一種自動(dòng)搖酸設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種自動(dòng)搖酸設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體晶片在生產(chǎn)制造過程中需要多次使用化學(xué)品進(jìn)行清洗、腐蝕等工序，通過化學(xué)試劑與晶片表面進(jìn)行反應(yīng)，對(duì)晶片表面的雜質(zhì)和損傷層面進(jìn)行去除，或者根據(jù)工藝需求制作某一特定的腐蝕形狀。搖酸/泡酸/腐蝕過程需要將晶片晃動(dòng)起來，一般采用人工搖晃的方式。如在反應(yīng)中停止晃動(dòng)，化學(xué)試劑與晶片會(huì)反應(yīng)不夠均勻，對(duì)產(chǎn)品品質(zhì)造成影響，并且人工操作受人為因素影響較多，晃動(dòng)的力度、頻率等均會(huì)影響產(chǎn)品品質(zhì)的一致性。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]為解決半導(dǎo)體晶片在搖酸/泡酸過程中反應(yīng)不均勻的問題，本實(shí)用新型提供了一種自動(dòng)搖酸設(shè)備，通過使用改良后的機(jī)械推拉原理，使晶片在化學(xué)試劑中做平行往復(fù)運(yùn)動(dòng)，達(dá)到晃動(dòng)晶片反應(yīng)均勻一致的效果。
[0004]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案。
[0005]—種自動(dòng)搖酸設(shè)備，包括電源、控制繼電器、光電開關(guān)、壓縮氣調(diào)節(jié)旋鈕、壓縮氣電磁閥、推拉臂、平行運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌、支架、晶片托盤和槽體；電源連接控制繼電器，控制繼電器分別連接光電開關(guān)和壓縮氣電磁閥，壓縮氣電磁閥通過氣管路連接氣缸，氣缸上設(shè)有壓縮氣調(diào)節(jié)旋鈕，氣缸包括推拉臂，推拉臂連接能夠在平行運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌上滑動(dòng)的支架，支架連接位于槽體內(nèi)的晶片托盤。對(duì)光電開關(guān)位置的調(diào)節(jié)，可以控制晶片在酸液中的運(yùn)動(dòng)行程；通過對(duì)壓縮氣調(diào)節(jié)旋鈕大小的調(diào)節(jié)，可以控制晶片在酸液中的晃動(dòng)頻率。
[0006]本實(shí)用新型通過壓縮氣推動(dòng)氣缸中的推拉臂做平行往復(fù)運(yùn)動(dòng)，帶動(dòng)平行運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌作等距往復(fù)，進(jìn)而聯(lián)動(dòng)支架和晶片托盤在酸槽內(nèi)晃動(dòng)。
[0007]本實(shí)用新型的實(shí)現(xiàn)步驟流程為:控制繼電器根據(jù)光電開關(guān)傳遞的信息，控制壓縮氣電磁閥進(jìn)行動(dòng)作，壓縮氣體進(jìn)入氣缸，推動(dòng)推拉臂做運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而連動(dòng)支架在平行運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌上滑行，帶動(dòng)晶片托盤平行運(yùn)動(dòng)；運(yùn)行至另一側(cè)時(shí)，另一端的光電開關(guān)和壓縮氣電磁閥動(dòng)作，按相反的方向運(yùn)動(dòng)，完成一個(gè)往復(fù)，連貫動(dòng)作即達(dá)到預(yù)期自動(dòng)晃動(dòng)晶片的目的。
[0008]本實(shí)用新型通過壓縮氣推動(dòng)氣缸中的推拉臂做平行往復(fù)運(yùn)動(dòng)，帶動(dòng)平行運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌做等距往復(fù)，進(jìn)而聯(lián)動(dòng)支架和晶片托盤在酸槽體內(nèi)晃動(dòng)，達(dá)到自動(dòng)均勻晃動(dòng)的目的；通過對(duì)壓縮氣調(diào)節(jié)旋鈕大小的調(diào)節(jié)可以控制晶片在酸液中的晃動(dòng)頻率；對(duì)光電開關(guān)位置的調(diào)節(jié)，可以控制晶片在酸液中的運(yùn)動(dòng)行程，可根據(jù)工藝和產(chǎn)品類型的不同作對(duì)應(yīng)調(diào)整。
[0009]本實(shí)用新型的有益效果是，通過對(duì)搖酸/泡酸自動(dòng)推拉晃動(dòng)的改進(jìn)，減少人為作業(yè)導(dǎo)致的質(zhì)量不穩(wěn)定，對(duì)于提高產(chǎn)品的電性能一致性有很大幫助；可以對(duì)自動(dòng)晃動(dòng)頻率以及行程調(diào)節(jié)，可以滿足不同工藝和產(chǎn)品類型對(duì)于搖酸/泡酸的要求。
[0010]當(dāng)然，實(shí)施本實(shí)用新型的任一產(chǎn)品并不一定需要同時(shí)達(dá)到以上所述的所有優(yōu)點(diǎn)。
【附圖說明】
[0011]圖1是本實(shí)用新型整體結(jié)構(gòu)示意圖。
[0012]圖2是圖1中酸槽(槽體)的俯視圖。
[0013]圖3是圖1中酸槽的右視圖。
