一種備件清洗裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)輔助用具技術(shù)領(lǐng)域，主要涉及一種備件清洗裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體外延制程工藝中經(jīng)常大量使用石英材質(zhì)的備件，而因為石英材質(zhì)不耐高溫，無法采用高溫烤爐來去除外延生長后沉積在備件表面的外延層；同時，采用噴砂機來處理石英備件表面時，會出現(xiàn)石英表面粗糙度、平整度的參數(shù)無法達標(biāo)，造成料件報廢。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中，備件清洗大多是將備件置于清洗槽中利用有機溶液、強酸、強堿等溶液依次對備件進行處理，且需要使用超聲波對備件進行高強度的震蕩，不僅工序繁瑣復(fù)雜，且強酸、強堿、超聲波會腐蝕石英表面或使備件破損，且清洗槽體積較大，即使僅清洗少量備件，也需將清洗槽配置的震蕩裝置完全打開，造成生產(chǎn)成本增加，不適合大規(guī)模生產(chǎn)需求。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]為了克服以上不足，本實用新型旨在提供一種備件清洗裝置，有效應(yīng)用于備件清洗制程，避免去除備件表面沉積的外延層時損壞備件。
[0005]本實用新型采取的技術(shù)方案為:一種備件清洗裝置，用于氣相沉積設(shè)備中石英備件的清洗，包括:備件置放治具、位于所述備件置放治具底部的氣泡產(chǎn)生裝置、盛放清洗液體及所述備件置放治具的清洗槽；其中，所述備件置放治具包含有上、下支架，所述下支架活動連接于治具底面，于水平方向調(diào)節(jié)所述治具容納備件的寬度；所述上支架活動連接于治具本體中部位置，于垂直方向調(diào)節(jié)所述治具容納備件的高度，用以置放不同體積及形狀的備件；所述氣泡產(chǎn)生裝置包括氣泡發(fā)生器以及與所述氣泡發(fā)生器連接的氣體流通管路。
[0006]優(yōu)選的，所述上、下支架均具有復(fù)數(shù)個卡槽，用以容納及固定備件，避免所述備件在清洗時因清洗液的流動而晃動導(dǎo)致碰撞。
[0007]優(yōu)選的，所述上、下支架與治具連接處均為溝槽結(jié)構(gòu)，所述水平與垂直方向調(diào)節(jié)分別沿所述溝槽移動。
[0008]優(yōu)選的，所述氣泡發(fā)生器的氣體出口端置有直徑大于或等于氣體流通管路的球體，用以避免所述氣泡發(fā)生器工作過程因倒吸而污染所述氣體流通管路。
[0009]優(yōu)選的，所述氣泡產(chǎn)生裝置為壓縮空氣鼓泡裝置或惰性氣體鼓泡裝置。
[0010]優(yōu)選的，所述氣泡發(fā)生器的氣體出口端連接有氣泡溢出裝置，所述氣泡溢出裝置具有復(fù)數(shù)個氣泡溢出孔，用于增加氣泡產(chǎn)生數(shù)量。
[0011]優(yōu)選的，所述氣體流通管路附著并固定于備件置放治具的邊緣，一端連接于氣泡發(fā)生裝置，另一端連接于氣體供應(yīng)源。
[0012]優(yōu)選的，所述氣體流通管路還包括壓力流量調(diào)節(jié)閥，用于調(diào)節(jié)進入氣泡發(fā)生器的氣體流量及壓力，進而調(diào)節(jié)氣泡的體積及數(shù)量。
[0013]本實用新型至少具有以下有益效果:(I)利用備件置放治具中的上、下支架調(diào)節(jié)治具內(nèi)部體積，利于置放不同體積及形狀的待清洗備件；同時，將每一備件置放治具配備一個氣泡發(fā)生器，增加近距離氣泡作用效果，同時僅使用裝有備件的治具所對應(yīng)的氣泡發(fā)生器，避免浪費。(2)相對于超聲波震蕩，利用鼓泡裝置，可以在不影響清洗效果的前提下，減小對備件的耗損及破壞；且在鼓泡裝置中設(shè)置防倒吸裝置，避免鼓泡裝置在工作過程中倒吸污染氣體流通管路。
【附圖說明】
[0014]圖1為本實用新型實施例1之備件清洗裝置示意圖。
[0015]圖2為本實用新型實施例1之備件置放治具與氣泡產(chǎn)生裝置組合的正視圖。
[0016]圖3為本實用新型實施例1之備件置放治具與氣泡產(chǎn)生裝置組合的側(cè)視圖。
[0017]圖4為本實用新型實施例1之氣泡發(fā)生器示意圖。
