專(zhuān)利名稱(chēng)：桶槽漩流混合裝置及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種桶槽漩流混合裝置及方法，更具體地講，涉及化學(xué)液體 混合領(lǐng)i或。
背景技術(shù)：
近來(lái)，半導(dǎo)體科技日新月異，在半導(dǎo)體原料供給上也更趨進(jìn)步，由早期
的人工方式進(jìn)料，演變成機(jī)械方式，至今，進(jìn)化成電子自動(dòng)化方式。為了使 作為半導(dǎo)體原料的化學(xué)液體能夠充分混合且不易結(jié)固，傳統(tǒng)上，通過(guò)電動(dòng)馬
達(dá)驅(qū)動(dòng)多個(gè)葉片，再由多個(gè)葉片旋轉(zhuǎn)，來(lái)混合化學(xué)原料槽內(nèi)至少一種化學(xué)液 體，使至少一種化學(xué)液體達(dá)到混合且不易結(jié)晶的目的。
但是，通過(guò)電力來(lái)驅(qū)動(dòng)的葉片，往往長(zhǎng)時(shí)間浸于化學(xué)原料液體內(nèi)，時(shí)間 一長(zhǎng)，會(huì)有不同的化學(xué)原料被吸附到葉片上，不僅保養(yǎng)清洗困難，而且容易 造成化學(xué)原料槽中的成份純度不良，另外，因化學(xué)原料的高侵蝕性，使葉片 受到腐蝕，掉入化學(xué)液體中而與化學(xué)液體混合，這將使化學(xué)原料槽內(nèi)的化學(xué) 液體受到污染，造成制作的產(chǎn)品質(zhì)量不佳。
鑒于傳統(tǒng)技術(shù)中的各種問(wèn)題，為了能夠使之兼顧得到解決，本發(fā)明提出 一種桶槽旋流混合裝置，以解決上述缺點(diǎn)。

發(fā)明內(nèi)容
根據(jù)本發(fā)明的目的，提出一種桶槽漩流混合裝置及方法。通過(guò)噴射流體， 產(chǎn)生旋流，產(chǎn)生快速且均勻的流場(chǎng)，達(dá)到液體充分混合，提高混合效率的效 果。
根據(jù)本發(fā)明的目的，提出一種桶槽旋流混合裝置及方法，其中，通過(guò)利 用化學(xué)液體本身來(lái)擾動(dòng)化學(xué)液體，這樣，可以避免攪拌葉片腐蝕后的微粒產(chǎn) 生污染。
根據(jù)本發(fā)明的目的，提出一種桶槽漩流混合裝置及方法，由于桶槽漩流 混合裝置的噴嘴易于清洗及保養(yǎng)，可取代傳統(tǒng)機(jī)械攪拌組件及軸封，成為架構(gòu)筒易的混合裝置。
根據(jù)本發(fā)明目的，提出一種桶槽旋流混合裝置及方法，當(dāng)兩種以上比重 有差異的化學(xué)液體，因其本身互溶不佳，而各自分離時(shí)，可通過(guò)噴射流體， 產(chǎn)生均勻的漩流，使兩種以上比重有差異的化學(xué)液體均勻混合。
根據(jù)本發(fā)明的目的，提出一種桶槽旋流混合裝置及方法，通過(guò)噴射的流 體，產(chǎn)生均勻的漩流，使化學(xué)液體不產(chǎn)生結(jié)晶，克服了傳統(tǒng)葉片與化學(xué)液體 接觸產(chǎn)生接觸面積，使化學(xué)液體結(jié)晶的缺陷，提升了制作過(guò)程的穩(wěn)定性。
鑒于此，本發(fā)明的目的在于提供一種桶槽旋流混合裝置，以提供使化學(xué) 原料混合的功能。該裝置包含本體，本體具有相差一定高度的底部及頂部， 底部設(shè)有化學(xué)液體輸出通道。多個(gè)噴嘴以對(duì)稱(chēng)的方式位于本體上。該桶槽旋 流混合裝置還包括至少 一種化學(xué)液體傳輸裝置，所述化學(xué)液體傳輸裝置具有 至少一個(gè)出水管路及至少一個(gè)進(jìn)水管路，所述至少一個(gè)出水管路具有第一端 及第二端，所述至少一個(gè)進(jìn)水管路具有第三端及第四端。壓力泵位于化學(xué)液 體傳輸裝置上，壓力泵具有入口及出口，出水管路的第一端連接到噴嘴上， 第二端連接到壓力泵的出口 ，進(jìn)水管路的第三端連接到化學(xué)液體輸出通道， 第四端連接到壓力泵的入口。
