專利名稱：：揮發(fā)性有機(jī)廢氣濃縮轉(zhuǎn)輪在線高溫活化的再生裝置及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明屬于關(guān)于一種濃縮轉(zhuǎn)輪高溫活化的再生裝置及方法，尤其是關(guān)于一種處理揮發(fā)性有機(jī)廢氣的濃縮轉(zhuǎn)輪在線高溫活化再生裝置及方法。
背景技術(shù)：
：在本發(fā)明提出之前，國際間對于環(huán)保議題及工業(yè)安全衛(wèi)生日益重視，考慮工業(yè)廢氣對環(huán)境及勞工以至于一般大眾身體產(chǎn)生的危害，對于工業(yè)廢氣排放標(biāo)準(zhǔn)日趨嚴(yán)格，國內(nèi)外法規(guī)都制定出濃度及臭味的排放標(biāo)準(zhǔn)。工業(yè)廢氣中對于揮發(fā)性有機(jī)氣體的處理，在高濃度時(shí)多采用冷凝法收集，而在低濃度且大風(fēng)量時(shí)則以物理吸附方式濃縮處理后，再送往d、型焚化爐燃燒或以冷凝裝置回收較為經(jīng)濟(jì)有效。以半導(dǎo)體業(yè)晶圓廠產(chǎn)生的有機(jī)廢氣成分為例，常含有如二曱基二硫醇(DimethylSulfoxide)、N-曱基吡咯酮(N-MethylPyrolidone)、乙醇銨(2-Aminoethano1)、二曱基二硫醇(DithiolethyleneGlycol)、二曱基硫醇(DimethylSulfide)、異丙醇(IsopropylAlcohol)、丙酮(Acetone)等化合物，以沸石轉(zhuǎn)輪吸附濃縮廢氣后，再以焚化爐于攝氏600~卯0度以上之溫度燃燒，分解這些揮發(fā)性有機(jī)物質(zhì)以及臭氣和毒氣最有效。目前以吸附濃縮沸石轉(zhuǎn)輪處理加上燃燒焚化的方式，進(jìn)行揮發(fā)性有機(jī)氣體的廢氣排放處理，已在半導(dǎo)體及光電業(yè)界廣為采用。工業(yè)上常以吸附濃縮沸石轉(zhuǎn)輪焚化系統(tǒng)處理揮發(fā)性有機(jī)廢氣，其處理效率可穩(wěn)定達(dá)到符合揮發(fā)性有機(jī)廢氣(volatileorganiccompounds,VOCs)排放標(biāo)準(zhǔn)。然而，吸附濃縮沸石轉(zhuǎn)輪最大的處理問題為廢氣中含多量高沸點(diǎn)物質(zhì)、聚合物質(zhì)、脫附熱能量不足無法有效脫附出、或廢氣中混排其它粒狀污染物，所導(dǎo)致整體處理效率下降。光電業(yè)制程及使用的物料與半導(dǎo)體相近，但在含.高沸點(diǎn)VOCs去光阻劑的使用量上遠(yuǎn)高于半導(dǎo)體業(yè)，故使得其排放廢氣組成中的高沸點(diǎn)VOCs較多；同時(shí)這類高沸點(diǎn)物質(zhì)中，也同時(shí)是聚合物者占大多數(shù)。這類高沸點(diǎn)VOCs雖容易吸附于沸石轉(zhuǎn)輪上，但由于系統(tǒng)設(shè)計(jì)的安全考慮，使得脫附高沸點(diǎn)VOCs溫度不足，所以往往造成脫附不易，日久后高沸點(diǎn)VOCs將蓄積其上、占據(jù)吸附位置，影響系統(tǒng)整體效能，故成為部份光電業(yè)應(yīng)用沸石吸附濃縮焚化系統(tǒng)效能不明顯的原因；而以往也有廠家欲以提高脫附溫度、以增加高沸點(diǎn)物質(zhì)脫附效率，但這項(xiàng)操作措施容易造成系統(tǒng)跳機(jī)、形成無通風(fēng)的密閉狀態(tài)，若無緊急處理程序如灑水、噴入冷卻氮?dú)獾?，如此將造成沸石吸附轉(zhuǎn)輪組合處產(chǎn)生悶熱狀態(tài)，嚴(yán)重也使得其局部溫度異常突升、讓沸石轉(zhuǎn)輪產(chǎn)生結(jié)構(gòu)性的永久破壞。