[0018]附圖中各元件標(biāo)號說明如下:
[0019]1.氣體入口 ；2.壓力流量調(diào)節(jié)閥；3.氣體流通管路；4.備件；5.備件置放治具；6.上支架；61.上支架卡槽；7.下支架；71.下支架卡槽；8.氣泡發(fā)生器；9.上支架固定螺絲；10.下支架固定螺絲；11.氣泡溢出孔；12.球體；13.垂直調(diào)節(jié)溝槽；14.水平調(diào)節(jié)溝槽；15.清洗槽；16.彈簧；17.氣體出口端；18.氣泡溢出裝置。
【具體實施方式】
[0020]以下結(jié)合附圖和具體實施案例對本實用新型作進一步的詳細描述，有關(guān)本實用新型的相關(guān)技術(shù)內(nèi)容，特點和功效，將可以清楚的呈現(xiàn)。
[0021]本實用新型裝置主要用于濕法清洗，參看附圖1，正常作業(yè)時，備件置放治具5置于清洗槽15內(nèi)，浸沒于清洗液中，根據(jù)實際需求對一個或多個備件置放治具5內(nèi)的備件4同時進行清洗。參看附圖2和3，備件4存放于備件置放治具5內(nèi)，備件置放治具5為非封閉的框架結(jié)構(gòu)，使清洗液與備件4充分接觸；同時，為固定備件4及調(diào)節(jié)備件置放治具5容納備件4的高度及寬度，備件置放治具5包含有上支架6和下支架7，且上支架6和下支架7分別通過固定螺絲9和10活動連接于備件置放治具5的中間位置及底部區(qū)域，連接處為包括垂直調(diào)節(jié)溝槽13和水平調(diào)節(jié)溝槽14的溝槽結(jié)構(gòu)；沿垂直調(diào)節(jié)溝槽13在垂直方向調(diào)節(jié)上支架6可容納備件4的高度，沿水平調(diào)節(jié)溝槽14在水平方向調(diào)節(jié)下支架7容納備件4的寬度，進而調(diào)節(jié)備件置放治具5的內(nèi)部體積，以利于置放不同體積及形狀的備件4。而為防止備件4在清洗過程中因清洗液體流動而晃動導(dǎo)致碰撞，故在上、下支架6和7接觸備件4的側(cè)壁設(shè)置卡槽結(jié)構(gòu)的上支架卡槽61和下支架卡槽71，使備件4的中部和底部卡固于上支架卡槽61和下支架卡槽71中，避免備件4在清洗過程中因液體流動造成的備件4之間相互接觸磕碰，減小清洗過程中備件4的損壞率。
[0022]當(dāng)存放有備件4的備件置放治具5置于清洗槽15并浸沒于清洗液時，氣泡產(chǎn)生裝置產(chǎn)生氣泡，通過氣泡的作用，加速備件4表面沉積物的溶解，加快清洗速率。氣泡產(chǎn)生裝置為壓縮空氣鼓泡裝置或惰性氣體鼓泡裝置，此處優(yōu)選壓縮空氣鼓泡裝置，氣泡產(chǎn)生裝置包括氣泡發(fā)生器8和氣體流通管路3，氣體流通管路3附著并固定于備件置放治具5的邊緣，一端連接于氣泡發(fā)生器8，另一端連接于氣體供應(yīng)源(圖中未示出)；氣體由氣體流通管路3的氣體入口 I進入，經(jīng)過壓力流量調(diào)節(jié)閥2，調(diào)節(jié)進入氣體流通管路3的氣體流量及壓力，進而控制進入氣泡發(fā)生器8的氣體流量及壓力，從而調(diào)節(jié)氣泡的數(shù)量及體積。參看附圖4，到達氣泡發(fā)生器8的氣流從氣體出口端17處推開球體12，氣體進入氣泡溢出裝置18，并從氣泡溢出孔11溢出至清洗液中，從而產(chǎn)生氣泡；而當(dāng)氣體停止供應(yīng)時，因為彈簧16的彈力，使球體12堵住氣體出口端17，使清洗溶液無法逆流至氣體流通管路3，從而達到防止倒吸污染氣體流通管路3的作用，所述球體12直徑大于或等于氣體流通管路的直徑。清洗過程中，清洗槽15內(nèi)加入堿性溶液、雙氧水、純水混合而成的清洗液并浸沒備件4，而氣泡發(fā)生器8產(chǎn)生的氣泡通過浮力作用不斷運動，使得臨近備件4表面的混合清洗液與遠離備件4的混合清洗液之間濃度趨于均勻，加速備件4表面沉積物的溶解，增加清洗速率，而為了加快備件4表面沉積物的溶解，清洗槽15內(nèi)部還設(shè)置有具有加熱功能的結(jié)構(gòu)(圖中未示出)，可更進一步加快清洗速率。
[0023]本實用新型清洗裝置中，備件置放治具5采用鐵氟龍等耐酸耐堿的材料制備而成，每一備件置放治具5均配置有氣泡產(chǎn)生裝置，清洗備件4時只需啟動該備件置放治具5對應(yīng)的氣泡產(chǎn)生裝置即可，相較于現(xiàn)有技術(shù)中于清洗槽設(shè)置大流量氣泡產(chǎn)生裝置，減小了資源浪費；且本實用新型備件置放治具5設(shè)置有可活動調(diào)節(jié)的上支架6和下支架7，靈活調(diào)節(jié)備件置放治具5的內(nèi)部體積，方便置放不同形狀體積的備件4，提高備件置放治具5的利用率。
