一種延長pecvd爐用石墨舟使用壽命的方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及光伏領(lǐng)域，具體涉及一種延長PECVD爐用石墨舟使用壽命的方法。
【背景技術(shù)】
[0002]在太陽能電池制備過程中，需要采用管式PECVD鍍減反射膜。減反射膜的成分為氮化硅。由于石墨的空隙結(jié)構(gòu)，對氮化硅氣體有一定的吸附性，在PECVD鍍減反射膜通氣體的過程中，造成硅片表面膜厚不均勻。目前大多數(shù)企業(yè)采取了石墨舟清洗和飽和工藝。即:石墨舟每使用約100次后(約0.5-1個月)，對其進行清洗；然后飽和處理，飽和處理即在PECVD爐內(nèi)，對加載或不加載硅片或假片的石墨舟進行鍍氮化硅膜，純鍍膜時間長達2-3小時，才能對抗鍍膜時石墨舟對硅片膜厚的影響。而實際的太陽能電池片制備過程中的鍍膜工藝，氣相沉積鍍膜的有效時間僅僅5-10min，膜厚為80nm。因此飽和工藝雖然能夠改善硅片表面膜層質(zhì)量，但是氣體的浪費非常嚴重。不僅如此，每使用100次就要進行酸洗，嚴重影響石墨舟的使用壽命，0.5-1.5年就要更換一次，而且石墨舟的價值較高，進一步增加了成本。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的在于提供一種延長PECVD爐用石墨舟使用壽命的方法，以解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述問題。
[0004]本發(fā)明提供的技術(shù)方案如下:
[0005]—種延長PECVD爐用石墨舟使用壽命的方法，包括如下步驟:
[0006]1)上舟:將石墨舟上的螺母全部松開，然后將石墨舟置于酸槽中；
[0007]鼓泡酸洗:采用濃硝酸，30-50 °C ;石墨舟一共浸泡2_3h，每lh設(shè)定鼓泡20_30min ；
[0008]鼓泡水洗:2_3h，每h換水一次，清洗時鼓泡不斷；
[0009]抽風烘干:溫度130-150°C，抽風，烘干時間8-20h ；
[0010]2)烘干后的石墨舟浸于真空狀態(tài)下的硅熔液中，緩慢提升石墨舟離開液面，至石墨舟表面冷卻到1300攝氏度，時間為30min-180min ；
[0011]3)石墨舟在惰性氣體保護下冷卻至室溫。
[0012]在本發(fā)明中，步驟1)的石墨舟為新出廠。
[0013]在本發(fā)明中，步驟1)烘干時間為10_14h。
[0014]本發(fā)明的硅熔液，硅的純度為5N以上。
[0015]由上述描述可知，本發(fā)明的主要原理為在石墨舟表面得到一層4-20微米厚的均勻硅涂層，每次使用時，不必再做飽和處理，按照常規(guī)生產(chǎn)工藝每鍍膜100次左右后，對表面因長久使用形成的氮化硅做酸清洗即可，且不會再傷害石墨舟的表面，延長了石墨舟的使用壽命。但由于石墨表面光滑不利于硅的結(jié)合，本發(fā)明步驟1)的綜合處理使得石墨舟表面產(chǎn)生均勻的粗糙面，使之能夠讓硅結(jié)晶涂層牢固結(jié)合在石墨舟表面上。
【具體實施方式】
[0016]實施例1
[0017]新出廠的石墨舟
[0018]1)配液:在酸槽中倒入濃硝酸；
[0019]2)上舟:將石墨舟上的螺母全部松開，使石墨舟清洗更徹底。然后將石墨舟置于酸槽中。
[0020]3)石墨舟一共浸泡3h，溫度30-50°C ;每lh設(shè)定鼓泡20min ；
[0021 ] 4)鼓泡水洗2h，每小時換水一次，清洗時鼓泡不斷；
[0022]5)溫度140攝氏度，抽風，烘干時間12h