為防止沸石轉(zhuǎn)輪受到高沸點(diǎn)及(或)聚合物VOCs蓄積，占據(jù)沸石轉(zhuǎn)輪活性吸附位置導(dǎo)致系統(tǒng)效能不顯著等問題，沸石轉(zhuǎn)輪可都由高溫活化來解決上述問題。再生二種，線外活化再生例如于美國專利案4957721、日本公開特許62-282639及63-156542等所述，將其使用一段時(shí)間之沸石轉(zhuǎn)輪拆卸下來，在以更高溫度(通常為3001000°C)直接加熱或高溫氣體處理，使蓄積的.高沸點(diǎn)物質(zhì)因受到一定程度之溫度作用而斷鍵成為小分子，而被碳化或脫除。然而，沸石轉(zhuǎn)輪之拆卸程序繁雜，雖然可將蓄積之高沸點(diǎn)物質(zhì)有效分解脫除，但沸石轉(zhuǎn)輪拆卸過程容易造成轉(zhuǎn)輪結(jié)構(gòu)損壞及吸附劑孔洞結(jié)構(gòu)破壞，而失去吸附能力或因劣化粉碎而損失。在線活化再生例如日本公開昭63-232823、63-310636、英國專利案Brit.1546437及德國專利案Ger.Offen2419827等所述，其優(yōu)點(diǎn)是可連續(xù)操作，避免繁雜之拆卸程序，但此在線連續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)輪之活化再生往往無法有效將原蓄積的高沸點(diǎn)物質(zhì)移除，而影響吸附能力。因此，為改善長期使用之沸石轉(zhuǎn)輪因高沸點(diǎn)、聚合'物等VOCs占據(jù)吸附'劑活性吸附微孔洞而老化不易活化再生的缺點(diǎn)，如何不需拆卸沸石轉(zhuǎn)輪而可直接于在線使沸石轉(zhuǎn)輪迅速且有效活化再生成為相關(guān)業(yè)者所急迫有待尋求解決的方案以及改進(jìn)之處。
發(fā)明內(nèi)容為了改善上述公知技術(shù)所面臨的問題，本發(fā)明提供一種處理揮發(fā)性有機(jī)廢氣的濃縮轉(zhuǎn)輪在線高溫活化的再生裝置及方法。本發(fā)明的目的在于提供的再生裝置及方法可有效活化再生沸石轉(zhuǎn)輪增進(jìn)吸附濃縮沸石轉(zhuǎn)輪處理效率及節(jié)省維修成本與時(shí)間。詳而言之，本發(fā)明的第1個(gè)目的是提供一種處理揮發(fā)性有機(jī)廢氣的濃縮轉(zhuǎn)輪在線高溫活化的再生裝置，其至少包含(1)一轉(zhuǎn)輪，其用以吸附處理揮發(fā)性有機(jī)廢氣，且至少包含一再生脫附區(qū)及一吸附區(qū)；(2)—驅(qū)動(dòng)組件，其可控制該轉(zhuǎn)輪于一適當(dāng)時(shí)間間隔以步進(jìn)方式轉(zhuǎn)動(dòng)一適當(dāng)角度，并停留一適當(dāng)時(shí)間；(3)—熱源，其可加熱氣體至活化再生溫度；及.(4)一風(fēng)機(jī)，其可抽送該經(jīng)加熱氣體至轉(zhuǎn)輪的再生脫附區(qū)進(jìn)行活化再生。本發(fā)明的處理揮發(fā)性有機(jī)廢氣之濃縮轉(zhuǎn)輪在線高溫活化的再生裝置中，該熱源為循環(huán)式熱源或自源式熱源，該熱源可加熱風(fēng)機(jī)所提供的氣體，且使經(jīng)加熱的氣體達(dá)到轉(zhuǎn)輪的再生脫附區(qū)時(shí)的活化再生溫度約為15(TC至約450°C。此外，該循環(huán)式熱源可由焚化爐系統(tǒng)中的熱交換器提供，而使活化再生用氣體加熱至活化再生溫度。本發(fā)明處理揮發(fā)性有機(jī)廢氣的濃縮轉(zhuǎn)輪在線高溫活化的再生裝置中，該轉(zhuǎn)輪進(jìn)一步包含一冷卻區(qū)，該冷卻區(qū)可使再生裝置的溫度下降，避免吸附劑'孔洞結(jié)構(gòu)破壞，而失去吸附能力或因劣化賴、晬而損失。