其中，本體內(nèi)具有化學(xué)液體，化學(xué)液體具有水平面，通過(guò)壓力泵的驅(qū)動(dòng)， 化學(xué)液體自化學(xué)液體輸出通道流出，經(jīng)由進(jìn)水管路從壓力泵的入口進(jìn)入壓力 泵，通過(guò)壓力泵的出口輸出至出水管路，然后，化學(xué)液體從噴嘴射出，使化 學(xué)液體水平面上形成旋流。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種桶槽旋流混合方法，適用于桶槽
漩流混合裝置，首先所述混合方法包括下列步驟
(1) 步驟A:提供本體、壓力泵、多個(gè)噴嘴及至少一種化學(xué)液體，該本體 具有底部，底部開(kāi)設(shè)有化學(xué)液體輸出通道，化學(xué)液體置于本體內(nèi)，噴嘴連接 于本體上，壓力泵介于噴嘴及化學(xué)液體輸出通道之間；
(2) 步驟B:驅(qū)動(dòng)壓力泵，使化學(xué)液體由化學(xué)液體輸出通道輸出，經(jīng)過(guò)壓 力泵至噴嘴射出；以及
(3) 步驟C:利用噴嘴射出化學(xué)液體，帶動(dòng)本體內(nèi)的化學(xué)液體形成旋流， 使化學(xué)液體混合。
根據(jù)本發(fā)明所提供的桶槽漩流混合裝置及方法，能夠有效地進(jìn)行處理， 同時(shí)達(dá)到單純筒化的功能。


通過(guò)下面結(jié)合示例性地示出 一例的附圖進(jìn)行的描述，本發(fā)明的上述和其 他目的和特點(diǎn)將會(huì)變得更加清楚，其中
圖1是示出根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的桶槽漩流混合裝置的立體結(jié)構(gòu)的示
意圖2是示出根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施例的桶槽旋流混合裝置的立體結(jié)構(gòu)的 示意圖3是示出根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的桶槽旋流混合裝置的立體結(jié)構(gòu)的示
意圖4是示出根據(jù)本發(fā)明第四實(shí)施例的桶槽漩流混合裝置的立體結(jié)構(gòu)的示
意圖5是示出根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的桶槽漩流混合裝置的噴嘴的立體結(jié)構(gòu)的 示意圖6是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的桶槽旋流混合方法的流程圖。
具體實(shí)施例方式
以下將參照相關(guān)附圖，說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明較佳實(shí)施例的桶槽旋流混合裝置 及其方法。為使便于理解，下述實(shí)施例中的相同組件以相同標(biāo)號(hào)表示。
圖1是示出根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的桶槽旋流混合裝置的立體結(jié)構(gòu)的示 意圖；圖2是示出根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的桶槽漩流混合裝置的立體結(jié)構(gòu)的 示意圖；圖3是示出根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的桶槽漩流混合裝置的立體結(jié)構(gòu) 的示意圖；圖4是示出根據(jù)本發(fā)明第四實(shí)施例的桶槽漩流混合裝置的立體結(jié) 構(gòu)的示意圖；圖5是示出根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的桶槽漩流混合裝置的噴嘴的立 體結(jié)構(gòu)的示意圖。