[0023]6)烘干后的石墨舟浸于真空狀態(tài)下的硅熔液中(溫度1450攝氏度)，再緩慢提升，時間為120min,至石墨舟表面冷卻至1300攝氏度，娃晶體凝固在石墨表面4_20微米厚;
[0024]7)取出石墨舟，惰性氣體保護下冷卻至室溫。
[0025]使用時，按照常規(guī)100次左右，對表面因長久使用形成的氮化硅做酸清洗即可，不必再做飽和處理。
[0026]實施例2。
[0027]新出廠的石墨舟
[0028]1)配液:在酸槽中倒入濃硝酸；
[0029]2)上舟:將石墨舟上的螺母全部松開，使石墨舟清洗更徹底。然后將石墨舟置于酸槽中。
[0030]3)石墨舟一共浸泡3h，溫度30-50°C ;每lh設(shè)定鼓泡20min ；
[0031 ] 4)鼓泡水洗2h，每小時換水一次，清洗時鼓泡不斷；
[0032]5)溫度140攝氏度，抽風，烘干時間12h
[0033]6)烘干后的石墨舟浸于真空狀態(tài)下的硅熔液中(溫度1425攝氏度)，再緩慢提升，時間為180min,至石墨舟表面冷卻至1300攝氏度，娃晶體凝固在石墨表面4_20微米厚;
[0034]7)取出石墨舟，惰性氣體保護下冷卻至室溫。
[0035]使用時，按照常規(guī)100次左右，對表面因長久使用形成的氮化硅做酸清洗即可，不必再做飽和處理。
[0036]上述僅為本發(fā)明的一個具體實施例，但本發(fā)明的設(shè)計構(gòu)思并不局限于此，凡利用此構(gòu)思對本發(fā)明進行非實質(zhì)性的改動，均應(yīng)屬于侵犯本發(fā)明保護范圍的行為。
【主權(quán)項】
1.一種延長PECVD爐用石墨舟使用壽命的方法，包括如下步驟: 1)上舟:將石墨舟上的螺母全部松開，然后將石墨舟置于酸槽中； 鼓泡酸洗:采用濃硝酸，30-50°C ;石墨舟一共浸泡2-3h，每lh設(shè)定鼓泡20-30min ; 鼓泡水洗:2-3h，每h換水一次，清洗時鼓泡不斷； 抽風烘干:溫度130-150°C，抽風，烘干時間8-20h ; 2)烘干后的石墨舟浸于真空狀態(tài)下的硅熔液中，緩慢提升石墨舟離開液面，至石墨舟表面冷卻到1300攝氏度，時間為30min-180min ； 3)石墨舟在惰性氣體保護下冷卻至室溫。2.如權(quán)利要求1所述的一種延長PECVD爐用石墨舟使用壽命的方法，其特征在于:步驟1)的石墨舟為新出廠。3.如權(quán)利要求1所述的一種延長PECVD爐用石墨舟使用壽命的方法，其特征在于:步驟1)烘干時間為10-14ho4.如權(quán)利要求1所述的一種延長PECVD爐用石墨舟使用壽命的方法，其特征在于:步驟2)所述的硅溶液純度在5N以上。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種延長PECVD爐用石墨舟使用壽命的方法，包括如下步驟：上舟：將石墨舟上的螺母全部松開，然后將石墨舟置于酸槽中；鼓泡酸洗：采用濃硝酸，30-50℃；石墨舟一共浸泡2-3h，每1h設(shè)定鼓泡20-30min；鼓泡水洗：2-3h，每h換水一次，清洗時鼓泡不斷；抽風烘干：溫度130-150℃，抽風，烘干時間8-20h；2)烘干后的石墨舟浸于真空狀態(tài)下的硅熔液中，緩慢提升石墨舟離開液面，至石墨舟表面冷卻到1300攝氏度，時間為30min-180min；3)石墨舟在惰性氣體保護下冷卻至室溫，取出。本發(fā)明延長了石墨舟的使用壽命。
【IPC分類】B08B3/08, B08B3/10
【公開號】CN105457942
【申請?zhí)枴緾N201510627202
【發(fā)明人】許新湖, 柯雨馨, 戴亮亮
【申請人】陽光大地（福建）新能源有限公司
【公開日】2016年4月6日
【申請日】2015年9月28日