一種石墨舟自動清洗裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型提供了一種石墨舟自動清洗裝置,通過隔膜循環(huán)泵將氫氟酸經(jīng)由管路補充至設(shè)備內(nèi),加液過程中安全門完全閉合,氫氟酸與外界隔絕,且當(dāng)安全門被打開時加液自動停止,不會發(fā)生液體飛濺,保障了操作人員安全;所用的氫氟酸用量,鼓泡清洗時間、水浴去酸時間等參數(shù)可以通過觸摸屏進行設(shè)置,直觀方便,不需要人工監(jiān)視和操作,節(jié)約了人工成本,本實用新型具有急停裝置,在發(fā)生意外情況時,可以及時關(guān)閉所有工作閥門,防止意外情況擴大。本實用新型可以通過流量計保證氫氟酸用量穩(wěn)定,同時可以通過觸摸屏更改氫氟酸的加液量,比人工加酸更穩(wěn)定。清洗去酸過程中通過設(shè)置在清洗槽內(nèi)部的氫氟酸濃度傳感器確定清洗程度,更加安全可靠。
【專利說明】
一種石墨舟自動清洗裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實用新型涉及光伏制造技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種石墨舟自動清洗裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]太陽能電池生產(chǎn)過程中硅片的鍍膜過程是由石墨舟作為載體,在鍍膜過程中石墨舟表面會附著上一層氮化硅膜,氮化硅膜會影響硅片的鍍膜效果,因此需要定期對石墨舟進行清洗。清洗石墨舟的過程中需要將石墨舟放在耐酸材質(zhì)的容器中,并向容器中添加一定量的純水和氫氟酸,經(jīng)過鼓泡清洗、水浴去酸等過程才能將石墨舟表面的氮化硅去除干凈。而在對石墨舟清洗時,諸如加水,加酸,鼓泡清洗,排液等過程全部由人工操作,準確性低,安全性差。
[0003]目前的石墨舟清洗裝置中,通常由兩個或者多個清洗槽組成,石墨舟放入裝置內(nèi)之后,需要操作人員向裝置內(nèi)手動或通過隔膜栗添加定量的氫氟酸,打開加水閥向內(nèi)添加純水至一定水位后關(guān)閉,再打開壓縮空氣閥門,通過裝置底部的鼓泡管鼓泡,經(jīng)過一定時間后將酸液排放到其他清洗槽內(nèi),通過多次水浴去酸后方可完成石墨舟清洗過程。
[0004]現(xiàn)有的石墨舟清洗裝置,基本上全部通過人工操作完成加酸、加水、鼓泡清洗、水浴去酸、排酸(排水)等一系列過程,在此過程中存在以下問題:
[0005]1.由于氫氟酸具有強烈的腐蝕性,氫氟酸暴露在外環(huán)境中存在安全隱患;
[0006]2.人工清洗過程中酸和水的用量、某一過程(如鼓泡,水洗)的時間、以及所有的閥門開關(guān)全部由人工控制,準確度低,更浪費時間和人工;
[0007]3.目前的石墨舟清洗裝置無安全門,工作過程中無法鎖閉,裝置內(nèi)的酸水混合物直接與外界接觸,若發(fā)生液體飛濺,容易對附近人員造成危險。
[0008]4.當(dāng)前的石墨舟清洗裝置無急停開關(guān),在出現(xiàn)意外情況時無法及時關(guān)閉所有加液和通氣閥門,存在安全隱患。
[0009]5.氫氟酸用量由人工控制,不能保證用量穩(wěn)定。
[0010]所以,如何提供一種石墨舟自動清洗裝置,解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題,是目前本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的技術(shù)問題。
【實用新型內(nèi)容】
[0011]有鑒于此,本實用新型提供了一種石墨舟自動清洗裝置,具體方案如下:
[0012]—種石墨舟自動清洗裝置,包括清洗槽、氫氟酸儲罐、排廢管以及控制中心,其特征在于:
[0013]所述清洗槽以及所述氫氟酸儲罐之間通過輸酸管連接,在所述輸酸管上遠離氫氟酸儲罐的方向上依次串接有隔膜栗、酸流量計、酸閥;
