專利名稱：空氣洗滌設備的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種空氣洗漆設備，特別涉及一種有效去除空氣中的不良氣體(如NH3、 SOx、 NDX)，借以使空氣達到符合無塵室要求的純凈度的空 氣洗滌設備。
背景技術：
在芯片的制造過程中，不但需要精確地控制溫度、濕度，而且需要達到 無塵標準以及避免受到化學物質(zhì)干擾，那么要達到無塵潔凈的標準，就需要 對空氣質(zhì)量進行控制。所以，無塵室中設有專用的空調(diào)設備，不但要除去空氣中不良的氣體， 同時，還需要提供適當?shù)臐穸?，以防止因空氣太干燥而產(chǎn)生靜電感應，也需 要同時提供適當?shù)臏囟?，以符合生產(chǎn)所需的條件。請參閱圖l所示，為現(xiàn)有的一種空調(diào)箱的水洗及加濕設備，其在一回收 底座18a的兩個相對側(cè)邊分別連結(jié)有空調(diào)箱10a、 lla及冷卻盤管12a，并在 該回收底座18a上方設置一過濾板13a、兩個噴嘴裝置14a、 15a及一擋水簾 16a。該回收底座18a設有進水口 181a及出水口 182a，該進水口 181a提供 補給水的流進，該出水口 182a提供循環(huán)液體的流出，且該回收底座18a與兩 個噴水裝置14a、 15a之間連接有循環(huán)管線17a,該循環(huán)管線17a利用一泵19a 使補給水循環(huán)，所述噴水裝置14a、 15a及該過濾板13a用以進行空氣洗滌及 臟污的過濾與攔截，該擋水簾16a用以阻擋噴出的循環(huán)液體，以便能使循環(huán) 液體再流入該回收底座18a，借以形成該循環(huán)液體的循環(huán)。然而，為維持循環(huán)液體的純凈度，補給水必須持續(xù)地由進水口 181a進 水，且直接由出水口 182a排出。因此，補給水的使用量就會相對增加，而 且所使用的補給水為昂貴的DI (去離子；De-ionized)水，造成經(jīng)濟損失及 資源浪費，增加運行成本。所以，公知的空調(diào)箱的水洗及加濕設備在實際使用中仍然有期待改善的
問題。 發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的主要目的，在于提供一種空氣洗滌設備，用以降低補給水(去 離子水)的使用量，且可以達到較佳的空氣洗滌的效果，使無塵室中的空氣 質(zhì)量符合標準。為實現(xiàn)上述的目的，本發(fā)明提供一種空氣洗滌設備，包括 一第一回收 底座； 一第二回收底座，位于該第一回收底座的上游； 一補給水裝置，連接 于該第二回收底座； 一用以進行空氣洗滌的第一噴水裝置，設置于該第一回 收底座上方； 一用以進行空氣洗滌的第二噴水裝置，設置于該第二回收底座 上方； 一第一循環(huán)管線，連接于該第一回收底座與該第一噴水裝置之間；一 第二循環(huán)管線，連接于該第二回收底座與該第二噴水裝置之間； 一用以使水 由該第一回收底座流向該第一噴水裝置的第一泵，設置于該第一循環(huán)管線 上； 一用以使水由該第二回收底座流向該第二噴水裝置的第二泵，設置于該 第二循環(huán)管線上； 一用以過濾空氣及擋水的第一過濾板，設置于該第一回收 底座上方，并位于該第一噴水裝置的噴嘴的前方； 一用以過濾空氣及擋水的 第二過濾板，設置于該第一回收底座上方，并位于該第一過濾板與該第二噴 7K裝置之間，使水循環(huán)流入該第一回收底座；以及一用以過濾空氣及擋水的 第三過濾板，設置于該第二回收底座上方，并位于該第二噴水裝置的噴嘴的 后方，使水循環(huán)流入該第二回收底座。