在圖1至圖5中，桶槽漩流混合裝置主要包含本體1、多個(gè)噴嘴2、至少 一個(gè)化學(xué)液體傳輸裝置3、壓力泵4。其中，本體1具有相差一定高度的底部 11和頂部12，該底部11開(kāi)設(shè)有化學(xué)液體輸出通道111。多個(gè)噴嘴2以對(duì)稱(chēng)的 方式位于本體1上，所述多個(gè)噴嘴2的每個(gè)具有連接到噴嘴主體25上的出口 部26。出口部26從噴嘴主體25軸向延伸并開(kāi)設(shè)有開(kāi)口凹槽27,且開(kāi)口凹槽 27的開(kāi)口方向大致與噴嘴主體25的徑向方向?qū)?yīng)。其中，開(kāi)口凹槽27形狀
6為圓形、橢圓形、矩形及扁平形之一。第一噴嘴21的方向約略朝著本體1的
側(cè)面，第二噴嘴22的方向約略朝上，第三噴嘴23的方向約略朝著本體1的 側(cè)面，第四噴嘴24的方向約略朝上。在本實(shí)施例中，第一噴嘴21與第三噴 嘴23的開(kāi)口凹槽同沿順時(shí)針?lè)较蚧蚰鏁r(shí)針?lè)较颉Ｖ辽僖粋€(gè)化學(xué)液體傳輸裝置 3具有出水管路31及進(jìn)水管路32。出水管路31具有第一端311及第二端312。 進(jìn)水管路32具有第三端321及第四端322。壓力泵4位于化學(xué)液體傳輸裝置 3上，具有入口41及出口42。出水管路31的第一端311連接噴嘴2，第二 端312連接壓力泵4的出口 42。進(jìn)水管路32的第三端321連接化學(xué)液體輸 出通道lll，第四端322連接壓力泵4的入口 41。
其中，本體l內(nèi)具有至少一種化學(xué)液體5,該化學(xué)液體5最好為化學(xué)研 磨漿料，化學(xué)液體5具有水平面51,由于壓力泵4的驅(qū)動(dòng)，使化學(xué)液體5自 化學(xué)液體輸出通道111輸出，經(jīng)由進(jìn)水管路32、壓力泵4、出水管路31至噴 嘴4射出，因化學(xué)液體5通過(guò)化學(xué)液體輸出通道111輸出并通過(guò)噴嘴4射出， 使得化學(xué)液體5形成漩流6。
請(qǐng)參閱圖1,該圖為根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的桶槽旋流混合裝置立體結(jié) 構(gòu)的示意圖。如圖所示，桶槽漩流混合裝置包含本體1、第一噴嘴21及第三 噴嘴23、至少一個(gè)化學(xué)液體傳輸裝置3以及壓力泵4。本體1的底部11開(kāi)設(shè) 有化學(xué)液體輸出通道111。第一噴嘴21及第三噴嘴23以對(duì)稱(chēng)的方式連接到本 體1上，噴嘴21和23的開(kāi)口凹槽27均約略朝著本體1的側(cè)面。
其中，本體1內(nèi)具有至少一種化學(xué)液體5,化學(xué)液體5具有水平面51, 在壓力泵4的驅(qū)動(dòng)下，化學(xué)液體5自化學(xué)液體輸出通道111輸出，經(jīng)由進(jìn)水 管路32、壓力泵4、出水管路31至噴嘴2，并從開(kāi)口凹槽27射出。因第一 噴嘴21及第三噴嘴23的開(kāi)口凹槽27均約略朝著本體1的側(cè)面，同沿順時(shí)針 方向或逆時(shí)針?lè)较?，所以，在水平?1上產(chǎn)生順時(shí)針或逆時(shí)針?lè)较虻牡谝恍?流61。此外，因化學(xué)液體輸出通道111位于底部11，使化學(xué)液體5由底部11 邊緣上升至水平面51后，再由水平面51下降至化學(xué)液體輸出通道111,形成 第二旋流62,兩旋流交互作用。
請(qǐng)參閱圖2,該圖為根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的桶槽漩流混合裝置的立體 結(jié)構(gòu)的示意圖。如圖所示，桶槽旋流混合裝置主要包含本體1、多個(gè)噴嘴2、 至少一個(gè)化學(xué)液體傳輸裝置3、壓力泵4。其中，本體l具有相差一定高度的 底部11和頂部12。底部11開(kāi)設(shè)有化學(xué)液體輸出通道111。多個(gè)噴嘴2具有第一噴嘴21、第二噴嘴22、第三噴嘴23及第四噴嘴24,以對(duì)稱(chēng)方式連接于 本體1內(nèi)，且第一噴嘴21和第三噴嘴23以及第二噴嘴22和第四噴嘴24可 位于本體1的不同水平高度上。