[0014]其中，1、電源；2、控制繼電器；3、光電開關(guān)；4、壓縮氣調(diào)節(jié)旋鈕；5、壓縮氣電磁閥；6、推拉臂；7、平行運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌；8、支架；9、晶片托盤；10、槽體。
【具體實(shí)施方式】
[0015]下面將結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0016]在本實(shí)用新型的描述中，需要說明的是，術(shù)語“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實(shí)用新型和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制。此外，術(shù)語“第一”、“第二”、“第三”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對(duì)重要性。
[0017]在本實(shí)用新型的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語在本實(shí)用新型中的具體含義。
[0018]如圖1-3所不，一種自動(dòng)搖酸設(shè)備，包括電源1、控制繼電器2、光電開關(guān)3、壓縮氣調(diào)節(jié)旋鈕4、壓縮氣電磁閥5、推拉臂6、平行運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌7、支架8、晶片托盤9和槽體10 ;電源I連接控制繼電器2，控制繼電器2分別連接光電開關(guān)3和壓縮氣電磁閥5，壓縮氣電磁閥5通過氣管路連接氣缸，氣缸上設(shè)有壓縮氣調(diào)節(jié)旋鈕4，氣缸包括推拉臂6，推拉臂6連接能夠在平行運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌7上滑動(dòng)的支架8，支架8連接位于槽體10內(nèi)的晶片托盤9。對(duì)光電開關(guān)3位置的調(diào)節(jié)，可以控制晶片在酸液中的運(yùn)動(dòng)行程；通過對(duì)壓縮氣調(diào)節(jié)旋鈕4大小的調(diào)節(jié)，可以控制晶片在酸液中的晃動(dòng)頻率。
[0019]上述雖然結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】進(jìn)行了描述，但并非對(duì)本實(shí)用新型保護(hù)范圍的限制，所屬領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該明白，在本實(shí)用新型的技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本領(lǐng)域技術(shù)人員不需要付出創(chuàng)造性勞動(dòng)即可做出的各種修改或變形仍在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍以內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種自動(dòng)搖酸設(shè)備，其特征是，包括電源(I)、控制繼電器(2)、光電開關(guān)(3)、壓縮氣調(diào)節(jié)旋鈕(4)、壓縮氣電磁閥(5)、推拉臂(6)、平行運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌(7)、支架(8)、晶片托盤(9)和槽體(10);電源(I)連接控制繼電器(2)，控制繼電器(2)分別連接光電開關(guān)(3)和壓縮氣電磁閥(5)，壓縮氣電磁閥(5)通過氣管路連接氣缸，氣缸上設(shè)有壓縮氣調(diào)節(jié)旋鈕(4)，氣缸包括推拉臂(6 )，推拉臂(6 )連接能夠在平行運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌(7 )上滑動(dòng)的支架(8 )，支架(8 )連接位于槽體(10 )內(nèi)的晶片托盤(9 )。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種自動(dòng)搖酸設(shè)備，包括電源（1）、控制繼電器（2）、光電開關(guān)（3）、壓縮氣調(diào)節(jié)旋鈕（4）、壓縮氣電磁閥（5）、推拉臂（6）、平行運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌（7）、支架（8）、晶片托盤（9）和槽體（10）；電源（1）連接控制繼電器（2），控制繼電器（2）分別連接光電開關(guān)（3）和壓縮氣電磁閥（5），壓縮氣電磁閥（5）通過氣管路連接氣缸，氣缸上設(shè)有壓縮氣調(diào)節(jié)旋鈕（4），氣缸包括推拉臂（6），推拉臂（6）連接能夠在平行運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌（7）上滑動(dòng)的支架（8），支架（8）連接位于槽體（10）內(nèi)的晶片托盤（9）。本實(shí)用新型減少質(zhì)量不穩(wěn)定，提高產(chǎn)品的電性能一致性；對(duì)自動(dòng)晃動(dòng)頻率以及行程調(diào)節(jié)，滿足不同工藝和產(chǎn)品的要求。
【IPC分類】B08B3/10, B08B3/08
【公開號(hào)】CN204842330
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520617279
【發(fā)明人】郭城, 呂明, 趙海玲, 郭英云, 盧國香
【申請(qǐng)人】山東科芯電子有限公司
【公開日】2015年12月9日
【申請(qǐng)日】2015年8月17日