用于硅片清洗機的上料裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種硅片清洗機，特別涉及一種用于硅片清洗機的上料裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]半導體器件生產(chǎn)中硅片須經(jīng)嚴格清洗，微量污染也會導致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染雜質(zhì)，包括有機物和無機物。這些雜質(zhì)有的以原子狀態(tài)或離子狀態(tài)，有的以薄膜形式或顆粒形式存在于硅片表面，目前的清洗機自動化程度不高，需要人工放置片籃，費工費時，亟待提高硅片插片清洗過程中的自動化水平，達到節(jié)省人力、提高效率的目的。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]鑒于現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，本發(fā)明提供一種用于硅片清洗機的上料裝置，通過插片、上料、清洗技術(shù)進行改進，以提高硅片插片清洗過程中的自動化水平，達到節(jié)省人力、提高效率的目的，具體技術(shù)方案是，一種用于硅片清洗機的上料裝置，包含機架、三級回流線、取料機構(gòu)、移轉(zhuǎn)機構(gòu)、出料機構(gòu)、觸摸屏、電控系統(tǒng)，其特征在于:三級回流線、取料機構(gòu)取水平分別固定在機架下方，移轉(zhuǎn)機構(gòu)固定在機架中部且在取料機構(gòu)上方，出料機構(gòu)在移轉(zhuǎn)機構(gòu)后方且固定在后面機架上，觸摸屏固定在機架外側(cè)面，電控系統(tǒng)安裝在機架內(nèi)上方，所述的取料機構(gòu)包括提升氣缸、擺桿、翻轉(zhuǎn)籃橫板、提升氣缸連接塊、翻轉(zhuǎn)氣缸、寬型氣爪、單軸機器人、無桿氣缸、導軌，提升氣缸、擺桿、翻轉(zhuǎn)籃橫板、提升氣缸連接塊、翻轉(zhuǎn)氣缸構(gòu)成取料翻轉(zhuǎn)部分固定于機架底部，寬型氣爪、單軸機器人、無桿氣缸、導軌構(gòu)成取料運送部分固定于取料翻轉(zhuǎn)部分上方，提升氣缸固定在提升氣缸連接塊上，翻轉(zhuǎn)氣缸一端連接在擺桿上，擺桿另一端連接在翻轉(zhuǎn)籃橫板上，導軌固定在機架上，無桿氣缸固定在導軌上方，單軸機器人固定在無桿氣缸上，寬型氣爪固定在單軸機器人下方；所述的移轉(zhuǎn)機構(gòu)包括旋轉(zhuǎn)臺、耳環(huán)座墊塊、A拉桿氣缸、A擺桿、轉(zhuǎn)移籃、旋轉(zhuǎn)臺基板、固定軸、B拉桿氣缸、B擺桿，旋轉(zhuǎn)臺固定在固定軸上，旋轉(zhuǎn)臺的軸插于旋轉(zhuǎn)臺基板通孔內(nèi)可轉(zhuǎn)動，耳環(huán)座墊塊固定在旋轉(zhuǎn)臺上，A拉桿氣缸一端與耳環(huán)座墊塊固定、另一端與A擺桿固定，A擺桿與轉(zhuǎn)移籃固定，轉(zhuǎn)移籃支撐在旋轉(zhuǎn)臺基板上表面，旋轉(zhuǎn)臺基板下表面固定B拉桿氣缸，B拉桿氣缸與B擺桿一端連接，B擺桿另一端與旋轉(zhuǎn)臺的軸外表面固定；所述的出料機構(gòu)包括、出料寬型氣爪、出料導軌、出料平移電缸、出料A單軸機器人、步進馬達單軸機器人、出料B單軸機器人，出料寬型氣爪固定于步進馬達單軸機器人上，步進馬達單軸機器人固定于出料平移電缸上，出料平移電缸可在出料導軌上平移，出料A單軸機器人、出料B單軸機器人平行固定在機架內(nèi)后面，出料導軌置于料A單軸機器人、出料B單軸機器人上，可自由前后移動；所述的電控系統(tǒng)連接為觸摸屏與可編程控制器雙向連接，啟動/停止/復位開關(guān)、傳感器與可編程控制器單向連接，可編程控制器與傳送帶電機、電磁閥、三色報警燈單向連接，電磁閥與氣缸單向連接，五個驅(qū)動器輸出端并接后與可編程控制器單向連接，可編程控制器與輸出端并接后連接，每個驅(qū)動器與一個電機相連，觸摸屏與驅(qū)動器輸出端雙向連接。
[0004]本發(fā)明有益效果是，提高上料速度，增加產(chǎn)能，降低了破片率，降低了污染，避免了人為添加的新污染。
【附圖說明】
[0005]圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)主視圖。
