一種薄膜電池沉積爐硅粉清潔裝置的制造方法
【專(zhuān)利摘要】一種薄膜電池沉積爐硅粉清潔裝置，包括吸塵罩，吸塵罩經(jīng)吸氣管連接吸塵器，所述吸塵罩內(nèi)設(shè)有支撐連接柱，支撐連接柱下端連接吹氣罩，吹氣罩底部設(shè)有若干個(gè)吹氣孔，吹氣罩經(jīng)壓縮干燥空氣CDA氣管連接壓縮干燥空氣CDA氣源，所述吹氣罩底部設(shè)有支撐滑動(dòng)輪。解決了薄膜電池沉積爐內(nèi)部表面硅粉清除的問(wèn)題，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用方便、清理硅粉效率高、速度快的特點(diǎn)，且降低了因硅粉導(dǎo)致下一批薄膜電池成膜質(zhì)量變差的影響，進(jìn)而提高薄膜電池產(chǎn)品性能及質(zhì)量。
【專(zhuān)利說(shuō)明】
一種薄膜電池沉積爐硅粉清潔裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本實(shí)用新型涉及一種薄膜電池沉積爐硅粉清潔裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在薄膜太陽(yáng)能電池生產(chǎn)過(guò)程中，由于工藝本身因素，薄膜電池核心膜層成膜設(shè)備一沉積爐內(nèi)部不可避免會(huì)有硅粉產(chǎn)生，在下一批次薄膜電池核心膜層成膜時(shí)，硅粉會(huì)影響膜層生長(zhǎng)，導(dǎo)致成膜質(zhì)量變差，進(jìn)而影響薄膜電池產(chǎn)品的電性能，如果長(zhǎng)時(shí)間不清理，硅粉會(huì)越積越多，對(duì)成膜工藝的影響越來(lái)越大。
[0003]因此在下一批薄膜電池成膜之前，需要把殘留在沉積爐內(nèi)部表面上的硅粉清除干凈，降低硅粉在核心膜層成膜過(guò)程中對(duì)膜層質(zhì)量的影響。因?yàn)槌练e爐溫度在250°C，為了提高設(shè)備的使用效率，不能待設(shè)備降溫后進(jìn)行清潔，所以常規(guī)的清潔方式無(wú)法對(duì)處于高溫狀態(tài)的沉積爐表面進(jìn)行有效的清潔。臨時(shí)措施是用改裝成不銹鋼吸頭的吸塵器進(jìn)行沉積爐內(nèi)部硅粉的清潔，但是這樣做會(huì)有一個(gè)較大的弊端，對(duì)沉積爐內(nèi)部表面有損傷而且清潔效果不理想，得不償失。因此對(duì)薄膜電池成膜設(shè)備一沉積爐內(nèi)部表面清潔是薄膜太陽(yáng)能電池生產(chǎn)工藝中不可忽略的問(wèn)題。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型其目的就在于提供一種薄膜電池沉積爐硅粉清潔裝置，解決了薄膜電池沉積爐內(nèi)部表面硅粉清除的問(wèn)題，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用方便、清理硅粉效率高、速度快的特點(diǎn)，且降低了因硅粉導(dǎo)致下一批薄膜電池成膜質(zhì)量變差的影響，進(jìn)而提高薄膜電池產(chǎn)品性能及質(zhì)量。
[0005]實(shí)現(xiàn)上述目的而采取的技術(shù)方案，包括吸塵罩，吸塵罩經(jīng)吸氣管連接吸塵器，所述吸塵罩內(nèi)設(shè)有支撐連接柱，支撐連接柱下端連接吹氣罩，吹氣罩底部設(shè)有若干個(gè)吹氣孔，吹氣罩經(jīng)壓縮干燥空氣⑶A氣管連接壓縮干燥空氣⑶A氣源，所述吹氣罩底部設(shè)有支撐滑動(dòng)輪。
[0006]有益效果
[0007]與現(xiàn)有技術(shù)相比本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn)。