本發(fā)明還提供一種空氣洗滌設備，包括 一第一回收底座； 一第二回收 底座，位于該第一回收底座的上游； 一補給水裝置，與該第二回收底座連接; 一用以進行空氣洗滌的第一噴水裝置，設置于該第一回收底座上方； 一用以 進行空氣洗滌的第二噴水裝置，設置于該第二回收底座上方； 一第一循環(huán)管 線，連接于該第一回收底座與該第一噴水裝置之間； 一第二循環(huán)管線，連接 于該第二回收底座與該第二噴水裝置之間； 一用以使水由該第一回收底座流 向該第一噴水裝置的第一泵，設置于該第一循環(huán)管線上； 一用以使水由該第 二回收底座流向該第二噴水裝置的第二泵，設置于該第二循環(huán)管線上； 一用 以過濾空氣及擋水的第一過濾板，設置于該第^回收底座上方，并位于該第 一噴水裝置的噴嘴的前方； 一用以過濾空氣及擋水的第二過濾板，設置于該
第二回收底座上方，并位于該第一過濾板與該第二噴水裝置之間，使水循環(huán) 流入該第二回收底座，防止該第二回收底座的補給水過量的流至該第一回收底座；以及一用以過濾空氣及擋水的第三過濾板，設置于該第二回收底座上 方，并位于該第二噴水裝置的噴嘴的后方，使水循環(huán)流入該第二回收底座。本發(fā)明提供一種空氣洗滌設備，包括至少兩個回收底座，其中一回收底座位于上游，另一回收底座位于下游，下游的回收底座的補給水流自上游的回收底座； 一補給水裝置，與最上游的回收底座連接；至少兩個噴水裝置， 分別相對設置于所對應的所述的至少兩個回收底座上方；至少兩個泵，分別 連接每一回收底座與相對應的每一噴水裝置；以及多個過濾板，設置于所述 至少兩個回收底座上方；其中至少兩個過濾板設置于下游的回收底座上方， 并位于所述至少兩個噴水裝置之間；其中至少一個過濾板設置于最上游的回 收底座上方，并位于最上游的噴水裝置的噴嘴的后方。在優(yōu)選實施例中，該補水裝置優(yōu)選是一可調(diào)節(jié)式補給水裝置。 在優(yōu)選實施例中，所述至少兩個過濾板之一優(yōu)選是平面蜂巢板。 在優(yōu)選實施例中，所述至少兩個過濾板之一優(yōu)選是多個V狀排列的蜂巢板。本發(fā)明所提供的空氣洗滌設備，具有如下述優(yōu)點1、 具有多階段的空氣洗滌過程，更有效地去除空氣中的不良氣體，使 空氣達到高標準的純凈度。2、 具有多階段的水循環(huán)模式，更有效地降低補給水的使用量，進一步 降低整體運行的成本。3、 利用最干凈的補給水作為空氣下游側(cè)的出口洗滌，以及利用回收底 座內(nèi)的已使用過的較臟的循環(huán)水作為空氣上游側(cè)的入口洗滌，如此有效地利 用補給水，達到了最佳的洗漆效果以及省水需求。


圖1為現(xiàn)有的一種空氣洗滌設備。圖2為本發(fā)明的空氣洗滌設備的第一實施例的立體分解圖。 圖2A為本發(fā)明的空氣洗滌設備的第一實施例的俯視圖。 圖3為本發(fā)明的空氣洗滌設備的第二實施例的俯視圖。
圖4為本發(fā)明的空氣洗滌設備的第三實施例的立體分解圖。 圖5為本發(fā)明的空氣洗滌設備的第四實施例的立體分解圖。 其中，附圖標記說明如下 現(xiàn)有技術10a、lla、空調(diào)箱17a、循環(huán)管線12a、冷卻盤管18a、回收底座13a、過濾板181a、進水口14a、15a、噴嘴裝置182a、出水口16a、擋水簾19a、泵本發(fā)明-1、 第一回收底座2、 第二回收底座3、 第一噴水裝置 31、噴嘴4、 第二噴水裝置 41、噴嘴5、 第一循環(huán)管線6、 第二循環(huán)管線7、 第一泵8、 第二泵9、 第一過濾板10、 第二過濾板11、 第三過濾板12、 第五過濾板 131、進氣口16、 補給水裝置17、 溢流擋板18、 第三回收底座19、 第三噴水裝置20、 第三泵21、 第四過濾板具體實施方式
