一種硅片清洗水槽的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供了一種硅片清洗水槽，包括水槽箱體，清洗籃，所述清洗籃為中空結(jié)構(gòu)，包括側(cè)壁、中空位置和硅片槽位，其特征在于，還包括一種緩沖裝置，所述緩沖裝置包括橡膠墊板，所述橡膠墊板放置在所述水槽箱體上，所述橡膠墊板上設(shè)有緩沖塊，所述緩沖塊上放置所述清洗籃。在分插片過(guò)程中，硅片在接觸硅片清洗籃槽底前先接觸到緩沖保護(hù)裝置上的緩沖塊，緩沖塊起到緩沖和隔絕的作用，避免了硅片在接觸硅片籃槽底瞬間受到的沖擊力，對(duì)硅片的端面起到很好的保護(hù)作用，從而有效避免了硅片崩缺、硅粉脫落、隱裂等缺陷的產(chǎn)生，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低，且操作方便、快捷的優(yōu)點(diǎn)。
【專利說(shuō)明】
一種硅片清洗水槽
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及太陽(yáng)能硅片生產(chǎn)領(lǐng)域，特別涉及一種硅片清洗水槽。
【背景技術(shù)】
[0002]硅片生產(chǎn)環(huán)節(jié)，通常分為鑄錠、開(kāi)方(破錠)、倒角拋光、粘膠、切片、清洗五個(gè)工序。其中，清洗工序的目的是對(duì)線切割完成的硅片進(jìn)行清洗，該工序具體包括預(yù)清洗和深清洗。在預(yù)清洗脫膠后，需要將硅片插入硅片清洗籃，再進(jìn)入下一道清洗工序。
[0003]—般情況下，硅片分插片包括人工手工插片和設(shè)備自動(dòng)插片。在這兩種插片過(guò)程中，硅片都是垂直或者傾斜往下進(jìn)入硅片清洗籃。由于硅片本身為硬脆性材料，而硅片清洗籃一般材質(zhì)硬度較高，在插片過(guò)程中，硅片端面觸碰到槽底時(shí)，經(jīng)常會(huì)引起硅片接觸點(diǎn)位置的崩缺、硅粉脫落、隱裂等現(xiàn)象。
[0004]現(xiàn)有的改善措施一般采用硅片籃槽底捆綁聚氨酯條的方式來(lái)降低硅片受到的沖擊力，但是聚氨酯條經(jīng)高溫和酸堿浸泡后，短期內(nèi)會(huì)硬化而失去緩沖作用，使用周期短。另夕卜，聚氨酯條會(huì)引起硅片端面沾污，增加硅片黑斑等一系列問(wèn)題出現(xiàn)的風(fēng)險(xiǎn)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本實(shí)用新型的目的在于提供一種硅片清洗水槽。
[0006]本實(shí)用新型的技術(shù)方案為:
[0007]—種硅片清洗水槽，包括水槽箱體，清洗籃，所述清洗籃為中空結(jié)構(gòu)，包括側(cè)壁、中空位置和硅片槽位，其特征在于，還包括一種緩沖裝置，所述緩沖裝置包括橡膠墊板，所述橡膠墊板放置在所述水槽箱體上，所述橡膠墊板上設(shè)有緩沖塊，所述緩沖塊上表面與所述清洗籃底部中空位置相接觸。
[0008]其中，所述緩沖塊為整體式結(jié)構(gòu)，所述緩沖塊的上表面設(shè)有若干凹槽，所述凹槽將所述緩沖塊上表面分割成若干凸起，所述凹槽與所述清洗籃側(cè)壁相接觸，所述凸起置于所述清洗籃中空位置下方。
[0009]其中，所述橡膠墊板上表面設(shè)有凹坑，所述凹坑的表面尺寸與所述緩沖塊的下表面的尺寸一致，所述緩沖塊通過(guò)插入到凹坑與所述橡膠墊塊相連接。
[0010]其中，所述緩沖塊通過(guò)粘接劑與橡膠墊板相連接。
[0011]優(yōu)選地，所述粘接劑為818膠水。
[0012]其中，所述緩沖塊分體式結(jié)構(gòu)，所述緩沖塊為相互獨(dú)立的長(zhǎng)方體，并相隔一定的空間距離，所述清洗籃側(cè)壁卡在所述緩沖塊之間，所述緩沖塊置于所述清洗籃中空位置下方。
[0013]其中，所述橡膠墊板上表面設(shè)有若干凹坑，所述單個(gè)凹坑的表面尺寸與所述單個(gè)緩沖塊的下表面的尺寸一致，所述緩沖塊通過(guò)插入到凹坑與所述橡膠墊塊相連接。