其中，本體l內(nèi)具有至少一種化學(xué)液體5，該化學(xué)液體5具有水平面51。 在壓力泵4的驅(qū)動(dòng)下，使化學(xué)液體5自化學(xué)液體輸出通道111輸出，經(jīng)由進(jìn) 水管路32、壓力泵4、出水管路31至噴嘴4射出。因第一噴嘴21及第三噴 嘴23的開(kāi)口凹槽27均約略朝著本體1的側(cè)面，同沿順時(shí)針?lè)较蚧蚰鏁r(shí)針?lè)?向，所以在水平面上51產(chǎn)生順時(shí)針或逆時(shí)針?lè)较虻牡谝讳隽?1。此外，因 第二噴嘴22和第四噴嘴24的開(kāi)口凹槽27均約略朝向本體1上方，使得化學(xué) 液體5從底部11邊緣上升至水平面51后，再由水平面51下降至化學(xué)液體輸 出通道111,從而形成第二凝流62。第一旋流61和第二旋流62兩旋流交互 作用。
請(qǐng)參閱圖3,該圖為根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的桶槽漩流混合裝置的立體 結(jié)構(gòu)的示意圖。如圖所示，桶槽漩流混合裝置主要包含本體1、第二噴嘴22 及第四噴嘴24、至少一種化學(xué)液體傳輸裝置3、壓力泵4。本體l的底部ll 開(kāi)設(shè)有化學(xué)液體輸出通道111。第二噴嘴22及第四噴嘴24位于底部11。
其中，本體l內(nèi)具有至少一種化學(xué)液體5，該化學(xué)液體5具有水平面51。 在壓力泵浦4驅(qū)動(dòng)下，使得化學(xué)液體5自化學(xué)液體輸出通道111輸出，經(jīng)由 進(jìn)水管路32、壓力泵4、出水管路31至噴嘴4射出。因第二噴嘴22及第四 噴嘴24的開(kāi)口凹槽27均約略朝向本體1上方，所以化學(xué)液體5由底部11邊 緣上升至水平面51后，再由水平面51下降至化學(xué)液體輸出通道111，形成第 二旋流62。
請(qǐng)參閱圖4，該圖為根據(jù)本發(fā)明第四實(shí)施例的桶槽旋流混合裝置立體結(jié) 構(gòu)的示意圖。如圖所示，桶槽漩流混合裝置包含本體1、第一噴嘴21及第三 噴嘴23、至少一個(gè)化學(xué)液體傳輸裝置3、壓力泵4。本體1具有相距一定高 度的底部11和頂部12,頂部11開(kāi)設(shè)有化學(xué)液體輸出通道111。多個(gè)噴嘴2 具有第一噴嘴21及第三噴嘴23，均連接在該本體1內(nèi)，且位于化學(xué)液體輸 出通道111的下方。
其中，本體l內(nèi)具有至少一種化學(xué)液體5，該化學(xué)液體5具有水平面51。 在壓力泵4的驅(qū)動(dòng)下，化學(xué)液體5自化學(xué)液體輸出通道111輸出，經(jīng)由進(jìn)水 管路32、壓力泵4、出水管路31至噴嘴4射出。因第一噴嘴21及第三噴嘴23的開(kāi)口凹槽27均約略朝向本體1的側(cè)面，同沿順時(shí)針或逆時(shí)針?lè)较?，?br> 以化學(xué)液體5由底部11邊緣上升至上方的化學(xué)液體輸出通道111,產(chǎn)生順時(shí) 針或逆時(shí)針?lè)较虻牡谌隽?3。
請(qǐng)參閱圖6，該圖為根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的桶槽漩流混合方法的流程圖。 如圖所示，此方法的流程由步驟70開(kāi)始展開(kāi)，然后，在步驟71,提供本體l、 壓力泵4、多個(gè)噴嘴2及至少一種化學(xué)液體5，本體l具有底部ll，底部11 開(kāi)設(shè)化學(xué)液體輸出通道111,化學(xué)液體5置于本體1內(nèi)，噴嘴2連接于本體1 上，壓力泵4介于噴嘴2及化學(xué)液體輸出通道111之間；接著，在步驟72， 驅(qū)動(dòng)壓力泵4，使化學(xué)液體5由化學(xué)液體輸出通道111輸出，經(jīng)過(guò)壓力泵4 至噴嘴2射出；之后，在步驟73，利用噴嘴2射出化學(xué)液體5，帶動(dòng)本體1 內(nèi)的化學(xué)液體5形成旋流6，使至少一種化學(xué)液體5混合；最后，在步驟74， 結(jié)束操作。