[0006]圖2是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)側(cè)視圖。
[0007]圖3是本發(fā)明的取料機構(gòu)結(jié)構(gòu)取料翻轉(zhuǎn)部分主視圖。
[0008]圖4是本發(fā)明的取料機構(gòu)結(jié)構(gòu)取料運送部分主視圖。
[0009]圖5是本發(fā)明的取料機構(gòu)結(jié)構(gòu)取料翻轉(zhuǎn)部分A-A視圖。
[0010]圖6是本發(fā)明的取料機構(gòu)取料翻轉(zhuǎn)部分B-B結(jié)構(gòu)俯視圖。
[0011]圖7是本發(fā)明的移轉(zhuǎn)機構(gòu)結(jié)構(gòu)主視圖。
[0012]圖8是本發(fā)明的移轉(zhuǎn)機構(gòu)結(jié)構(gòu)側(cè)視圖。
[0013]圖9是本發(fā)明的移轉(zhuǎn)機構(gòu)結(jié)構(gòu)俯視圖。
[0014]圖10是本發(fā)明的出料機構(gòu)結(jié)構(gòu)主視圖。
[0015]圖11是本發(fā)明的出料機構(gòu)結(jié)構(gòu)側(cè)視圖。
[0016]圖12是本發(fā)明的出料機構(gòu)結(jié)構(gòu)俯視圖。
[0017]圖13是本發(fā)明的電路連接框圖。
【具體實施方式】
[0018]如圖1、2所示，一種用于硅片清洗機的上料裝置，包含機架1、三級回流線2、取料機構(gòu)3、移轉(zhuǎn)機構(gòu)4、出料機構(gòu)5、觸摸屏6、電控系統(tǒng)7，其特征在于:三級回流線2、取料機構(gòu)3取水平分別固定在機架1下方，移轉(zhuǎn)機構(gòu)4固定在機架1中部且在取料機構(gòu)3上方，出料機構(gòu)5在移轉(zhuǎn)機構(gòu)4后方且固定在后面機架1上，觸摸屏6固定在機架1外側(cè)面，電控系統(tǒng)7安裝在機架1內(nèi)上方。其動作步驟為:a.翻轉(zhuǎn)氣缸運動帶動翻轉(zhuǎn)籃基板翻轉(zhuǎn)90度，b.提升氣缸向上運動將翻轉(zhuǎn)籃基板提高，c.單軸機器人向下運動到指定位置，d.寬型氣爪抓取片籃，e.單軸機器人向上運動，f.無桿氣缸將片籃移動到指定位置，g.松開寬型氣爪將片籃放置在待料位。
[0019]如圖3、4、5、6所示，所述的取料機構(gòu)3包括提升氣缸3_1、擺桿3_2、翻轉(zhuǎn)籃橫板3-3、提升氣缸連接塊3-4、翻轉(zhuǎn)氣缸3-5、寬型氣爪3-6、單軸機器人3_7、無桿氣缸3_8、導軌3-9，提升氣缸3-1、擺桿3-2、翻轉(zhuǎn)籃橫板3-3、提升氣缸連接塊3_4、翻轉(zhuǎn)氣缸3_5構(gòu)成取料翻轉(zhuǎn)部分固定于機架1底部，寬型氣爪3-6、單軸機器人3-7、無桿氣缸3-8、導軌3-9構(gòu)成取料運送部分固定于取料翻轉(zhuǎn)部分上方，提升氣缸3-1固定在提升氣缸連接塊3-4上，翻轉(zhuǎn)氣缸3-5 —端連接在擺桿3-2上，擺桿3-2另一端連接在翻轉(zhuǎn)籃橫板3-3上，導軌3_9固定在機架1上，無桿氣缸3-8固定在導軌3-9上方，單軸機器人3-9固定在無桿氣缸3-8上，寬型氣爪3-6固定在單軸機器人3-7下方；其動作步驟為:a.翻轉(zhuǎn)氣缸3-5運動帶動翻轉(zhuǎn)籃橫板3-3翻轉(zhuǎn)90度，b.提升氣缸3-1向上運動將翻轉(zhuǎn)籃橫板3-3提高，c.單軸機器人
3-7向下運動到指定位置，d.寬型氣爪3-6抓取片籃，e.單軸機器人3-7向上運動，f.無桿氣缸3-8將片籃移動到指定位置，g.松開寬型氣爪3-6將片籃放置在待料位(即平移機構(gòu)初始位置)，當空片籃在待料位上時，插片機向空片籃中放置硅片。當達到片藍最大可容納數(shù)量時，插片機停止工作，移轉(zhuǎn)機構(gòu)開始工作。
[0020]如圖7、8、9所示，所述的移轉(zhuǎn)機構(gòu)4包括旋轉(zhuǎn)臺4-1、耳環(huán)座墊塊4_2、A拉桿氣缸4-3、A擺桿4-4、轉(zhuǎn)移籃4-5、旋轉(zhuǎn)臺基板4_6、、固定軸4_7、B拉桿氣缸4_8、B擺桿4_9，旋轉(zhuǎn)臺4-1固定在固定軸4-7