[0014]其中，所述緩沖塊通過(guò)粘接劑與橡膠墊板相連接。
[0015]優(yōu)選地，所述粘接劑為818膠水。
[0016]其中，所述緩沖塊相對(duì)的兩側(cè)面設(shè)置有擋片，所述擋片通過(guò)粘接劑與緩沖塊和橡膠墊相連接。
[0017]優(yōu)選地，所述擋片的高度低于所述緩沖塊的高度。
[0018]優(yōu)選地，所述擋片材質(zhì)為不銹鋼。
[0019]優(yōu)選地，所述擋片的形狀為L(zhǎng)型；
[0020]優(yōu)選地，所述緩沖塊為橡膠發(fā)泡海綿三元乙丙。
[0021]本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)為，在水箱箱體上設(shè)置緩沖裝置，橡膠墊板對(duì)緩沖塊進(jìn)行支撐和固定，在分插片過(guò)程中，硅片在接觸硅片清洗籃槽底前先接觸到緩沖保護(hù)裝置上的緩沖塊，緩沖塊起到緩沖和隔絕的作用，避免了硅片在接觸硅片籃槽底瞬間受到的沖擊力，對(duì)硅片的端面起到很好的保護(hù)作用，從而有效避免了硅片崩缺、硅粉脫落、隱裂等缺陷的產(chǎn)生，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低，且操作方便、快捷的優(yōu)點(diǎn)。
【附圖說(shuō)明】
[0022]圖1是現(xiàn)有技術(shù)中清洗籃的側(cè)面示意圖；
[0023]圖2是現(xiàn)有技術(shù)中清洗籃的俯視示意圖；
[0024]圖3是本實(shí)用新型第一實(shí)施例的緩沖裝置的正面示意圖；
[0025]圖4是本實(shí)用新型第一實(shí)施例的緩沖裝置的右面示意圖；
[0026]圖5是本實(shí)用新型第一實(shí)施例的緩沖裝置的俯視示意圖；
[0027]圖6是本實(shí)用新型第二實(shí)施例的緩沖裝置的正面示意圖；
[0028]圖7是本實(shí)用新型第二實(shí)施例的緩沖裝置的右面示意圖；
[0029]圖8是本實(shí)用新型第一實(shí)施例的緩沖裝置的硅片清洗水槽的俯視示意圖；
[°03°]附圖中附圖標(biāo)記所對(duì)應(yīng)的名稱為:1-橡膠墊板，101-凹坑，2-緩沖塊，201-緩沖塊凹槽，202-緩沖塊凸起，3-擋片，4-清洗籃，401-清洗籃側(cè)壁，402-清洗籃中空位置，5-水槽箱體。
【具體實(shí)施方式】
[0031]本實(shí)用新型的核心是提供一種帶有緩沖裝置的硅片清洗水槽，緩沖裝置避免了硅片在接觸硅片籃槽底瞬間受到的沖擊力，對(duì)硅片的端面起到很好的保護(hù)作用，從而有效避免了硅片崩缺、硅粉脫落、隱裂等缺陷的產(chǎn)生。
[0032]為了使本領(lǐng)域技術(shù)人員更好地理解本實(shí)用新型方案，下面將結(jié)合附圖和實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用型的進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明。
[0033]實(shí)施例1
[0034]請(qǐng)參考圖1?圖5和圖8，在該實(shí)施例中，本實(shí)用新型公布了一種硅片清洗水槽，該清洗水槽包括水槽箱體I，清洗籃4和緩沖裝置，其中，清洗籃4的中空位置的尺寸為130 X 95X 65mm，緩沖裝置包括橡膠墊板I和緩沖塊2。橡膠墊板I的尺寸長(zhǎng)X寬X厚度=1400 X 200X 3mm，底部有101凹坑尺寸為1180 X 20 X 1.5mm。橡膠墊板I放置在水槽箱體上，橡膠凹坑101上用818膠水固定緩沖塊2，緩沖塊2的材質(zhì)為橡膠發(fā)泡海綿三元乙丙，緩沖塊2的尺寸為1180 X20 X35mm，其中，緩沖塊凹槽201尺寸為長(zhǎng)X寬X高= 20X20X25mm，緩沖塊凸起202尺寸為長(zhǎng)X寬X高= 130X20X 25mm，。清洗籃側(cè)壁401卡在緩沖塊凹槽內(nèi)，緩沖塊凸起202置于清洗籃402中空位置下方。