[0014]所述清洗槽還連接有輸水管,所述輸水管上設(shè)有水閥以及水流量計;
[0015]所述排廢管設(shè)于所述清洗槽底部,所述排廢管上設(shè)有排廢閥;
[0016]所述清洗槽底部還設(shè)有鼓泡裝置,所述鼓泡裝置連接著輸氣管,所述輸氣管上設(shè)有氣閥;
[0017]所述清洗槽的側(cè)壁上還設(shè)有低液位傳感器、高液位傳感器;
[0018]所述酸閥、所述酸流量計、所述隔膜栗、所述水閥、所述水流量計、所述排廢閥、所述氣閥、所述低液位傳感器以及所述高液位傳感器均與所述控制中心通訊連接。
[0019]進一步的,所述清洗槽內(nèi)還設(shè)有氫氟酸濃度傳感器,所述氫氟酸濃度傳感器與所述控制中心通訊連接。
[0020]更進一步的,所述清洗槽上部還設(shè)有安全門,所述安全門上設(shè)有安全門傳感器、所述安全門的頂部設(shè)有報警燈,所述安全門傳感器以及所述報警燈與所述控制中心通訊連接。
[0021 ]具體的,所述控制中心設(shè)于所述清洗槽的側(cè)面,所述控制中心包括控制操作界面以及急停按鈕。
[0022]本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比,具有的優(yōu)點是:1、通過隔膜循環(huán)栗將氫氟酸經(jīng)由管路補充至設(shè)備內(nèi),加液過程中安全門完全閉合,氫氟酸與外界隔絕,且當(dāng)安全門被打開時加液自動停止,不會發(fā)生液體飛濺,保障了操作人員安全;2、所用的氫氟酸用量,鼓泡清洗時間、水浴去酸時間等參數(shù)可以通過觸摸屏(人機界面)進行設(shè)置,直觀方便;加酸、加水、鼓泡清洗、水浴去酸,排液等過程自動切換進行,不需要人工監(jiān)視和操作,節(jié)約了人工成本;3、本實用新型所述裝置具有急停裝置,在發(fā)生意外情況(清洗槽溢液,安全門失效)時,可以及時關(guān)閉所有在工作的閥門,防止意外情況擴大。4、本實用新型可以通過流量計保證氫氟酸用量穩(wěn)定,同時可以通過觸摸屏更改氫氟酸的加液量,比人工加酸更穩(wěn)定;5、清洗去酸過程中通過設(shè)置在清洗槽內(nèi)部的氫氟酸濃度傳感器確定清洗程度,更加安全可靠。
【附圖說明】
[0023]為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案,下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例,對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0024]圖1為本實用新型提供的石墨舟自動清洗裝置結(jié)構(gòu)示意圖;
[0025]圖中:10、清洗槽11、低液位傳感器12、高液位傳感器13、氫氟酸濃度傳感器20、氫氟酸儲罐21、輸酸管22、隔膜栗23、酸流量計24、酸閥30、輸水管31、水閥32、水流量計40、排廢管41、排廢閥50、輸氣管51、氣閥52、鼓泡裝置60、控制中心61、操作界面62、急停按鈕110、安全門111、安全門傳感器112、報警燈
【具體實施方式】
[0026]下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖,對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例,而不是全部的實施例?;诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本實用新型保護的范圍。
[0027]參照圖1,本實用新型請求保護一種石墨舟自動清洗裝置,包括清洗槽10、氫氟酸儲罐20、排廢管40以及控制中心60,所述清洗槽10以及所述氫氟酸儲罐20之間通過輸酸管21連接,在所述輸酸管21上遠離氫氟酸儲罐20的方向上依次串接有隔膜栗22、酸流量計23、酸閥24;
