份有限公司
【公開日】2015年12月30日
【申請日】2015年7月31日