[0024]應(yīng)當(dāng)理解的是，上述具體實施方案為本實用新型的優(yōu)選實施例，本實用新型的范圍不限于該實例，凡依照本實用新型所做的任何變更，皆屬本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種備件清洗裝置，其特征在于，用于氣相沉積設(shè)備中石英備件的清洗，包括:備件置放治具、位于所述備件置放治具底部的氣泡產(chǎn)生裝置，以及盛放清洗液體和所述備件置放治具的清洗槽；其中，所述備件置放治具為非封閉框架結(jié)構(gòu)，包含有上、下支架，所述下支架活動連接于治具底面，于水平方向調(diào)節(jié)所述治具容納備件的寬度；所述上支架活動連接于治具中部位置，于垂直方向調(diào)節(jié)所述治具容納備件的高度，用以置放不同體積及形狀的備件，其中，所述氣泡產(chǎn)生裝置包括氣泡發(fā)生器及與所述氣泡發(fā)生器連接的氣體流通管路。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種備件清洗裝置，其特征在于:所述上、下支架均具有復(fù)數(shù)個卡槽，用以容納及固定備件，避免所述備件在清洗時因清洗液的流動而晃動導(dǎo)致碰撞。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種備件清洗裝置，其特征在于:所述上、下支架與所述備件置放治具連接處均為溝槽結(jié)構(gòu)，所述水平與垂直方向調(diào)節(jié)分別沿所述溝槽移動。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種備件清洗裝置，其特征在于:所述氣泡發(fā)生器的氣體出口端置有直徑大于或等于氣體流通管路的球體，用以避免所述氣泡發(fā)生器工作過程因倒吸而污染氣體流通管路。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種備件清洗裝置，其特征在于:所述氣泡產(chǎn)生裝置為壓縮空氣鼓泡裝置或惰性氣體鼓泡裝置。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種備件清洗裝置，其特征在于:所述氣泡發(fā)生器的氣體出口端連接有氣泡溢出裝置，所述氣泡溢出裝置具有復(fù)數(shù)個氣泡溢出孔，用于增加氣泡產(chǎn)生數(shù)量。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種備件清洗裝置，其特征在于:所述氣體流通管路附著并固定于所述備件置放治具的邊緣，一端連接于氣泡發(fā)生裝置，另一端連接于氣體供應(yīng)源。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種備件清洗裝置，其特征在于:所述氣體流通管路還包括壓力流量調(diào)節(jié)閥，用于調(diào)節(jié)進入氣泡發(fā)生器的氣體流量及壓力，進而調(diào)節(jié)氣泡的體積及數(shù)量。
【專利摘要】一種備件清洗裝置，用于氣相沉積設(shè)備中石英備件的清洗，包括：清洗槽、備件置放治具、氣泡產(chǎn)生裝置；其中，所述清洗槽用于盛放清洗液體及所述備件置放治具；所述備件置放治具包含有上、下支架，所述下支架活動連接于治具底面，于水平方向調(diào)節(jié)所述治具容納備件的寬度；所述上支架活動連接于治具本體中部位置，于垂直方向調(diào)節(jié)所述治具容納備件的高度，用以置放不同體積及形狀的備件；所述氣泡產(chǎn)生裝置包括氣泡發(fā)生器、氣體流通管路。本實用新型可減少備件清洗過程中備件的損壞，以及降低對清洗裝置使用的浪費。
【IPC分類】B08B3/12, B08B3/10
【公開號】CN204842350
【申請?zhí)枴緾N201520579318
【發(fā)明人】張飛, 郭晃亨, 林兓兓, 張家宏
【申請人】安徽三安光電有限公司
【公開日】2015年12月9日
【申請日】2015年8月5日