以下將參閱附圖，進一步闡述本發(fā)明的技術方案及效果，由此可更具體 地了解本發(fā)明的目的、特征與特點。然而所附的附圖僅供參考與說明用，并 非用來對本發(fā)明加以限制。請參閱圖2及圖2A所示，為本發(fā)明的空氣洗滌設備的第一實施例的立 體分解圖及俯視圖。該空氣洗滌設備，包括 一第一回收底座1、 一第二回 收底座2、 一補給水裝置16、 一第一噴水裝置3、 一第二噴水裝置4、 一第 一循環(huán)管線5、 一第二循環(huán)管線6、 一第一泵7、 一第二泵8、 一第一過濾板 9、 一第二過濾板10及一第三過濾板11。該第二回收底座2位于該第一回收底座1的上游，該第二回收底座2的 水位高于該第一回收底座1的水位。提供該第一回收底座1及該第二回收底 座2，可作階段性的水循環(huán)利用，用以降低補給水的使用量。該補給水裝置16為一可調(diào)節(jié)式補給水裝置，作為補給水供應源，可以 調(diào)節(jié)注入該第二回收底座2的水量。該補給水裝置16連接于該第二回收底 座2。因此，該第一回收底座l的補給水流自該第二回收底座2。該第一噴水裝置3設置于該第一回收底座1上方，該第一噴水裝置3具 有多個噴嘴31，用以噴出水來，好進行空氣洗滌，以便使空氣達到符合濕度 要求的干凈氣體，借以提供給無塵室使用。該第二噴水裝置4設置于該第二回收底座2上方，該第二噴水裝置4具 有多個噴嘴41,用以噴出水來，好進行空氣洗滌，以便使空氣達到符合濕度 要求的干凈氣體，借以提供給無塵室使用。該第一循環(huán)管線5連接于該第一回收底座1與該第一噴水裝置3之間。 該第二循環(huán)管線6連接于該第二回收底座2與該第二噴水裝置4之間。該第一泵7設置于該第一循環(huán)管線5上，用以使水由該第一回收底座1 流向該第一噴水裝置3。該第二泵8設置于該第二循環(huán)管線6上，用以使水由該第二回收底座2 流向該第二噴水裝置4。該第一過濾板9設置于該第一回收底座1上方，并位于該第一噴水裝置 3的噴嘴31的前方，用以過濾空氣中不良氣體，如NH3、 SOx、 NDx等，且 該第一過濾板9也能阻擋溶解有不良氣體的水。該第一過濾板9為平面蜂巢 板，如圖2A所示。該第二過濾板10設置于該第一回收底座1上方，并位于該第一過濾板9 與該第二噴水裝置4之間，不僅用以過濾空氣中的不良氣體，如NH3、 S0X、 NDx等，而且該第二過濾板10也能阻擋溶解有不良氣體的水，因此，該第 一噴水裝置3所噴出的水或該第二噴水裝置4所噴出的水可被阻擋于該第一 過濾板9或該第二過濾板10，使水循環(huán)流入該第一回收底座1。該第三過濾板11設置于該第二回收底座2上方，并位于該第二噴水裝
置4的噴嘴41的后方，用以進一步濾除空氣中殘留的不良氣體，且用以阻 擋溶解有不良氣體的水，使水循環(huán)流入該第二回收底座2，借此，空氣由下 游往上游依次經(jīng)過較臟的水及最干凈的水的循環(huán)洗滌，使得空氣凈化程度 高。因此，本發(fā)明不僅具有多階段的空氣洗滌過程，還具有多階段的水循環(huán) 模式。不但更有效地濾除空氣中的不良氣體，使空氣達到高標準的純凈度， 而且更有效地降低補給水的使用量，進一步降低整體運行的成本。上述空氣洗滌設備進一步包括一溢流擋板17，設置于該第一回收底座1 內(nèi)，用以減緩水流出該第一回收底座l。運行時，該補給水裝置16將水注滿于該第二回收底座2，使其溢流至該 第一回收底座1。待第一回收底座1位于滿水位時，啟動該第一泵7及該第 二泵8。當空氣經(jīng)由進氣口 131進入時，由該第一噴水裝置3的噴嘴31所噴 出的霧狀小水滴，結(jié)合空氣中的不良氣體，再經(jīng)由該第一過濾板9阻擋溶于 水中的不良氣體，并流入該第一回收底座1，完成第一階段的空氣洗滌過程 及水循環(huán)狀態(tài)。