專利名稱：一種用于處理多種有害氣體混合產(chǎn)生的廢氣的系統(tǒng)和方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制程中的廢氣處理系統(tǒng)及方法，尤其涉及一種用于處理 多種有害氣體混合產(chǎn)生的廢氣的系統(tǒng)和方法。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體器件制造過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生大量的廢棄物，其中包括一些有毒有害物 質(zhì)，如含氟、含氯的化合物等。如果包含這些有毒有害物質(zhì)的廢氣或者廢液得 不到妥善處理，則會(huì)對(duì)晶圓制造廠及其周邊的環(huán)境造成巨大的影響。目前，主要采用濕式洗滌機(jī)(wet scrubber)來(lái)處理工藝產(chǎn)生的粉塵、結(jié)晶 物及一般廢氣，然而，當(dāng)廢棄物中混有含氟和/或含氯的氣體時(shí)，則濕式洗滌機(jī) 無(wú)法徹底清除這些有毒有害氣體。若要較為徹底地清除含氟或含氯的有害氣體， 一般可以采用以下兩種方法 1)采用超過(guò)1200攝氏度的高溫來(lái)分解含氟或含氯的化合物，但是釆用該方法對(duì) 能源消耗量很大，成本非常高；2)采用干式洗滌機(jī)，將有毒有害氣體通過(guò)干式 洗滌機(jī)中的吸附器(absorbent bed)，使氣體中的氟或氯與吸附器中的鈣或活性 炭等化學(xué)物質(zhì)反應(yīng)，以去除有毒成分，然而，當(dāng)廢氣中混雜著水汽時(shí)，在處理 過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生一些副產(chǎn)物，并堵塞吸附器，因此需要經(jīng)常更換吸附器，同樣會(huì) 增加廢氣處理成本。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提供一種用于處理多種有害氣體混合產(chǎn)生的廢氣的系統(tǒng) 和方法，以提高廢氣處理效率，降低處理成本，并延長(zhǎng)吸附器的使用壽命。為了達(dá)到上述的目的，本發(fā)明提供一種用于處理多種有害氣體混合產(chǎn)生的 廢氣的系統(tǒng)，包括用于處理工藝產(chǎn)生的粉塵、結(jié)晶物及一般廢氣的濕式洗滌機(jī) 和用于處理含氟或含氯的特殊廢氣成分的干式洗滌機(jī)，其中，所述的濕式洗滌機(jī)和千式洗滌機(jī)之間還包括氣液分離裝置，多種有害氣體混合產(chǎn)生的廢氣依次 經(jīng)過(guò)濕式洗滌機(jī)和氣液分離裝置后分離成液體和氣體，再使該分離出的氣體經(jīng) 過(guò)干式洗滌機(jī)處理并排出。在上述的用于處理多種有害氣體混合產(chǎn)生的廢氣的系統(tǒng)中，所述的干式洗 滌機(jī)中裝有吸附器，用于去除廢氣中氟或氯的成分。在上述的用于處理多種有害氣體混合產(chǎn)生的廢氣的系統(tǒng)中，經(jīng)氣液分離裝 置分離出來(lái)的液體被回收至濕式洗滌機(jī)重復(fù)利用。本發(fā)明的另一解決方案是提供一種用于處理多種有害氣體混合產(chǎn)生的廢氣的方法，所迷方法包括下列步驟a.使多種有害氣體混合產(chǎn)生的廢氣經(jīng)過(guò)濕式 洗滌機(jī)處理，去除廢氣中的有毒有害的粉塵、結(jié)晶物及一般廢氣；b.將步驟a 處理后的氣液混合物分離成液體和氣體；c.使步驟b分離出來(lái)的氣體通過(guò)干式 洗滌機(jī)處理后排出。本發(fā)明的系統(tǒng)和方法，通過(guò)將多種有害氣體混合產(chǎn)生的廢氣依次通過(guò)濕式 洗滌機(jī)和氣液分離裝置，使廢氣中的粉塵、結(jié)晶物及一般廢氣得到處理，并將 廢氣中的水汽分離出來(lái)，以保證進(jìn)入干式洗滌機(jī)的氣體中沒(méi)有混雜水汽，從而 防止反應(yīng)過(guò)程中產(chǎn)生的副產(chǎn)物堵塞吸附器，達(dá)到既能清除廢氣中的有毒有害成 分，又能延長(zhǎng)吸附器使用壽命的效果。


通過(guò)以下實(shí)施例并結(jié)合其附圖的描述，可以進(jìn)一步理解其發(fā)明的目的、具 體結(jié)構(gòu)特征和優(yōu)點(diǎn)。其中，附圖為圖1為本發(fā)明用于處理多種有害氣體混合產(chǎn)生的廢氣的系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)框圖； 圖2為本發(fā)明用于處理多種有害氣體混合產(chǎn)生的廢氣的方法的步驟流程圖。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的用于處理多種有害氣體混合產(chǎn)生的廢氣的系統(tǒng)和 方法作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。