[0028]所述清洗槽10還連接有輸水管30,所述輸水管30上設(shè)有水閥31以及水流量計32;
[0029]所述排廢管41設(shè)于所述清洗槽10底部,所述排廢管41上設(shè)有排廢閥41;
[0030]所述清洗槽10底部還設(shè)有鼓泡裝置52,所述鼓泡裝置52連接著輸氣管50,所述輸氣管50上設(shè)有氣閥51;
[0031 ]所述清洗槽10的側(cè)壁上還設(shè)有低液位傳感器11、高液位傳感器12;
[0032]所述酸閥24、所述酸流量計23、所述隔膜栗22、所述水閥31、所述水流量計32、所述排廢閥41、所述氣閥51、所述低液位傳感器11以及所述高液位傳感器12均與所述控制中心60通訊連接。
[0033]進一步的,所述清洗槽10內(nèi)還設(shè)有氫氟酸濃度傳感器13,所述氫氟酸濃度傳感器13與所述控制中心60通訊連接。
[0034]更進一步的,所述清洗槽10上部還設(shè)有安全門110,所述安全門110上設(shè)有安全門傳感器111、所述安全門110的頂部設(shè)有報警燈112,所述安全門傳感器111以及所述報警燈112與所述控制中心60通訊連接。
[0035]加液過程中安全門完全閉合,氫氟酸與外界隔絕,且當(dāng)安全門被打開時加液自動停止,不會發(fā)生液體飛濺,保障了操作人員安全。
[0036]具體的,所述控制中心60設(shè)于所述清洗槽10的側(cè)面,可以單獨設(shè)立也可以直接設(shè)置的清洗槽10的側(cè)壁上,便于使用者的操作,所述控制中心60包括控制操作界面61以及急停按鈕62,所述操作界面61可優(yōu)選為觸屏操作界面。
[0037]裝置處于正常運行時,報警燈112綠燈常亮,當(dāng)安全門110被打開、安全門傳感器111無法檢測到安全門處于閉合狀態(tài)或者急停按鈕62被按下時,設(shè)備將停止執(zhí)行自動清洗過程,同時報警燈112的紅燈亮起。
【主權(quán)項】
1.一種石墨舟自動清洗裝置,包括清洗槽、氫氟酸儲罐、排廢管以及控制中心,其特征在于: 所述清洗槽以及所述氫氟酸儲罐之間通過輸酸管連接,在所述輸酸管上遠離氫氟酸儲罐的方向上依次串接有隔膜栗、酸流量計、酸閥; 所述清洗槽還連接有輸水管,所述輸水管上設(shè)有水閥以及水流量計; 所述排廢管設(shè)于所述清洗槽底部,所述排廢管上設(shè)有排廢閥; 所述清洗槽底部還設(shè)有鼓泡裝置,所述鼓泡裝置連接著輸氣管,所述輸氣管上設(shè)有氣閥; 所述清洗槽的側(cè)壁上還設(shè)有低液位傳感器、高液位傳感器; 所述酸閥、所述酸流量計、所述隔膜栗、所述水閥、所述水流量計、所述排廢閥、所述氣閥、所述低液位傳感器以及所述高液位傳感器均與所述控制中心通訊連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨舟自動清洗裝置,其特征在于:所述清洗槽內(nèi)還設(shè)有氫氟酸濃度傳感器,所述氫氟酸濃度傳感器與所述控制中心通訊連接。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的石墨舟自動清洗裝置,其特征在于:所述清洗槽上部還設(shè)有安全門,所述安全門上設(shè)有安全門傳感器、所述安全門的頂部設(shè)有報警燈,所述安全門傳感器以及所述報警燈與所述控制中心通訊連接。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的石墨舟自動清洗裝置,其特征在于:所述控制中心設(shè)于所述清洗槽的側(cè)面,所述控制中心包括控制操作界面以及急停按鈕。
【文檔編號】B08B3/08GK205463403SQ201620146094
【公開日】2016年8月17日
【申請日】2016年2月26日
【發(fā)明人】劉紅明, 頓海龍, 張紅偉, 王海濤
【申請人】天津英利新能源有限公司