當空氣通過該第二過濾板10時，該第二噴水裝置4的噴嘴 41所噴出的水霧進一步凈化空氣，提高空氣質(zhì)量，直至部分殘留的不良氣體 溶于水中，并被分別阻擋于該第二過濾板10及該第三過濾板11，而分別流 入該第一回收底座1及該第二回收底座2，完成第二階段的空氣洗滌過程及 水循環(huán)狀態(tài)，借此，空氣由下游往上游依次經(jīng)過較臟的水及最干凈的水的循 環(huán)洗滌，使得空氣凈化程度提高。因此，本發(fā)明不僅具有多階段的空氣洗滌 過程，也具有多階段的水循環(huán)模式。不但更有效地濾除空氣中的不良氣體， 使空氣達到高標準的純凈度，而且更有效地降低補給水的使用量，進一步降 低整體運行的成本。在凈化過程中，我們必須控制該第二噴水裝置4的噴嘴41所噴出的水 量，使其小于該補給水裝置16提供給該第二回收底座2的水量，以避免該 第二回收底座2造成低水位現(xiàn)象。請參閱圖3，為本發(fā)明的空氣洗漆設備的第二實施例的俯視圖。在本實 施例中，僅將該第一過濾板9改為多個V狀排列的蜂巢板，其余結(jié)構皆如第 一實施例中所揭示，在此不再贅述。請參閱圖4，為本發(fā)明的空氣洗滌設備的第三實施例的立體分解圖。在 本實施例中，僅將該第二過濾板10改設置于該第二回收底座2的上方，以
防止過量的水流至該第一回收底座1內(nèi)，造成資源浪費。本實施例其余結(jié)構 皆如第一實施例中所揭示，在此不再贅述。請參閱圖5，為本發(fā)明的空氣洗滌設備的第四實施例的立體分解圖。在 本實施例中，加設一第三回收底座18、 一第三噴水裝置19、 一第三泵20及 一第四過濾板21。該第三回收底座18位于該第二回收底座2的上游。該第 三噴水裝置19設置于該第三回收底座18上方，該第三泵20用以使水由該 第三回收底座18流向該第三噴水裝置19。該第四過濾板21設置于該第三回 收底座18上方，并位于該第三噴水裝置19的噴水方向的后方。另外，在本實施例中，該第二回底座2上可以加設一第五過濾板12，使 其位于該第三過濾板11及該第二噴水裝置4之間，用以進一步去除殘留的 不良氣體，直至溶于水中，而流入該第二回收底座2。當空氣經(jīng)過該第三過濾板11時，該第三噴水裝置19所噴出的水進一步 去除空氣中不良的氣體，直至部分殘留的不良氣體溶于水中，并被分別阻擋 于該第三過濾板11及該第四過濾板21，而分別流入該第二回收底座2及該 第三回收底座3，完成第三階段的空氣洗滌過程及水循環(huán)狀態(tài)，借此，空氣 由下游往上游依次經(jīng)過較臟的水、次干凈的水及最干凈的水的循環(huán)洗滌，使 得空氣凈化程度提高。因此，本發(fā)明不僅具有多階段的空氣洗滌過程，也具 有多階段的水循環(huán)模式。不但更有效地濾除空氣中的不良氣體，使空氣達到 高標準的純凈度，而且更有效地降低補給水的使用量，進一步降低整體運行 的成本。以上所述，僅為本發(fā)明的具體實施例的詳細說明，并非用以限制本發(fā)明 的特征，本技術領域中的普通人員，可以根據(jù)本發(fā)明的技術思想做出等效的 修改或變化，但這些都應該屬于于本發(fā)明的范圍內(nèi)。
權利要求
1、一種空氣洗滌設備，其特征在于，包括一第一回收底座；一第二回收底座，位于該第一回收底座的上游；一補給水裝置，連接于該第二回收底座；一用以進行空氣洗滌的第一噴水裝置，設置于該第一回收底座上方；一用以進行空氣洗滌的第二噴水裝置，設置于該第二回收底座上方；一第一循環(huán)管線，連接于該第一回收底座與該第一噴水裝置之間；一第二循環(huán)管線，連接于該第二回收底座與該第二噴水裝置之間；一用以使水由該第一回收底座流向該第一噴水裝置的第一泵，設置于該第一循環(huán)管線上；一用以使水由該第二回收底座流向該第二噴水裝置的第二泵，設置于該第二循環(huán)管線上；一用以過濾空氣及擋水的第一過濾板，設置于該第一回收底座上方，并位于該第一噴水裝置的噴嘴的前方；一用以過濾空氣及擋水的第二過濾板，設置于該第一回收底座上方，并位于該第一過濾板與該第二噴水裝置之間，使水循環(huán)流入該第一回收底座；以及一用以過濾空氣及擋水的第三過濾板，設置于該第二回收底座上方，并位于該第二噴水裝置的噴嘴的后方，使水循環(huán)流入該第二回收底座。
