回流降溫酸槽處理系統(tǒng)及酸液回收處理方法
【專利摘要】一種回流降溫酸槽處理系統(tǒng)，包括一盛裝有制程酸液的制程槽及一盛裝有緩沖酸液的調(diào)和槽，其改良在于，調(diào)和槽經(jīng)由一循環(huán)回流管線與制程槽相連通，調(diào)和槽并經(jīng)由一排放管與一廠務(wù)端相連通，循環(huán)回流管線用以將調(diào)和槽中的一部分的緩沖酸液導(dǎo)入制程槽中與制程酸液均勻混合而降溫，然后透過(guò)排放管將降溫后的混合酸液排放至廠務(wù)端。藉此，可以節(jié)省一半以上的冷卻時(shí)間。
【專利說(shuō)明】
回流降溫酸槽處理系統(tǒng)及酸液回收處理方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及廢酸液的回收處理技術(shù)，特別是指一種不需要使自然降溫的方式而能迅速、有效地使廢酸液的溫度降低的回流降溫酸槽處理系統(tǒng)，以及酸液回收處理方法。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著電子工業(yè)的進(jìn)步，不同功能的電氣或電子裝置已被大量制造、販?zhǔn)鄄V泛使用，比如一般消費(fèi)性家電及3C產(chǎn)品。而在制造這類電氣或電子裝置的相關(guān)電鍍產(chǎn)業(yè)或電路制造產(chǎn)業(yè)中，常常會(huì)產(chǎn)生大量具污染性的廢液，尤其是廢酸液。
[0003]廢酸液一般包含具有可回收利用價(jià)值的磷酸、醋酸、硝酸或硫酸，甚至是有用的金屬，比如銅或鎳。因此，在現(xiàn)有技術(shù)中，常利用各種回收處理方式以回收其中的酸液及金屬。例如，使用電鍍方式還原其中的金屬成分成為金屬態(tài)，但是在還原處理中會(huì)因廢液中金屬含量的降低而影響回收效率及回收金屬的品質(zhì)，因此需要定時(shí)檢測(cè)金屬含量，并補(bǔ)充廢液，造成實(shí)際操作時(shí)需要大量的人力。此外，廢酸液中酸液的回收一般是利用加熱蒸餾方式以回收沸點(diǎn)較低溫的酸液，比如沸點(diǎn)低于硫酸的硝酸，但是沸點(diǎn)高的硫酸則需要額外的回收設(shè)備處理。尤其是，金屬的回收及酸液的回收是由不同的獨(dú)立回收系統(tǒng)進(jìn)行，更造成制程的復(fù)雜性，及回收成本增加。
[0004]因此，需要一種廢酸回收系統(tǒng)，提供高度整合性的酸液及金屬回收處理，可簡(jiǎn)化回收制程的復(fù)雜性并降低成本，進(jìn)而解決上述現(xiàn)有技術(shù)的問(wèn)題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明從縮短冷卻時(shí)間的角度出發(fā)，主要目的在于提供一種能持續(xù)將待排放的冷酸循環(huán)地導(dǎo)入于高溫槽，以加速高溫槽的降溫的回流降溫酸槽處理系統(tǒng)及酸液回收處理方法。
[0006]為實(shí)現(xiàn)上述目的及功效，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案:一種回流降溫酸槽處理系統(tǒng)，包括:一制程槽，用以盛裝一制程酸液，所述制程酸液具有第一溫度；以及，一調(diào)和槽，用以盛裝一緩沖酸液，所述緩沖酸液具有低于所述第一溫度的第二溫度，所述調(diào)和槽經(jīng)由一循環(huán)回流管線與所述制程槽相連通；其中，所述循環(huán)回流管線用以將所述調(diào)和槽內(nèi)的一部分的所述緩沖酸液導(dǎo)入所述制程槽內(nèi)與所述制程酸液均勻混合，以形成一溫度介于所述第一溫度與所述第二溫度之間的一調(diào)和酸液，并且將一部分的所述調(diào)和酸液導(dǎo)回所述調(diào)和槽中與另一部分的所述緩沖酸液均勻混合，以形成另一溫度介于所述調(diào)和酸液的溫度與所述第二溫度之間的緩沖酸液。