本發(fā)明處理揮發(fā)性有機(jī)廢氣的濃縮轉(zhuǎn)輪在線高溫活化的再生裝置中，該轉(zhuǎn)輪之厚度并無特別限制，通常依再生系統(tǒng)所處理的廢氣流量而定。厚度較小的轉(zhuǎn)輪雖在活化再生處理上較為快速，但其揮發(fā)性有機(jī)廢氣吸附處理面積較小，因此處理較不完全。反之，厚度較大的轉(zhuǎn)輪雖其揮發(fā)性有機(jī)廢氣吸附處理面積較大而處理較為完全，但在活化再生處理上較慢，且可能有活化再生不完全的擔(dān)憂。因此，較佳的轉(zhuǎn)輪厚度約為200mm至450mm。本發(fā)明另一目的是提供一種處理揮發(fā)性有機(jī)廢氣的濃縮轉(zhuǎn)輪在線高溫活化的再生方法，其包含下列步驟(1)提供一處理揮發(fā)性有機(jī)廢氣的濃縮轉(zhuǎn)輪在線高溫活化的再生裝置，該裝置至少包含一轉(zhuǎn)輪、一驅(qū)動(dòng)組件、一熱源及一風(fēng)機(jī)，而該轉(zhuǎn)輪至少包含一再生脫附區(qū)及一吸附區(qū)；(2)使用該驅(qū)動(dòng)組件控制該轉(zhuǎn)輪于一適當(dāng)時(shí)間間隔以步進(jìn)方式轉(zhuǎn)動(dòng)一適當(dāng)角度，而進(jìn)入再生脫附區(qū)，并停留一適當(dāng)時(shí)間；(3)以該風(fēng)機(jī)抽送氣體通過該熱源，氣體經(jīng)該熱源加熱后送至轉(zhuǎn)輪再生脫附區(qū)時(shí)可達(dá)活化再生溫度，并進(jìn)行該再生脫附區(qū)之活化再生；及(4)重復(fù)步驟(2)及(3)直至轉(zhuǎn)輪整體活化再生完成。本發(fā)明處理揮發(fā)性有機(jī)廢氣的濃縮轉(zhuǎn)輪在線高溫活化的再生方法中，該熱源為循環(huán)式熱源或自源式熱源，且該熱源可使氣體達(dá)到轉(zhuǎn)輪的再生脫附區(qū)時(shí)的活化再生溫度約為150。C至約450°C。此外，該循環(huán)式熱源可由焚化爐系統(tǒng)中的熱交換器提供，而使活化再生用氣體加熱至活化再生溫度。本發(fā)明在處理揮發(fā)性有機(jī)廢氣的濃縮轉(zhuǎn)輪在線高溫活化的再生方法中，該轉(zhuǎn)輪進(jìn)一步包含一冷卻區(qū)，即轉(zhuǎn)輪于再生脫附區(qū)活化再生后進(jìn)入冷卻區(qū)，而由風(fēng)機(jī)抽送的氣體在以熱源加熱前先經(jīng)過該冷卻區(qū)，因此，由再生脫附區(qū)洞結(jié)構(gòu)破壞、失去吸附能力或因劣化粉碎而損失。本發(fā)明在處理揮發(fā)性有機(jī)廢氣的濃縮轉(zhuǎn)輪在線高溫活化的再生方法中，該轉(zhuǎn)輪的厚度并無特別限制，通常按系統(tǒng)所處理的廢氣流量而定。厚度較小的轉(zhuǎn)輪雖在活化再生處理上較為快速，但其揮發(fā)性有機(jī)廢氣處理面積較小，處理較不完全。反之，厚度較大的轉(zhuǎn)輪在揮發(fā)性有機(jī)廢氣處理面積較大而處理較為完全，但其活化再生處理較慢，且可能有活化再生不完全的擔(dān)憂。因此，較佳的轉(zhuǎn)輪厚度約為200mm至450mm。本發(fā)明在處理揮發(fā)性有機(jī)廢氣的濃縮轉(zhuǎn)輪在線高溫活化的再生方法及'裝置中，轉(zhuǎn)輪持續(xù)高溫加熱之活化再生時(shí)間并無特別限制，其據(jù)系統(tǒng)中所使用的轉(zhuǎn)輪厚度而變化，通常約為IO分鐘至約120分鐘，較佳約為30分鐘，更佳約為60分鐘。本發(fā)明在處理揮發(fā)性有機(jī)廢氣的濃縮轉(zhuǎn)輪在線高溫活化的再生方法中，該轉(zhuǎn)輪的步進(jìn)轉(zhuǎn)動(dòng)間隔角度并無特別限制，通常按系統(tǒng)結(jié)構(gòu)、轉(zhuǎn)輪厚度、活化再生的氣流溫度及流速等因素而定，較佳約為10°至約90°。