2、 如權利要求1所述的空氣洗滌設備，其特征在于，該補給水裝置為 一可調(diào)節(jié)式的補給水裝置。
3、 如權利要求1所述的空氣洗滌設備，其特征在于，該第一過濾板為 平面蜂巢板或多個V狀排列的蜂巢板。
4、 一種空氣洗滌設備，其特征在于，包括-一第一回收底座；一第二回收底座，位于該第一回收底座的上游； 一補給水裝置，與該第二回收底座連接；一用以進行空氣洗滌的第一噴水裝置，設置于該第一回收底座上方； 一用以進行空氣洗滌的第二噴水裝置，設置于該第二回收底座上方； 一第一循環(huán)管線，連接于該第一回收底座與該第一噴水裝置之間； 一第二循環(huán)管線，連接于該第二回收底座與該第二噴水裝置之間； 一用以使水由該第一回收底座流向該第一噴水裝置的第一泵，設置于該 第一循環(huán)管線上；一用以使水由該第二回收底座流向該第二噴水裝置的第二泵，設置于該 第二循環(huán)管線上；一用以過濾空氣及擋水的第一過濾板，設置于該第一回收底座上方，并 位于該第一噴水裝置的噴嘴的前方；一用以過濾空氣及擋水的第二過濾板，設置于該第二回收底座上方，并 位于該第一過濾板與該第二噴水裝置之間，使水循環(huán)流入該第二回收底座， 防止該第二回收底座的補給水過量的流至該第一回收底座；以及一用以過濾空氣及擋水的第三過濾板，設置于該第二回收底座上方，并 位于該第二噴水裝置的噴嘴的后方，使水循環(huán)流入該第二回收底座。
5、 如權利要求4所述的空氣洗滌設備，其特征在于，該補水裝置為一 可調(diào)節(jié)式的補給水裝置。
6、 如權利要求4所述的空氣洗滌設備，其特征在于，該第一過濾板為 平面蜂巢板或多個V狀排列的蜂巢板。
7、 一種空氣洗滌設備，其特征在于，包括至少兩個回收底座，其中一回收底座位于上游，另一回收底座位于下游， 下游的回收底座的補給水流自上游的回收底座； 一補給水裝置，與最上游的回收底座連接；至少兩個噴水裝置，分別相對設置于所對應的至少兩個回收底座上方； 至少兩個泵，分別連接每一回收底座與相對應的每一噴水裝置；以及 多個過濾板，設置于所述的至少兩個回收底座上方； 其中至少兩個過濾板設置于下游的回收底座上方，并位于所述至少兩個 噴水裝置之間；其中至少一個過濾板設置于最上游的回收底座上方，并位于最上游的噴 水裝置的噴嘴的后方。
8、 如權利要求7所述的空氣洗滌設備，其特征在于，該補水裝置為一可調(diào)節(jié)式補給水裝置。
9、如權利要求7所述的空氣洗滌設備，其特征在于，所述至少兩個過 濾板之一為平面蜂巢板或數(shù)個V狀排列的蜂巢板。
全文摘要
一種空氣洗滌設備，包括至少兩個回收底座，分別位于上游及下游；一補給水裝置，與最上游的回收底座連接；至少兩個噴水裝置，相對設置于所對應的所述的至少兩個回收底座上方；至少兩個泵，分別連接每一回收底座與相對應的每一噴水裝置；及多個過濾板，設置于所述至少兩個回收底座上方；其中至少兩個過濾板設置于下游的回收底座上方，并位于所述至少兩個噴水裝置之間；其中至少一個過濾板設置于最上游的回收底座上方，并位于最上游的噴水裝置的噴嘴的后方。借此，空氣由下游往上游依次經(jīng)過較臟的水及最干凈的水的洗滌，不僅達到最佳的洗滌效果，更降低DI(De-ionized)水的使用量，達到降低運行成本的目的。
文檔編號B01D53/78GK101164663SQ20061013596
公開日2008年4月23日 申請日期2006年10月16日 優(yōu)先權日2006年10月16日
發(fā)明者楊政諭 申請人:亞翔工程股份有限公司