[0007]本發(fā)明進(jìn)一步采用以下技術(shù)方案:一種酸液回收處理方法，包括:首先執(zhí)行準(zhǔn)備步驟:提供一制程槽及一調(diào)和槽，所述制程槽與所述調(diào)和槽相連通，并且所述制程槽中盛裝有一具第一溫度的制程酸液，所述調(diào)和槽中盛裝有一具低于所述第一溫度的第二溫度的緩沖酸液；接著執(zhí)行第一階段混合降溫步驟:將所述調(diào)和槽內(nèi)的一部分的所述緩沖酸液導(dǎo)入所述制程槽內(nèi)與所述制程酸液均勻混合，以形成一溫度介于所述第一溫度與所述第二溫度之間的調(diào)和酸液；接著執(zhí)行第二階段混合降溫步驟:將所述制程槽內(nèi)的一部分的所述調(diào)和酸液導(dǎo)回所述調(diào)和槽內(nèi)與另一部分的所述緩沖酸液均勻混合，以形成另一溫度介于所述調(diào)和酸液的溫度與所述第二溫度之間的緩沖酸液；然后反復(fù)執(zhí)行所述第一階段混合降溫步驟與所述第二階段混合降溫步驟數(shù)次，直到所述制程槽內(nèi)的調(diào)和酸液的溫度至少低于一特定溫度為止，然后全部導(dǎo)回所述調(diào)和槽內(nèi)；最后執(zhí)行排放步驟:將所述調(diào)和槽內(nèi)的緩沖酸液冷卻到至少低于另一特定溫度為止，然后排放一部分至一廠務(wù)端。
[0008]本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有明顯的優(yōu)點(diǎn)與有益效果如下:本發(fā)明的回流降溫酸槽處理系統(tǒng)利用循環(huán)回流管線將制程槽與調(diào)和槽予以循環(huán)連接，如此，較低溫的緩沖酸液可被導(dǎo)入制程槽與較高溫的制程酸液進(jìn)行混合降溫，并且此調(diào)和酸液可進(jìn)一步透過(guò)循環(huán)回流管線而在制程槽與調(diào)和槽之間進(jìn)行數(shù)次循環(huán)返流，其中每經(jīng)過(guò)一次循環(huán)酸液的溫度都會(huì)降低幾十度。藉此，可以達(dá)到快速降溫的目的，并至少可以節(jié)省一半的冷卻時(shí)間。
[0009]本發(fā)明的其他目的和優(yōu)點(diǎn)可以從本發(fā)明所揭露的技術(shù)特征得到進(jìn)一步的了解。為了讓本發(fā)明的上述和其他目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉實(shí)施例并配合所附圖式作詳細(xì)說(shuō)明如下。
【附圖說(shuō)明】
[0010]圖1為本發(fā)明第一實(shí)施例的回流降溫酸槽處理系統(tǒng)的示意圖。
[0011]圖2為本發(fā)明第二實(shí)施例的回流降溫酸槽處理系統(tǒng)的示意圖。
[0012]圖3為本發(fā)明第三實(shí)施例的回流降溫酸槽處理系統(tǒng)的示意圖。
[0013]圖4為本發(fā)明的酸液回收處理方法的流程示意圖。
[0014]其中，附圖標(biāo)記說(shuō)明如下:
[0015]S1、S2、S3回流降溫酸槽處理系統(tǒng)
[0016]I制程槽
[0017]10加熱單元
[0018]11溫度檢測(cè)單元
[0019]12液位檢測(cè)單元
[0020]13制程槽輸入端
[0021]14制程槽排放端
[0022]2調(diào)和槽
[0023]20冷卻單元
[0024]21溫度檢測(cè)單元
[0025]22液位檢測(cè)單元
[0026]23調(diào)和槽輸入端
[0027]24調(diào)和槽排放端
[0028]3循環(huán)回流管線
[0029]31第一方向引酸管
[0030]32第二方向引酸管
[0031]33第一方向引酸管線
[0032]331第一方向主輸送管
[0033]332第一方向支線輸送管
[0034]333第一方向調(diào)和槽分流管
[0035]334第一方向制程槽分流管
[0036]34第二方向引酸管線
[0037]341第二方向主輸送管
[0038]342第二方向支線輸送管
[0039]343第二方向調(diào)和槽分流管
[0040]344第二方向制程槽分流管
[0041]B分歧點(diǎn)
[0042]V1、V2 閥件
[0043]P1、P2 栗
[0044]4排放管線
[0045]41排放管
[0046]5廠務(wù)端
【具體實(shí)施方式】
[0047]本發(fā)明所揭露的內(nèi)容主要是關(guān)于“應(yīng)用于高溫槽，可不用自然降溫的方式就使高溫槽內(nèi)的廢酸液快速冷卻到管線所能耐受的溫度”的技術(shù)手段，而透過(guò)此技術(shù)手段的具體實(shí)現(xiàn)，可在不傷害槽體本身的情況下大幅縮短酸液冷卻時(shí)間，使產(chǎn)能得到顯著的提升。
[0048]下文中特舉出數(shù)個(gè)較佳的實(shí)施例，并配合附圖詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的主要?jiǎng)?chuàng)新部分和優(yōu)點(diǎn)。