[0035]實(shí)施例2
[0036]請(qǐng)參考圖1、2、6和圖7，在該實(shí)施例中，本實(shí)用新型公布了一種硅片清洗水槽，該清洗水槽包括水槽箱體I，清洗籃4和緩沖裝置，其中，清洗籃4的中空位置的尺寸為130 X 95 X65mm，緩沖裝置包括橡膠墊板I和緩沖塊2。橡膠墊板I的尺寸長(zhǎng)X寬X厚度=1400 X 200 X3mm，橡膠墊板I放置在水槽箱體上，橡膠墊板I上用818膠水固定緩沖塊2，緩沖塊2的材質(zhì)為橡膠發(fā)泡海綿三元乙丙，緩沖塊2為8個(gè)尺寸為130 X 20 X 35mm的長(zhǎng)方體。每個(gè)緩沖塊之間相隔距離為20mm，緩沖塊2相對(duì)的兩側(cè)面設(shè)置有L型擋片，擋片3的尺寸為長(zhǎng)X寬X高X厚度=130 X 20 X 20 X 1mm，擋片3的材質(zhì)為不銹鋼。橡膠墊板I，緩沖塊2與擋片3利用818膠水粘接固定。清洗籃側(cè)壁401卡在緩沖塊2之間，緩沖塊2置于清洗籃402中空位置下方。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種硅片清洗水槽，包括水槽箱體(5)，清洗籃(4)，所述清洗籃(4)為中空結(jié)構(gòu)，包括側(cè)壁(401)、中空位置(402)和硅片槽位，其特征在于，還包括一種緩沖裝置，所述緩沖裝置包括橡膠墊板(I )，所述橡膠墊板放置在所述水槽箱體(5)上，所述橡膠墊板(I)上設(shè)有緩沖塊(2)，所述緩沖塊(2)上放置所述清洗籃(4)。2.如權(quán)利要求1所述的硅片清洗水槽，其特征在于:所述緩沖塊(2)為整體式結(jié)構(gòu)，所述緩沖塊的上表面設(shè)有若干凹槽(201)，所述凹槽(201)將所述緩沖塊上表面分割成若干凸起(202)，所述凹槽(201)卡住所述清洗籃側(cè)壁(401)，所述凸起(202)置于所述清洗籃中空位置(402)下方。3.如權(quán)利要求2所述的硅片清洗水槽，其特征在于:所述橡膠墊板(I)上表面設(shè)有凹坑(101)，所述凹坑(101)的表面尺寸與所述緩沖塊(2)的下表面的尺寸一致，所述緩沖塊(2)通過(guò)插入到所述凹坑(101)與所述橡膠墊塊(I)相連接。4.如權(quán)利要求2所述的硅片清洗水槽，其特征在于:所述緩沖塊(2)通過(guò)粘接劑與橡膠墊板(I)相連接。5.如權(quán)利要求1所述的硅片清洗水槽，其特征在于:所述緩沖塊(2)為分體式結(jié)構(gòu)，所述緩沖塊(2)為相互獨(dú)立的長(zhǎng)方體，并相隔一定的空間距離，所述清洗籃側(cè)壁(401)卡在所述緩沖塊(2)之間，所述緩沖塊置于所述清洗籃中空位置(402)下方。6.如權(quán)利要求5所述的硅片清洗水槽，其特征在于:所述橡膠墊板(I)上表面設(shè)有若干凹坑(101)，所述單個(gè)凹坑(101)的表面尺寸與所述單個(gè)緩沖塊(2)的下表面的尺寸一致，所述緩沖塊(2)通過(guò)插入到所述凹坑(101)與所述橡膠墊塊(I)相連接。7.如權(quán)利要求5所述的硅片清洗水槽，其特征在于:所述緩沖塊(2)通過(guò)粘接劑與橡膠墊板(I)相連接。8.如權(quán)利要求1?7任一所述的硅片清洗水槽，其特征在于，所述緩沖塊(2)相對(duì)的兩側(cè)面設(shè)置有擋片(3)，所述擋片(3)通過(guò)粘接劑與緩沖塊(2)和橡膠墊(I)相連接。9.如權(quán)利要求8所述的硅片清洗水槽，其特征在于，所述擋片(3)的高度低于所述緩沖塊(2)的高度。10.如權(quán)利要求9所述硅片清洗水槽，其特征在于，所述擋片(3)的材質(zhì)為不銹鋼。
【文檔編號(hào)】B08B13/00GK205570972SQ201620278493
【公開(kāi)日】2016年9月14日
【申請(qǐng)日】2016年4月6日
【發(fā)明人】范立峰, 章金兵, 況云輝, 付紅平
【申請(qǐng)人】江西賽維Ldk太陽(yáng)能高科技有限公司