如圖1所示，本發(fā)明的用于處理多種有害氣體混合產(chǎn)生的廢氣的系統(tǒng)，主 要包括用于處理工藝產(chǎn)生的粉塵、結(jié)晶物及一般廢氣的濕式洗滌機(jī)l、氣液分離裝置2、以及用于處理含氟或含氯的特殊廢氣成分的干式洗滌機(jī)3。多種有害氣 體混合產(chǎn)生的廢氣依次經(jīng)過(guò)濕式洗滌機(jī)1和氣液分離裝置2后分離成液體和氣 體，該液體可被回收至濕式洗滌機(jī)1重復(fù)利用，或者直接排出，而該分離出的 氣體則需經(jīng)過(guò)千式洗滌沖幾3，利用干式洗滌機(jī)3內(nèi)的吸附器(未圖示)將氣體內(nèi) 的氟、氯成分清除后再排出。請(qǐng)參閱圖2，本發(fā)明用于處理多種有害氣體混合產(chǎn)生的廢氣的方法首先執(zhí)行 步驟SIO，使多種有害氣體混合產(chǎn)生的廢氣經(jīng)過(guò)濕式洗滌機(jī)處理，去除廢氣中的 的粉塵、結(jié)晶物及一般廢氣。接著，執(zhí)行步驟S20，將上述處理后的氣液混合物分離成液體和氣體。由于 液體已經(jīng)過(guò)濕式洗滌機(jī)處理得到凈化，因此可直接回收利用或者向外排出。最后，執(zhí)行步驟S30,使分離出來(lái)的含氟或氯的氣體通過(guò)干式洗滌機(jī)處理， 清除氣體中的氟、氯成分后排出。由于進(jìn)入干式洗滌機(jī)的氣體中不包含水汽， 因此不容易出現(xiàn)副產(chǎn)物堵塞干式洗滌機(jī)中的吸附器的情況，可有效延長(zhǎng)吸附器 的使用壽命。綜上所述，采用本發(fā)明的系統(tǒng)和方法可大大提高晶圓制造廠的廢氣處理效 率，減少吸附器的更換次數(shù)，并降低處理成本。
權(quán)利要求
1. 一種用于處理多種有害氣體混合產(chǎn)生的廢氣的系統(tǒng)，包括用于處理工藝產(chǎn)生的粉塵、結(jié)晶物及一般廢氣的濕式洗滌機(jī)和用于處理含氟或含氯的特殊廢氣成分的干式洗滌機(jī)，其特征在于所述的濕式洗滌機(jī)和干式洗滌機(jī)之間還包括氣液分離裝置，多種有害氣體混合產(chǎn)生的廢氣依次經(jīng)過(guò)濕式洗滌機(jī)和氣液分離裝置后分離成液體和氣體，再使該分離出的氣體經(jīng)過(guò)干式洗滌機(jī)處理并排出。
2、 如權(quán)利要求1所述的用于處理多種有害氣體混合產(chǎn)生的廢氣的系統(tǒng)，其 特征在于所述的干式洗滌機(jī)中裝有吸附器，用于去除廢氣中氟或氯的成分。
3、 如權(quán)利要求1所述的用于處理多種有害氣體混合產(chǎn)生的廢氣的系統(tǒng)，其 特征在于經(jīng)氣液分離裝置分離出來(lái)的液體被回收至濕式洗滌機(jī)重復(fù)利用。
4、 一種用于處理多種有害氣體混合產(chǎn)生的廢氣的方法，其特征在于，所述 方法包括下列步驟a. 使多種有害氣體混合產(chǎn)生的廢氣經(jīng)過(guò)濕式洗滌^L處理，去除廢氣中的有 毒有害的粉塵、結(jié)晶物及一般廢氣；b. 將步驟a處理后的氣液混合物分離成液體和氣體；c. 使步驟b分離出來(lái)的氣體通過(guò)干式洗滌機(jī)處理后排出。
5、 如權(quán)利要求4所述的用于處理多種有害氣體混合產(chǎn)生的廢氣的方法，其 特征在于步驟b中分離出來(lái)的液體^L回收至濕式洗滌^L重復(fù)利用。
6、 如權(quán)利要求4所述的用于處理多種有害氣體混合產(chǎn)生的廢氣的方法，其 特征在于所述的干式洗滌機(jī)中裝有吸附器，用于去除廢氣中氟或氯的成分。
全文摘要
本發(fā)明提供一種用于處理多種有害氣體混合產(chǎn)生的廢氣的系統(tǒng)和方法，涉及半導(dǎo)體制程中的廢氣處理。現(xiàn)有的工藝廢氣處理方法存在成本高、處理效率低、無(wú)法徹底清除含氟/氯氣體，需經(jīng)常更換吸附器等問(wèn)題。本發(fā)明的用于處理多種有害氣體混合產(chǎn)生的廢氣的系統(tǒng)，包括用于處理工藝產(chǎn)生的粉塵、結(jié)晶物及一般廢氣的濕式洗滌機(jī)和用于處理含氟或氯的特殊廢氣成分的干式洗滌機(jī)，該濕式和干式洗滌機(jī)之間還包括氣液分離裝置，多種有害氣體混合產(chǎn)生的廢氣依次經(jīng)過(guò)濕式洗滌機(jī)和氣液分離裝置后分離成液體和氣體，再使含氟或氯的特殊氣體經(jīng)過(guò)干式洗滌機(jī)處理并排出。采用本發(fā)明能清除廢氣中的有毒有害成分，提高廢氣處理效率，減少吸附器的更換次數(shù)，降低處理成本。
文檔編號(hào)B01D53/74GK101269296SQ200710038220
公開(kāi)日2008年9月24日 申請(qǐng)日期2007年3月20日 優(yōu)先權(quán)日2007年3月20日
發(fā)明者李雨庭 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司