[0049]第一實(shí)施例
[0050]圖1是本發(fā)明第一實(shí)施例的回流降溫酸槽處理系統(tǒng)的示意圖。請(qǐng)參閱圖1，回流降溫酸槽處理系統(tǒng)SI主要包括一個(gè)制程槽I及一個(gè)調(diào)和槽2。制程槽I接收并儲(chǔ)存一適于處理晶片的制程酸液，舉例來(lái)說(shuō)，制程酸液可包含磷酸、醋酸、硝酸、硫酸或其混合酸與金屬(如銅)。在本實(shí)施例中，制程槽I的主體呈立方矩狀，并且可利用耐腐蝕材料(如不銹鋼、鋁或石英等)制成，但不限于此。
[0051]制程槽I內(nèi)可設(shè)有一加熱單元10，用于加熱所盛裝的制程酸液，使其溫度上升至一特定的反應(yīng)溫度(又稱第一溫度)，最好是控制在大約250°C左右或以上，而較佳的設(shè)計(jì)是，第一溫度為200°C。制程槽I內(nèi)并可設(shè)有一溫度檢測(cè)單元11及一液位檢測(cè)單元12，其中，溫度檢測(cè)單元11被配置用于檢測(cè)制程酸液的溫度，而加熱單元10可在檢測(cè)到溫度變化時(shí)對(duì)酸液的溫度進(jìn)行調(diào)控以維持所需的反應(yīng)溫度；液位檢測(cè)單元12被配置用于檢測(cè)不同的液位，例如，液位檢測(cè)單元12可以是多段水面液位檢測(cè)器，并且配置于制程槽I內(nèi)的一適當(dāng)位置。
[0052]調(diào)和槽2接收并儲(chǔ)存一緩沖酸液，而在本實(shí)施例中，緩沖酸液可以是經(jīng)冷卻后的酸液，換句話說(shuō)，緩沖酸液的溫度(又稱第二溫度)會(huì)遠(yuǎn)低于所述第一溫度，最好是控制在大約20°C左右或以下。同樣地，調(diào)和槽2的主體可呈立方矩狀，并且可利用耐腐蝕材料(如不銹鋼、鋁或石英等)制成，但不限于此。
[0053]調(diào)和槽2內(nèi)可設(shè)有一冷卻單元20，用于將緩沖酸液冷卻到適當(dāng)?shù)臏囟?，以滿足制程槽I內(nèi)的制程酸液的冷卻需求，或者是將待排放的酸液冷卻到適當(dāng)?shù)臏囟龋苊馄錅囟瘸鲚斔凸芫€和接設(shè)于管線上的元件(如栗)所能耐受的范圍，造成輸送管線損傷。調(diào)和槽2內(nèi)并可設(shè)有一溫度檢測(cè)單元21及一液位檢測(cè)單元22，其中，溫度檢測(cè)單元21被配置用于檢測(cè)緩沖酸液和待排放的酸液的溫度，而冷卻單元20可在檢測(cè)到溫度變化時(shí)對(duì)酸液的溫度進(jìn)行調(diào)控以滿足需求；液位檢測(cè)單元22被配置用于檢測(cè)不同的液位，例如，液位檢測(cè)單元22可以是多段水面液位檢測(cè)器，并且配置于調(diào)和槽2內(nèi)的一適當(dāng)位置。
[0054]調(diào)和槽2還經(jīng)由一循環(huán)回流管線3與制程槽I相連通，而通過(guò)循環(huán)回流管線3的配置，可以在制程槽I與調(diào)和槽2之間循環(huán)輸送酸液。借此，較低溫的緩沖酸液可被導(dǎo)入制程槽I與較高溫的制程酸液進(jìn)行混合降溫，形成一溫度介于第一溫度與第二溫度之間的調(diào)和酸液，并且此調(diào)和酸液可通過(guò)循環(huán)回流管線3而在制程槽I與調(diào)和槽2之間進(jìn)行數(shù)次循環(huán)返流，以達(dá)到制程酸液快速降溫的目的。調(diào)和槽2并經(jīng)由一排放管線4與廠務(wù)端5相連通，用以將待排放的酸液排放至廠務(wù)端5進(jìn)行后續(xù)的各種處理。
[0055]值得說(shuō)明的是，本實(shí)施例的回流降溫酸槽處理系統(tǒng)SI于每次排放廢酸液時(shí)，調(diào)和槽2內(nèi)所盛裝的酸液均不排空，而是預(yù)留一部分較低溫的酸液作調(diào)節(jié)溫度用。因此，在調(diào)和槽2的設(shè)計(jì)上，其體積須大于制程槽I的體積，舉例來(lái)說(shuō)，調(diào)和槽2的容積可以是40公升，而制程槽I的容積可以是20公升，但不為此限。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)理解，調(diào)和槽2的容積可隨著制程槽I的容積增加而依特定的比例關(guān)系增加。