本發(fā)明與公知技術(shù)相比較，充分顯示了其卓越的優(yōu)越性，在高溫活化再生前及高溫活化再生后的轉(zhuǎn)輪樣品與新轉(zhuǎn)輪樣品比較下，使用過之蜂巢狀沸石轉(zhuǎn)輪樣品于高溫活化再生后之比表面積(BET)可達(dá)到約86%,因此本發(fā)明的再生裝置及方法可達(dá)到良好之再生活化再生效果。同時(shí)，提供的再生裝置及方法可有效活化再生沸石轉(zhuǎn)輪增進(jìn)吸附濃縮沸石轉(zhuǎn)輪處理效率及節(jié)省維修成本與時(shí)間。附圖1為公知揮發(fā)性有機(jī)廢氣凈化裝置的示意圖。附圖2為本發(fā)明處理揮發(fā)性有機(jī)廢氣之濃縮轉(zhuǎn)輪在線高溫活化之再生裝置示意圖。附圖3為本發(fā)明處理揮發(fā)性有機(jī)廢氣之濃縮轉(zhuǎn)輪在線高溫活化之再生方法較佳實(shí)施例示意圖。附圖4為本發(fā)明的再生裝置及方法于蜂巢狀沸石轉(zhuǎn)輪之活化再生效果。在上述附圖中的圖號11第一風(fēng)機(jī)、21第二風(fēng)機(jī)、211變頻器、31、32濃縮轉(zhuǎn)輪、33驅(qū)動(dòng)組件、311、321吸附區(qū)、312、322再生脫附區(qū)、323冷卻區(qū)、41旁通風(fēng)管、42進(jìn)氣口、54自動(dòng)風(fēng)門、61、62鼓風(fēng)機(jī)、73第一熱交換器、74第二熱交換器、75熱源、76、7781、8291、93、93熱交換器、焚化爐、煙自具體實(shí)施方式本發(fā)明以下列實(shí)施例進(jìn)一步說明，唯該實(shí)施例不應(yīng)限制本發(fā)明之范疇，熟悉此項(xiàng)技術(shù)者于不背離本發(fā)明的范疇及精神下進(jìn)行合理的變化。.實(shí)施例1附圖1為公知揮發(fā)性有機(jī)廢氣凈化裝置的示意圖。如圖所示，一般處理揮發(fā)性有機(jī)廢氣的方法如下所述，當(dāng)加載上述裝置后，揮發(fā)性有機(jī)廢氣經(jīng)由第一風(fēng)機(jī)11抽送至濃縮轉(zhuǎn)輪31，其包括有一吸附區(qū)311以及一再生脫附區(qū)312,導(dǎo)入的揮發(fā)性有機(jī)廢氣經(jīng)由該吸附區(qū)311中的吸附劑吸附，則經(jīng)吸附后的干凈氣流可經(jīng)由第二風(fēng)機(jī)21導(dǎo)入煙囪91排放。已吸附揮發(fā)性有機(jī)廢氣的吸附劑會被送至再生脫附區(qū)312。鼓風(fēng)機(jī)61抽送經(jīng)第一熱交換器73所加熱至再生溫度的氣流通過該再生脫附區(qū)312。因此，被吸附的揮發(fā)性有機(jī)物質(zhì)受熱脫附到氣流中，該氣流再被導(dǎo)引至第二熱交換器'74預(yù)熱，之后導(dǎo)入'一焚化爐81燃燒成水及二氧化碳為主的物質(zhì)，再經(jīng)由第二熱交換器74及第一熱交換器73后，由煙自92排放。附圖2為本發(fā)明處理揮發(fā)性有機(jī)廢氣的濃縮轉(zhuǎn)輪在線高溫活化的再生裝置示意圖。如圖所示，該裝置包含一轉(zhuǎn)輪32、一驅(qū)動(dòng)組件33及一熱源75，其中該轉(zhuǎn)輪32包含一吸附區(qū)321、一再生脫附區(qū)322及一冷卻區(qū)323。附圖3為本發(fā)明處理揮發(fā)性有機(jī)廢氣的濃縮轉(zhuǎn)輪在線高溫活化的再生方法較佳實(shí)施例示意圖。