專利名稱:一種涂膠裝置的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種涂膠裝置，包括點(diǎn)膠針筒、用于承載硅片的吸盤、用于驅(qū)動(dòng)該吸盤旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)電機(jī)、為吸盤提供吸力的抽氣設(shè)備、凈化工作腔、送氣風(fēng)機(jī)和抽氣風(fēng)機(jī)，凈化工作腔左右端板開設(shè)氣孔，凈化工作腔的左側(cè)端板外設(shè)置有散流罩，送氣風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口經(jīng)過空氣過濾器連接散流罩的進(jìn)氣口，凈化工作腔的右側(cè)端板外設(shè)置有集風(fēng)罩，集風(fēng)罩的出氣口連接抽氣風(fēng)機(jī)的進(jìn)氣口，點(diǎn)膠針筒固定在凈化工作腔的頂部，吸盤設(shè)置于凈化工作腔內(nèi)且位于點(diǎn)膠針筒的正下方。本實(shí)用新型將涂膠放置于凈化工作腔內(nèi)進(jìn)行，不會(huì)污染操作環(huán)境，保護(hù)人員健康；凈化工作腔為涂膠過程提供了潔凈的環(huán)境，空氣中的灰塵不會(huì)污染涂覆的膠水；吸盤轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，膠水也不會(huì)甩到凈化工作腔外部。
【專利說明】
一種涂膠裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及一種涂膠裝置，特別適合用于微電子行業(yè)的涂膠工藝。
【背景技術(shù)】
[0002]微電子技術(shù)作為電子信息產(chǎn)業(yè)的核心技術(shù)之一，已經(jīng)成為現(xiàn)代電子信息技術(shù)，尤其是計(jì)算機(jī)和通訊技術(shù)發(fā)展的驅(qū)動(dòng)力。為了在新的科技革命中迎頭趕上西方發(fā)達(dá)國(guó)家，必須在微電子技術(shù)領(lǐng)域取得快速的發(fā)展。
[0003]涂膠是微電子行業(yè)十分常用的工藝步驟。目前現(xiàn)有的注膠設(shè)備要么結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)陋，自動(dòng)化程度低，工人勞動(dòng)強(qiáng)度大;要么結(jié)構(gòu)復(fù)雜，成本高昂，不利于推廣。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實(shí)用新型的目的在于，克服上述現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種涂膠裝置。
[0005]上述目的由下述技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn):本實(shí)用新型提供的涂膠裝置，包括點(diǎn)膠針筒、用于承載硅片的吸盤、用于驅(qū)動(dòng)該吸盤旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)電機(jī)和為吸盤提供吸力的抽氣設(shè)備，其特征在于:還包括凈化工作腔、送氣風(fēng)機(jī)和抽氣風(fēng)機(jī)，所述凈化工作腔左右端板開設(shè)氣孔，凈化工作腔的左側(cè)端板外設(shè)置有散流罩，送氣風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口經(jīng)過空氣過濾器連接散流罩的進(jìn)氣口，所述凈化工作腔的右側(cè)端板外設(shè)置有集風(fēng)罩，集風(fēng)罩的出氣口連接抽氣風(fēng)機(jī)的進(jìn)氣口，所述點(diǎn)膠針筒固定在凈化工作腔的頂部，吸盤設(shè)置于凈化工作腔內(nèi)且位于點(diǎn)膠針筒的正下方;吸盤的中軸線位置設(shè)有與抽氣設(shè)備相連的吸氣管，吸盤的吸氣管頂端周圍設(shè)置有環(huán)形儲(chǔ)膠槽，吸盤的吸氣管頂端至吸盤上表面的距離為2mm。
[0006]本實(shí)用新型還具有如下改進(jìn):
[0007]1、吸盤的橫截面呈W型，儲(chǔ)膠槽的深度為6mm，靠近吸氣管一側(cè)的儲(chǔ)膠槽內(nèi)壁與水平面的夾角為70°，遠(yuǎn)離吸氣管一側(cè)的儲(chǔ)膠槽內(nèi)壁與水平面的夾角為50°。
[0008]2、所述空氣過濾器為活性炭過濾器。
[0009]3、所述點(diǎn)膠針筒的針管下端設(shè)有單向閥。
[0010]4、所述單向閥為薄膜單向閥。
[0011]本實(shí)用新型將涂膠放置于凈化工作腔內(nèi)進(jìn)行，不會(huì)污染操作環(huán)境，保護(hù)人員健康；凈化工作腔為涂膠過程提供了潔凈的環(huán)境，空氣中的灰塵不會(huì)污染涂覆的膠水;吸盤轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，膠水也不會(huì)甩到凈化工作腔外部。此外，本實(shí)用新型對(duì)吸盤的尺寸進(jìn)行了改進(jìn)，使其對(duì)硅片具有更好的吸附力。