[0056]進(jìn)一步說(shuō)明制程槽1、調(diào)和槽2與廠務(wù)端5之間的連結(jié)關(guān)系，循環(huán)回流管線3包含至少一對(duì)第一方向引酸管31與第二方向引酸管32，其中第一方向引酸管接設(shè)于制程槽輸入端13與調(diào)和槽排出端24之間，提供緩沖酸液和循環(huán)返流的調(diào)和酸液從調(diào)和槽2導(dǎo)入制程槽1，第二方向引酸管32接設(shè)于制程槽排出端14與調(diào)和槽輸入端23之間，提供不同階段的混合降溫后的調(diào)和酸液從制程槽I導(dǎo)入調(diào)和槽2。另外，第二方向引酸管上并設(shè)有一分歧點(diǎn)B，而排放管線4包含至少一條排放管41，并且排放管41連接于分歧點(diǎn)B與廠務(wù)端5之間。
[0057]為具體實(shí)現(xiàn)酸液的循環(huán)輸送與排放，于第一方向引酸管31上接設(shè)一栗Pl及一閥件Vl，所述栗Pl例如是高壓栗，且位于分歧點(diǎn)B與調(diào)和槽排出端24之間，所述閥件Vl例如是藥液閥(chemical valve)，且位于分歧點(diǎn)B與制程槽輸入端13之間。并于第二方向引酸管32上接設(shè)一栗P2，所述栗P2例如是高壓栗。值得一提的是，可通過(guò)一控制單元(圖中未繪示)對(duì)閥件V1、V2及栗P1、P2分別加以控制，借以調(diào)節(jié)酸液的流量與控制酸液的方向，進(jìn)而達(dá)到酸液快速降溫暨排放的自動(dòng)化控制的目的。
[0058]舉例來(lái)說(shuō)，控制單元可以根據(jù)溫度檢測(cè)單元12及液位檢測(cè)單元22所發(fā)出的檢測(cè)信號(hào)，令栗P2啟動(dòng)或停止，可控制混合降溫后的調(diào)和酸液的供給與否；當(dāng)栗Pl啟動(dòng)時(shí)，令閥件Vl的開啟或關(guān)閉，可控制緩沖酸液/循環(huán)返流的調(diào)和酸液的供給與否；以及，令閥件V2的開啟或關(guān)閉，可控制待排放的酸液的排放與否。
[0059]第二實(shí)施例
[0060]圖2是本發(fā)明第二實(shí)施例的回流降溫酸槽處理系統(tǒng)的示意圖。請(qǐng)參閱圖2，在生產(chǎn)上為因應(yīng)更復(fù)雜的工藝及產(chǎn)能要求，回流降溫酸槽處理系統(tǒng)S2可包括數(shù)個(gè)制程槽I及一個(gè)調(diào)和槽2。制程槽1、調(diào)和槽2的結(jié)構(gòu)和功能特征可參考第一實(shí)施例的內(nèi)容，故在此不多加贅述。
[0061]值得一提的是，在圖2所示的回流降溫酸槽處理系統(tǒng)S2中，制程槽I的數(shù)量有三個(gè)，但是對(duì)于本實(shí)施例的其他實(shí)施方式，回流降溫酸槽處理系統(tǒng)S2所包括的制程槽I的數(shù)量可以是二個(gè)或三個(gè)以上。所以，圖2所示的制程槽I的數(shù)量?jī)H供舉例說(shuō)明，并不限定本發(fā)明。
[0062]進(jìn)一步說(shuō)明數(shù)個(gè)制程槽1、一個(gè)調(diào)和槽2與廠務(wù)端5之間的連結(jié)關(guān)系，大體上而言，一個(gè)調(diào)和槽2與數(shù)個(gè)制程槽I之間可經(jīng)由循環(huán)回流管線3予以循環(huán)連接，而循環(huán)回流管線3主要由第一方向引酸管線33與第二方向引酸管線34組成。在本實(shí)施例中，第一方向引酸管線33包含至少一條第一方向主輸送管331及數(shù)條沿著第一方向主輸送管331的中段處(即中段區(qū)域)至末端排列、并朝同一方向延伸的第一方向支線輸送管332，其中第一方向支線輸送管332的數(shù)量須與制程槽I的數(shù)量相同。第一方向主輸送管331可通過(guò)其頭端與調(diào)和槽排出端24連接，并經(jīng)由該些第一方向支線輸送管332而分別與該些制程槽I的制程槽輸入端13相通，使緩沖酸液和循環(huán)返流的調(diào)和酸液可自單一調(diào)和槽2導(dǎo)入至數(shù)個(gè)制程槽
1
[0063]第二方向引酸管線34包含至少一條第二方向主輸送管341及數(shù)條沿著第二方向主輸送管341的中段處(即中段區(qū)域)至末端排列、并朝同一方向延伸的第二方向支線輸送管342，其中第二方向支線輸送管342的數(shù)量須與制程槽I的數(shù)量相同。第二方向主輸送管341可通過(guò)其頭端與調(diào)和槽輸入端23連接，并經(jīng)由該些第二方向支線輸送管342而分別與該些制程槽I的制程槽排出端14相通，使不同階段的混合降溫后的調(diào)和酸液可分別自數(shù)個(gè)制程槽I導(dǎo)入同一個(gè)調(diào)和槽2。另外，第二方向主輸送管341上并設(shè)有一分歧點(diǎn)B，而排放管41連接于分歧點(diǎn)B與廠務(wù)端5之間。