配合圖2、3，在將揮發(fā)性有機(jī)廢氣凈化系統(tǒng)載出后，進(jìn)行活化再生程序，即開啟鼓風(fēng)機(jī)62，此時(shí)干凈空氣會由進(jìn)氣口42進(jìn)入，通過轉(zhuǎn)輪32的冷卻區(qū)323后送至熱交換器76,熱交換器76將干凈空'氣加熱至所設(shè)定的活化再生溫度并輸送至再生脫附區(qū)322進(jìn)行轉(zhuǎn)輪的活化再生，活化再生一設(shè)定時(shí)間后，驅(qū)動(dòng)組件33可驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)輪一設(shè)定角度，使轉(zhuǎn)輪32已活化的部分進(jìn)入冷卻區(qū)323進(jìn)行冷卻，同時(shí)吸附區(qū)321中未活化再生的部分進(jìn)入再生脫附區(qū)322進(jìn)行活化再生。因此，它由驅(qū)動(dòng)組件33驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)輪32轉(zhuǎn)動(dòng)，使轉(zhuǎn)輪32以此步進(jìn)方式于一適當(dāng)時(shí)間間隔轉(zhuǎn)動(dòng)一適當(dāng)角度，并停留一適當(dāng)時(shí)間，即可完成轉(zhuǎn)輪整體的活化再生。實(shí)施例2為檢測本發(fā)明的再生裝置及方法的活化再生效果，進(jìn)行失活蜂巢狀沸石轉(zhuǎn)輪高溫活化再生效能實(shí)驗(yàn)。以活化再生前后的沸石轉(zhuǎn)輪樣品進(jìn)行BET微孔比表面積測試與新沸石轉(zhuǎn)輪樣本作比較。新轉(zhuǎn)輪樣品來源為日本西部技研公司，使用過的轉(zhuǎn)輪樣品來自某第五代TFT-LCD制造廠。本研究以MicromeriticASAP2400分析儀于液態(tài)氮溫度下，進(jìn)行N2不同分壓之吸脫附分率，而以BET吸附方程式進(jìn)行計(jì)算而測得，其結(jié)果顯示于表l。下表1為沸石轉(zhuǎn)輪高溫活化再生效果比較。表1<table>tableseeoriginaldocumentpage9</column></row><table>新樣品217.4腦*與新樣品(100%)比較由表1可知，在高溫活化再生前及高溫活化再生后的轉(zhuǎn)輪樣品與新轉(zhuǎn)輪樣品比較下，使用過之蜂巢狀沸石轉(zhuǎn)輪樣品于高溫活化再生后之比表面積(BET)可達(dá)到約86%,因此本發(fā)明的再生裝置及方法可達(dá)到良好之再生,活化再生效果。實(shí)施例3為檢測本發(fā)明的再生裝置及方法的活化再生效果，進(jìn)行失活蜂巢狀沸石轉(zhuǎn)輪高溫活化再生效能實(shí)驗(yàn)。以實(shí)施例2之某第五代TFT-LCD制造廠之活化再生后沸石轉(zhuǎn)輪樣品與新沸石轉(zhuǎn)輪樣本(日本西部技研公司)比較其吸附異丙醇(IPA)(于lOOppmv)的飽和吸附量。使用熱天平以熱重量分析法(ThermogravimetricAnalysis;TGA)分析及使用示差熱分析裝置以示差熱分析法(DifferentialThermalAnalysis;DTA)分析，其結(jié)果顯示于附圖4。由附圖4可知，以200、300及400。C之活化再生溫度活化1小時(shí)后與新沸石轉(zhuǎn)輪樣本作比較，經(jīng)由400。C活化1小時(shí)之蜂巢狀沸石轉(zhuǎn)輪可恢復(fù)至約83%的吸附能力，因此本發(fā)明的再生裝置及方法可達(dá)到良好之活化再生效果，且不會破壞吸附劑孔洞結(jié)構(gòu)而失去吸附能力或因劣化粉碎而損。權(quán)利要求1.一種處理揮發(fā)性有機(jī)廢氣的濃縮轉(zhuǎn)輪在線高溫活化的再生裝置，其至少包含(1)-轉(zhuǎn)輪，其用以吸附處理揮發(fā)性有機(jī)廢氣，且至少包含一再生脫附區(qū)及一吸附區(qū)；(2)-驅(qū)動(dòng)組件，其可控制該轉(zhuǎn)輪于一適當(dāng)時(shí)間間隔以步進(jìn)方式轉(zhuǎn)動(dòng)一適當(dāng)角度，并停止轉(zhuǎn)動(dòng)使轉(zhuǎn)輪停留一適當(dāng)時(shí)間；(3)-熱源，其可加熱氣體至活化再生溫度；及(4)-風(fēng)機(jī)，其可抽送該經(jīng)加熱氣體至轉(zhuǎn)輪的再生脫附區(qū)進(jìn)行活化再生。