[0012]本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、設(shè)計(jì)巧妙，使用方便，且易于維護(hù)。本裝置的生產(chǎn)成本低，功能可滿足實(shí)際生產(chǎn)需要，適于在微電子行業(yè)廣泛運(yùn)用。
【附圖說明】

[0013]圖1是本實(shí)用新型涂膠裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]圖中標(biāo)號(hào)示意如下:
[0015]1-凈化工作腔;2-散流罩;3-集風(fēng)罩;4-送氣風(fēng)機(jī);5-抽氣風(fēng)機(jī);6_空氣過濾器;7_抽氣設(shè)備;8-吸盤;9-驅(qū)動(dòng)電機(jī);I O-點(diǎn)膠針筒;11-單向閥；12-硅片。
【具體實(shí)施方式】
[0016]如圖1所述，本實(shí)施例涂膠裝置，包括點(diǎn)膠針筒10、用于承載硅片12的吸盤8、用于驅(qū)動(dòng)該吸盤8旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)電機(jī)9和為吸盤8提供吸力的抽氣設(shè)備7，凈化工作腔1、送氣風(fēng)機(jī)4和抽氣風(fēng)機(jī)5，點(diǎn)膠針筒10的針管下端設(shè)有單向閥11(選用薄膜單向閥)，凈化工作腔I左右端板開設(shè)氣孔，凈化工作腔I的左側(cè)端板外設(shè)置有散流罩2，送氣風(fēng)機(jī)4的出風(fēng)口經(jīng)過空氣過濾器6(本例中，空氣過濾器6選用活性炭過濾器)連接散流罩2的進(jìn)氣口，所述凈化工作腔I的右側(cè)端板外設(shè)置有集風(fēng)罩3，集風(fēng)罩3的出氣口連接抽氣風(fēng)機(jī)5的進(jìn)氣口，所述點(diǎn)膠針筒固定在凈化工作腔I的頂部，吸盤8設(shè)置于凈化工作腔I內(nèi)且位于點(diǎn)膠針筒的正下方;吸盤8的中軸線位置設(shè)有與抽氣設(shè)備7相連的吸氣管，吸盤8的吸氣管頂端周圍設(shè)置有環(huán)形儲(chǔ)膠槽，吸盤8的吸氣管頂端至吸盤8上表面的距離為2mm。如圖1所示，吸盤8的橫截面呈W型，儲(chǔ)膠槽的深度為6mm，靠近吸氣管一側(cè)的儲(chǔ)膠槽內(nèi)壁與水平面的夾角為70°，遠(yuǎn)離吸氣管一側(cè)的儲(chǔ)膠槽內(nèi)壁與水平面的夾角為50°。
[0017]吸盤帶動(dòng)硅片旋轉(zhuǎn)，從點(diǎn)膠針筒滴下的膠水在離心力的作用下向外移動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)自動(dòng)勻膠，由于硅片的親水性，甩至硅片邊緣的膠水容易流到吸盤的背面，并且因重力作用向中間聚攏。環(huán)形儲(chǔ)膠槽能夠有效阻擋該部分膠水流入吸氣管，從而確保勻膠機(jī)的正常運(yùn)轉(zhuǎn)，提高勻膠效率。
[0018]除上述實(shí)施例外，本實(shí)用新型還可以有其他實(shí)施方式。凡采用等同替換或等效變換形成的技術(shù)方案，均落在本實(shí)用新型要求的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種涂膠裝置，包括點(diǎn)膠針筒、用于承載硅片的吸盤、用于驅(qū)動(dòng)該吸盤旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)電機(jī)和為吸盤提供吸力的抽氣設(shè)備，其特征在于:還包括凈化工作腔、送氣風(fēng)機(jī)和抽氣風(fēng)機(jī)，所述凈化工作腔左右端板開設(shè)氣孔，凈化工作腔的左側(cè)端板外設(shè)置有散流罩，送氣風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口經(jīng)過空氣過濾器連接散流罩的進(jìn)氣口，所述凈化工作腔的右側(cè)端板外設(shè)置有集風(fēng)罩，集風(fēng)罩的出氣口連接抽氣風(fēng)機(jī)的進(jìn)氣口，所述點(diǎn)膠針筒固定在凈化工作腔的頂部，吸盤設(shè)置于凈化工作腔內(nèi)且位于點(diǎn)膠針筒的正下方;吸盤的中軸線位置設(shè)有與抽氣設(shè)備相連的吸氣管，吸盤的吸氣管頂端周圍設(shè)置有環(huán)形儲(chǔ)膠槽，吸盤的吸氣管頂端至吸盤上表面的距離為2_;所述空氣過濾器為活性炭過濾器。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂膠裝置，其特征在于:吸盤的橫截面呈W型，儲(chǔ)膠槽的深度為6mm，靠近吸氣管一側(cè)的儲(chǔ)膠槽內(nèi)壁與水平面的夾角為70°，遠(yuǎn)離吸氣管一側(cè)的儲(chǔ)膠槽內(nèi)壁與水平面的夾角為50°。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂膠裝置，其特征在于:所述點(diǎn)膠針筒的針管下端設(shè)有單向閥。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的涂膠裝置，其特征在于:所述單向閥為薄膜單向閥。
【文檔編號(hào)】B05C5/02GK205701298SQ201620334960
【公開日】2016年11月23日
【申請(qǐng)日】2016年4月20日
【發(fā)明人】戴金姑
【申請(qǐng)人】戴金姑