[0064]為達(dá)到酸液快速降溫暨排放的自動(dòng)化控制的目的，首先，第一方向主輸送管331上接設(shè)有一栗Pl，所述栗Pl例如是高壓栗，且位于分歧點(diǎn)B與調(diào)和槽排出端24之間；其次，每一條第一和第二方向支線輸送管341、342上均接設(shè)有一閥件Vl，所述閥件Vl例如是藥液閥；再者，第二方向主輸送管341上同樣接設(shè)有一栗P2，所述栗P2例如是高壓栗。并且可通過(guò)一控制單元(圖中未繪示)對(duì)閥件V1、V2及栗P1、P2分別加以控制，借以調(diào)節(jié)酸液的流量與控制酸液的方向。
[0065]第三實(shí)施例
[0066]圖3是本發(fā)明第二實(shí)施例的回流降溫酸槽處理系統(tǒng)的示意圖。請(qǐng)參閱圖3，在生產(chǎn)上為因應(yīng)更復(fù)雜的工藝及產(chǎn)能要求，回流降溫酸槽處理系統(tǒng)S3可包括數(shù)個(gè)制程槽I及數(shù)個(gè)調(diào)和槽2。制程槽1、調(diào)和槽2的結(jié)構(gòu)和功能特征可參考第一實(shí)施例的內(nèi)容，故在此不多加贅述。
[0067]值得一提的是，在圖3所示的回流降溫酸槽處理系統(tǒng)S3中，制程槽I的數(shù)量有三個(gè)，而調(diào)和槽2的數(shù)量有二個(gè)，但是對(duì)于本實(shí)施例的其他實(shí)施態(tài)樣，回流降溫酸槽處理系統(tǒng)S3所包括的制程槽I的數(shù)量可以是三個(gè)以上，調(diào)和槽2的數(shù)量可以是二個(gè)以上，并且調(diào)和槽2的數(shù)量要少于制程槽I的數(shù)量。所以，圖3所示的制程槽1、調(diào)和槽2的數(shù)量?jī)H供舉例說(shuō)明，并不限定本發(fā)明。
[0068]進(jìn)一步說(shuō)明數(shù)個(gè)制程槽1、數(shù)個(gè)調(diào)和槽2與廠務(wù)端5之間的連結(jié)關(guān)系，大體上而言，數(shù)個(gè)調(diào)和槽2與數(shù)個(gè)制程槽I之間可經(jīng)由循環(huán)回流管線3予以循環(huán)連接，而循環(huán)回流管線3主要由第一方向引酸管線33與第二方向引酸管線34組成。本實(shí)施例的循環(huán)回流管線3與前一實(shí)施例不同的地方是，第一方向引酸管線33包含至少一條第一方向主輸送管331、數(shù)條第一方向調(diào)和槽分流管333、及數(shù)條第一方向制程槽分流管334，其中第一方向調(diào)和槽分流管333的數(shù)量須與調(diào)和槽2的數(shù)量相同，且第一方向制程槽分流管334的數(shù)量須與制程槽I的數(shù)量相同。
[0069]更詳細(xì)地說(shuō)，該些第一方向調(diào)和槽分流管333是分別自第一方向主輸送管331的頭端和鄰近頭端處、并由遠(yuǎn)離調(diào)和槽2朝鄰近調(diào)和槽2的方向延伸設(shè)置，進(jìn)而分別與該些調(diào)和槽2的調(diào)和槽排出端24相接。該些第一方向制程槽分流管334是分別自第一方向主輸送管331的末端和鄰近末端處、并由遠(yuǎn)離制程槽I朝鄰近制程槽I的方向延伸設(shè)置，進(jìn)而分別與該些制程槽I的制程槽輸入端13相接。
[0070]另，第二方向引酸管線34包含至少一條第二方向主輸送管341、數(shù)條第二方向調(diào)和槽分流管343、及數(shù)條第二方向制程槽分流管344，其中第二方向調(diào)和槽分流管343的數(shù)量須與調(diào)和槽2的數(shù)量相同，且第二方向制程槽分流管344的數(shù)量須與制程槽I的數(shù)量相同。
[0071]更詳細(xì)地說(shuō)，該些第二方向調(diào)和槽分流管343是分別自第二方向主輸送管341的頭端和鄰近頭端處、并由遠(yuǎn)離調(diào)和槽2朝鄰近調(diào)和槽2的方向延伸設(shè)置，進(jìn)而分別與該些調(diào)和槽2的調(diào)和槽輸入端23相接。該些第二方向制程槽分流管344是分別自第二方向主輸送管341的末端和鄰近末端處、并由遠(yuǎn)離制程槽I朝鄰近制程槽I的方向延伸設(shè)置，進(jìn)而分別與該些制程槽I的制程槽排出端14相接。