[0008]本實(shí)用新型采用一種新型沉積爐硅粉清潔裝置，在薄膜太陽(yáng)能電池生產(chǎn)中，當(dāng)上一批薄膜電池成膜后并流向下一個(gè)工序后，利用該裝置進(jìn)行沉積爐內(nèi)部表面硅粉的清除，降低因硅粉導(dǎo)致下一批薄膜電池成膜質(zhì)量變差的影響，進(jìn)而提高薄膜電池產(chǎn)品性能及質(zhì)量。本裝置可在高溫條件下工作，清理硅粉效率高、速度快。
【附圖說(shuō)明】
[0009]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳述。
[0010]圖1為本裝置結(jié)構(gòu)示意剖面圖；
[0011 ]圖2為本裝置結(jié)構(gòu)示意仰視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0012]本裝置包括吸塵罩7，吸塵罩7經(jīng)吸氣管5連接吸塵器，如圖1、圖2所示，所述吸塵罩7內(nèi)設(shè)有支撐連接柱6，支撐連接柱6下端連接吹氣罩8，吹氣罩8底部設(shè)有若干個(gè)吹氣孔2，吹氣罩8經(jīng)壓縮干燥空氣⑶A氣管4連接壓縮干燥空氣⑶A氣源，所述吹氣罩8底部設(shè)有支撐滑動(dòng)輪3。
[0013]所述吸塵罩7、吹氣罩8為半球形，吸塵罩7與吹氣罩8之間空腔為吸氣口 I，所述若干個(gè)吹氣孔2為環(huán)形布置。
[0014]所述吸塵罩7、吹氣罩8、支撐滑動(dòng)輪3、壓縮干燥空氣CDA氣管4、吸氣管5、支撐連接柱6為不銹鋼材質(zhì)。
[0015]為了在高溫條件下工作，本裝置的主要部件材質(zhì)均為不銹鋼。
[0016]該裝置工作前，先把壓縮干燥空氣⑶A氣管4連接壓縮干燥空氣⑶A氣源，吸氣管5連接吸塵器。工作時(shí)把該裝置放入沉積爐內(nèi)部，該裝置依靠支撐滑動(dòng)輪3在沉積爐內(nèi)部移動(dòng)，進(jìn)行沉積爐不同區(qū)域內(nèi)硅粉的清理。沉積爐內(nèi)部表面的硅粉由吹氣孔2吹入的壓縮干燥空氣CDA的作用下漂浮或被揚(yáng)起，然后在吸塵器產(chǎn)生的吸力作用下，由吸氣口 I進(jìn)入吸氣管5，最終被吸塵器清理掉。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種薄膜電池沉積爐硅粉清潔裝置，包括吸塵罩(7)，吸塵罩(7)經(jīng)吸氣管(5)連接吸塵器，其特征在于，所述吸塵罩(7)內(nèi)設(shè)有支撐連接柱(6)，支撐連接柱(6)下端連接吹氣罩(8)，吹氣罩(8)底部設(shè)有若干個(gè)吹氣孔(2)，吹氣罩(8)經(jīng)壓縮干燥空氣⑶A氣管(4)連接壓縮干燥空氣CDA氣源，所述吹氣罩(8)底部設(shè)有支撐滑動(dòng)輪(3)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種薄膜電池沉積爐硅粉清潔裝置，其特征在于，所述吸塵罩(7)、吹氣罩(8)為半球形，吸塵罩(7)與吹氣罩(8)之間空腔為吸氣口(I)，所述若干個(gè)吹氣孔(2)為環(huán)形布置。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種薄膜電池沉積爐硅粉清潔裝置，其特征在于，所述吸塵罩(7)、吹氣罩(8)、支撐滑動(dòng)輪(3)、壓縮干燥空氣⑶A氣管(4)、吸氣管(5)、支撐連接柱(6)為不銹鋼材質(zhì)。
【文檔編號(hào)】B08B15/04GK205650575SQ201620402878
【公開(kāi)日】2016年10月19日
【申請(qǐng)日】2016年5月6日 公開(kāi)號(hào)201620402878.2, CN 201620402878, CN 205650575 U, CN 205650575U, CN-U-205650575, CN201620402878, CN201620402878.2, CN205650575 U, CN205650575U
【發(fā)明人】魏小濤, 王宏杰, 周志虎
【申請(qǐng)人】江西共青城漢能薄膜太陽(yáng)能有限公司