2.如權(quán)利要求1所述的再生裝置，其中該轉(zhuǎn)輪進(jìn)一步包含一冷卻區(qū)。3.如權(quán)利要求1所述的再生裝置，其中該轉(zhuǎn)輪厚度為200mm至450mm。4.如權(quán)利要求1所述的再生裝置，其中該熱源為循環(huán)式熱源或自源式熱源。5.如權(quán)利要求1所述的再生裝置，其中該循環(huán)式熱源為焚化爐系統(tǒng)中的熱交換器。6.如權(quán)利要求1所述的再生裝置，其中活化再生溫度約為15(TC至約45(TC。7.如權(quán)利要求1所述的再生裝置，其中活化再生溫度約為400°C。8.—種處理揮發(fā)性有機(jī)廢氣的濃縮轉(zhuǎn)輪在線高溫活化的再生方法，其包含下列步驟(1)該裝置至少包含一轉(zhuǎn)輪、一驅(qū)動(dòng)組件、一熱源及一風(fēng)機(jī)，而該轉(zhuǎn)輪至少包含一再生脫附區(qū)及一吸附區(qū)；(2)使用該驅(qū)動(dòng)組件控制該轉(zhuǎn)輪于一適當(dāng)時(shí)間間隔以步進(jìn)方式轉(zhuǎn)動(dòng)一適當(dāng)角度，而進(jìn)入再生脫附區(qū)，并停止轉(zhuǎn)動(dòng)使轉(zhuǎn)輪停留一適當(dāng)時(shí)間；(3)以該風(fēng)機(jī)抽送氣體通過該熱源，氣體經(jīng)該熱源加熱后送至轉(zhuǎn)輪再生脫附區(qū)時(shí)可達(dá)活化再生溫度，并進(jìn)行該再生脫附區(qū)的活化再生；及(4)重復(fù)步驟(2)及(3)直至轉(zhuǎn)輪整體活化再生完成。9.如權(quán)利要求8所述的再生方法，其中轉(zhuǎn)輪停止轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)輪持續(xù)高溫活化再生時(shí)間約為IO分鐘至約120分鐘;其中又以停留30分鐘至約60分鐘為佳。10.如權(quán)利要求8所述的再生方法，其中步進(jìn)轉(zhuǎn)動(dòng)間隔角度約為10°至約90°。全文摘要揮發(fā)性有機(jī)廢氣濃縮轉(zhuǎn)輪在線高溫活化的再生裝置及方法，本發(fā)明屬于一種處理揮發(fā)性有機(jī)廢氣的濃縮轉(zhuǎn)輪在線高溫活化的再生裝置及方法，其中該再生裝置至少包含一轉(zhuǎn)輪、一驅(qū)動(dòng)組件、一熱源及一風(fēng)機(jī)。而該方法系提供上述包含一轉(zhuǎn)輪、一驅(qū)動(dòng)組件、一熱源及一風(fēng)機(jī)的再生裝置，使用該驅(qū)動(dòng)組件控制該轉(zhuǎn)輪于一適當(dāng)時(shí)間間隔以步進(jìn)方式轉(zhuǎn)動(dòng)一適當(dāng)角度，并停留一適當(dāng)時(shí)間，以經(jīng)該熱源加熱后的氣體進(jìn)行轉(zhuǎn)輪的活化再生，并以此步進(jìn)方式轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)輪直至該轉(zhuǎn)輪整體活化再生完成。文檔編號B01D53/04GK101264410SQ200710088690公開日2008年9月17日申請日期2007年3月16日優(yōu)先權(quán)日2007年3月16日發(fā)明者王秉才申請人:杰智環(huán)境科技股份有限公司;華智智財(cái)技術(shù)服務(wù)有限公司