[0072]通過(guò)第一方向引酸管線33的配置，讓緩沖酸液和循環(huán)返流的調(diào)和酸液可以從任一個(gè)調(diào)和槽2導(dǎo)入至數(shù)個(gè)制程槽1，并且在此調(diào)和槽2處于忙碌或停機(jī)的過(guò)渡狀態(tài)時(shí)，可以由另一個(gè)調(diào)和槽提供緩沖酸液和循環(huán)返流的調(diào)和酸液至數(shù)個(gè)制程槽I。而通過(guò)第二方向引酸管線34的配置，讓不同階段的混合降溫后的調(diào)和酸液可分別自數(shù)個(gè)制程槽I導(dǎo)入任一個(gè)調(diào)和槽2，并且在此調(diào)和槽2處于忙碌或停機(jī)的過(guò)渡狀態(tài)時(shí)，可導(dǎo)入另一個(gè)調(diào)和槽2。借此，可防止回流降溫酸槽處理系統(tǒng)SI發(fā)生閑置逾時(shí)，進(jìn)而可避免晶片處理時(shí)程的延宕。
[0073]為達(dá)到酸液快速降溫暨排放的自動(dòng)化控制的目的，首先，第一方向主輸送管331上接設(shè)有一栗P1，所述栗Pl例如是高壓栗，且位于分歧點(diǎn)B與調(diào)和槽排出端24之間；其次，每一條第一和第二方向調(diào)和槽分流管333、343與每一條第一和第二方向制程槽分流管334、344上均接設(shè)有一閥件VI，所述閥件Vl例如是藥液閥；再者，第二方向主輸送管341上同樣接設(shè)有一栗P2，所述栗P2例如是高壓栗。并且可藉由一控制單元(圖中未繪示)對(duì)閥件V1、V2及栗P1、P2分別加以控制，藉以調(diào)節(jié)酸液的流量與控制酸液的方向。
[0074]請(qǐng)一并參考圖1及圖4，本發(fā)明回流降溫酸槽處理系統(tǒng)的特征、優(yōu)點(diǎn)及所能達(dá)成的功效已具體說(shuō)明如上，接下來(lái)將進(jìn)一步介紹其應(yīng)用。如圖4所示，本發(fā)明的較佳實(shí)施例提供一種應(yīng)用所述回流降溫酸槽處理系統(tǒng)的回收處理方法，包括如下步驟:
[0075]首先執(zhí)行步驟S100，即準(zhǔn)備步驟，提供相連接的一制程槽I及一調(diào)和槽2，并且制程槽I內(nèi)盛裝有一具第一溫度的制程酸液，調(diào)和槽2內(nèi)盛裝有一具低于第一溫度的第二溫度的緩沖酸液(又稱第一次緩沖酸液)。于本發(fā)明實(shí)施例中第一溫度為約200左右或以上，第二溫度為約20°C，但不為此限。另外，制程槽I與調(diào)和槽2的連接方式可以是如前面所述，利用一循環(huán)回流管線3將制程槽I及調(diào)和槽2予以循環(huán)連接(如圖1至圖3所示)。
[0076]接著執(zhí)行步驟S102，即第一階段混合降溫步驟，將調(diào)和槽2內(nèi)的一部分的緩沖酸液(即第一次緩沖酸液)導(dǎo)入制程槽I內(nèi)與制程酸液均勻混合，以形成溫度介于第一溫度與第二溫度之間的調(diào)和酸液(又稱第一次調(diào)和酸液)。于本發(fā)明實(shí)施例中在制程槽I內(nèi)制程酸液所占的體積可以是大約15公升，而緩沖酸液所占的體積可以是大約4公升，但不為此限。另外，對(duì)于本實(shí)施例的其他實(shí)施方式，于混合降溫的同時(shí)可以配合導(dǎo)入新的酸液于所述制程槽內(nèi)，且新的酸液的溫度要低于所述第一溫度。
[0077]接著執(zhí)行步驟S104，即第二階段混合降溫步驟，將制程槽I內(nèi)的一部分的調(diào)和酸液(即第一次調(diào)和酸液)導(dǎo)回調(diào)和槽2與剩余的緩沖酸液(即第一次緩沖酸液)均勻混合，以形成一溫度介于調(diào)和酸液的溫度與第二溫度的間的另一緩沖酸液(又稱第二次緩沖酸液)。
[0078]然后執(zhí)行步驟S106，即反復(fù)執(zhí)行第一階段混合降溫步驟與第二階段混合降溫步驟數(shù)次，直到制程槽I內(nèi)的調(diào)和酸液的溫度至少低于一特定溫度為止，然后全部導(dǎo)回所述調(diào)和槽內(nèi)。例如，此特定溫度可至少低于160°C。于實(shí)際施行時(shí)，是再次將調(diào)和槽2內(nèi)的一部分的緩沖酸液(即第二次緩沖酸液)導(dǎo)入制程槽I與剩余的調(diào)和酸液(即第一次調(diào)和酸液)均勻混合，并且在一段時(shí)間之后，再次將制程槽I內(nèi)的一部分的調(diào)和酸液(又稱第二次調(diào)和酸液)導(dǎo)回調(diào)和槽2內(nèi)與剩余的緩沖酸液(即第二次緩沖酸液)均勻混合。
[0079]值得注意的是，依此方式反復(fù)進(jìn)行數(shù)次酸液的循環(huán)返流，不僅可以大幅縮短酸液的冷卻時(shí)間，而且又不傷害槽體本身。于本發(fā)明實(shí)施例中最佳的循環(huán)降溫次數(shù)是三次，其中每經(jīng)過(guò)一次循環(huán)酸液的溫度都會(huì)降低幾十度。舉例來(lái)說(shuō)，以自然降溫的方式來(lái)將制程槽I由約300°C冷卻到約150°C，所花費(fèi)的時(shí)間是180分鐘左右，而本發(fā)明透過(guò)循環(huán)返流的混合降溫方式，只需要花費(fèi)80分鐘左右即可達(dá)到快速降溫的目的。
[0080]最后，接著執(zhí)行步驟S108，即排放步驟，將調(diào)和槽2內(nèi)的緩沖酸液冷卻到至少低于另一特定溫度為止，然后排放一部分至廠務(wù)端5。例如，此特定溫度可至少低于50°C。
[0081]綜上所述，相較于現(xiàn)有技術(shù)是使用自然降溫的方式將處于高溫狀態(tài)的制程酸液冷卻，本發(fā)明至少具有下列的優(yōu)點(diǎn):
[0082]本發(fā)明的回流降溫酸槽處理系統(tǒng)利用循環(huán)回流管線將制程槽與調(diào)和槽予以循環(huán)連接，如此，較低溫的緩沖酸液可被導(dǎo)入制程槽與較高溫的制程酸液進(jìn)行混合降溫，并且此調(diào)和酸液可進(jìn)一步透過(guò)循環(huán)回流管線而在制程槽與調(diào)和槽之間進(jìn)行數(shù)次循環(huán)返流，其中每經(jīng)過(guò)一次循環(huán)酸液的溫度都會(huì)降低幾十度。由此，可以達(dá)到快速降溫的目的，并至少可以節(jié)省一半的冷卻時(shí)間。
[0083]再者，本發(fā)明的回流降溫酸槽處理系統(tǒng)通過(guò)數(shù)個(gè)制程槽與數(shù)個(gè)調(diào)和槽互相配合，可避免于單一制程槽或調(diào)和槽處于忙碌或停機(jī)的過(guò)渡狀態(tài)時(shí)發(fā)生閑置，進(jìn)而可維持連續(xù)操作的穩(wěn)定性，防止晶片處理時(shí)程的延宕。
[0084]承上述，本發(fā)明的酸液回收處理方法可以在不傷害槽體本身的情況下使產(chǎn)能得到顯著的提升。
[0085]惟以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例，非意欲局限本發(fā)明的專利保護(hù)范圍，故舉凡運(yùn)用本發(fā)明說(shuō)明書及附圖內(nèi)容所為的等效變化，均同理皆包含于本發(fā)明的權(quán)利保護(hù)范圍內(nèi)，合予陳明。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種回流降溫酸槽處理系統(tǒng)，其特征在于，包括: 一制程槽，用以盛裝一制程酸液，所述制程酸液具有第一溫度；以及 一調(diào)和槽，用以盛裝一緩沖酸液，所述緩沖酸液具有低于所述第一溫度的第二溫度，所述調(diào)和槽經(jīng)由一循環(huán)回流管線與所述制程槽相連通；以及 其中，所述循環(huán)回流管線用以將所述調(diào)和槽內(nèi)的一部分的所述緩沖酸液導(dǎo)入所述制程槽內(nèi)與所述制程酸液均勻混合，以形成一溫度介于所述第一溫度與所述第二溫度之間的一調(diào)和酸液，并且將一部分的所述調(diào)和酸液導(dǎo)回所述調(diào)和槽中與另一部分的所述緩沖酸液均勻混合，以形成另一溫度介于所述調(diào)和酸液的溫度與所述第二溫度之間的所述緩沖酸液。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的回流降溫酸槽處理系統(tǒng)，其中所述制程槽具有一制程槽輸入端及一制程槽排出端，所述調(diào)和槽具有一調(diào)和槽輸入端及一調(diào)和槽排出端，所述循環(huán)回流管線包括第一方向引酸管及第二方向引酸管，所述第一方向引酸管連接于所述制程槽輸入端與所述調(diào)和槽排出端之間，所述第二方向引酸管連接于所述制程槽排出端與所述調(diào)和槽輸入端之間。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的回流降溫酸槽處理系統(tǒng)，其中所述第一方向引酸管上設(shè)有一分歧點(diǎn)，所述第一方向引酸管上還接設(shè)一位于所述分歧點(diǎn)與所述制程槽輸入端之間的閥件。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的回流降溫酸槽處理系統(tǒng)，其中所述第一方向引酸管上并接設(shè)一位于所述分歧點(diǎn)與所述調(diào)和槽排出端之間的栗，所述栗位于所述分歧點(diǎn)與所述調(diào)和槽排出端之間，且所述第二方向引酸管上接設(shè)另一栗。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的回流降溫酸槽處理系統(tǒng)，其中所述調(diào)和槽經(jīng)由一排放管與一廠務(wù)端相連通，且所述排放管上接設(shè)另一位于所述分歧點(diǎn)與所述廠務(wù)端之間的閥件。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的回流降溫酸槽處理系統(tǒng)，其中所述制程槽內(nèi)設(shè)有一加熱單元、一溫度檢測(cè)單元及液位檢測(cè)單元。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的回流降溫酸槽處理系統(tǒng)，其中所述調(diào)和槽內(nèi)設(shè)有一冷卻單元、溫度檢測(cè)單元及一液位檢測(cè)單元。8.一種酸液回收處理方法，其特征在于，包括: 準(zhǔn)備步驟:提供一制程槽及一調(diào)和槽，所述制程槽與所述調(diào)和槽相連通，并且所述制程槽中盛裝有一具第一溫度的制程酸液，所述調(diào)和槽中盛裝有一低于所述第一溫度的第二溫度的緩沖酸液； 第一階段混合降溫步驟:將所述調(diào)和槽內(nèi)的一部分的所述緩沖酸液導(dǎo)入所述制程槽內(nèi)與所述制程酸液均勻混合，以形成一溫度介于所述第一溫度與所述第二溫度之間的調(diào)和酸液； 第二階段混合降溫步驟:將所述制程槽內(nèi)的一部分的所述調(diào)和酸液導(dǎo)回所述調(diào)和槽內(nèi)與另一部分的所述緩沖酸液均勻混合，以形成另一溫度介于所述調(diào)和酸液的溫度與所述第二溫度之間的緩沖酸液； 反復(fù)執(zhí)行所述第一階段混合降溫步驟與所述第二階段混合降溫步驟數(shù)次，直到所述制程槽內(nèi)的所述調(diào)和酸液的溫度至少低于一特定溫度為止，然后全部導(dǎo)回所述調(diào)和槽內(nèi)；以及 排放步驟:將所述調(diào)和槽內(nèi)的所述緩沖酸液冷卻到至少低于另一特定溫度為止，然后排放一部分至一廠務(wù)端。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的酸液回收處理方法，其中在所述準(zhǔn)備步驟中，所述第一溫度為250°C，所述第二溫度為20°C。10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的酸液回收處理方法，其中在反復(fù)執(zhí)行所述第一階段混合降溫步驟與所述第二階段混合降溫步驟數(shù)次的步驟中，反復(fù)次數(shù)為二次，且所述制程槽內(nèi)的所述調(diào)和酸液的溫度是冷卻到至少低于160°C。11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的酸液回收處理方法，其中在所述排放步驟中，所述調(diào)和槽內(nèi)的調(diào)和酸液的溫度是冷卻到至少低于50°C。12.根據(jù)權(quán)利要求8所述的酸液回收處理方法，還包括一自然降溫步驟，使所述制程槽中的所述制程酸液從所述第一溫度冷卻到至少低于220°C。13.根據(jù)權(quán)利要求8所述的酸液回收處理方法，其中在所述第一階段混合降溫步驟的步驟中，更配合導(dǎo)入一與所述制程酸液不同的新的酸液于所述制程槽內(nèi)，且所述新的酸液的溫度要低于所述第一溫度。
【文檔編號(hào)】C02F9/10GK105984985SQ201510043738
【公開日】2016年10月5日
【申請(qǐng)日】2015年1月28日
【發(fā)明人】姜瑞豐, 黃立佐, 葉蔭晟, 蔡漢平
【申請(qǐng)人】弘塑科技股份有限公司