按本發(fā)明所提供的桶槽漩流混合裝置及方法，能夠有效地進(jìn)行處理，同 時(shí)達(dá)到單純簡(jiǎn)化的功能。
已經(jīng)參照附圖對(duì)本發(fā)明的示例性實(shí)施例進(jìn)行了詳細(xì)描述。上述描述僅僅 是舉例而非限制性的。任何未脫離本發(fā)明的精神和范圍的修改或變型，均落
入本發(fā)明的權(quán)利要求的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1、一種桶槽漩流混合裝置，包含本體，具有相距一定高度的底部和頂部，本體上開(kāi)設(shè)有化學(xué)液體輸出通道；多個(gè)噴嘴，以對(duì)稱(chēng)的方式位于本體上；以及壓力泵，位于本體外，壓力泵具有入口及出口，其入口連接到化學(xué)液體輸出通道，其出口連接到多個(gè)噴嘴；其中，本體內(nèi)具有至少一種化學(xué)液體，通過(guò)壓力泵的驅(qū)動(dòng)，使化學(xué)液體自化學(xué)液體輸出通道輸出，經(jīng)由壓力泵至噴嘴射出，使化學(xué)液體內(nèi)形成漩流。
2、 如權(quán)利要求1所述的桶槽旋流混合裝置，其中，化學(xué)液體輸出通道開(kāi) 設(shè)于底部，多個(gè)噴嘴均朝上噴射，化學(xué)液體由底部邊緣上升至水平面后，再 由水平面下降至化學(xué)液體輸出通道，從而形成第二旋流。
3、 如權(quán)利要求1所述的桶槽漩流混合裝置，其中，化學(xué)液體輸出通道開(kāi) 設(shè)于底部，所述多個(gè)噴嘴朝向本體的側(cè)面噴射，在化學(xué)液體的水平面上產(chǎn)生 順時(shí)針或逆時(shí)針?lè)较蛑坏牡?一旋流，在化學(xué)液體由底部邊緣上升至水平面 后，再由水平面下降至化學(xué)液體輸出通道時(shí)，形成第二旋流。
4、 如權(quán)利要求1所述的桶槽旋流混合裝置，其中，化學(xué)液體輸出通道開(kāi) 設(shè)于底部，所述多個(gè)噴嘴具有第一噴嘴、第二噴嘴、第三噴嘴及第四噴嘴， 第一噴嘴和第三噴嘴均朝向本體的側(cè)面噴射，使得化學(xué)液體的水平面上產(chǎn)生 順時(shí)針或逆時(shí)針?lè)较虻牡谝讳隽鳎诙娮旌偷谒膰娮炀蠂娚?，使得?學(xué)液體由底部邊緣上升至該水平面后，再由水平面下降至化學(xué)液體輸出通道, 形成第二旋流。
5、 如權(quán)利要求1所述的桶槽漩流混合裝置，還包含化學(xué)液體輸出通道， 所述化學(xué)液體輸出通道開(kāi)設(shè)于相差一定高度的底部和頂部之間。
6、 如權(quán)利要求1所述的桶槽漩流混合裝置，其中，噴嘴具有容置空間、 噴嘴主體、出口部及開(kāi)口凹槽，出口部連接于噴嘴主體，從噴嘴主體軸向延 伸，開(kāi)口凹槽位于出口部上，且開(kāi)口方向與噴嘴主體的徑向方向相對(duì)應(yīng)。
7、 如權(quán)利要求6所述的桶槽旋流混合裝置，其中，開(kāi)口凹槽形狀為圓形、 橢圓形、矩形及扁平形之一。
8、 一種桶槽漩流混合方法，該方法包含下列步驟提供本體、壓力泵、多個(gè)噴嘴及至少一種化學(xué)液體，本體具有底部，本 體上開(kāi)設(shè)有化學(xué)液體輸出通道，化學(xué)液體置于本體內(nèi)，所述多個(gè)噴嘴連接于本體上，壓力泵介于噴嘴及化學(xué)液體輸出通道之間；驅(qū)動(dòng)壓力泵，使化學(xué)液體由化學(xué)液體輸出通道輸出，經(jīng)過(guò)壓力泵至噴嘴射出；以及利用噴嘴射出的化學(xué)液體，帶動(dòng)本體內(nèi)的化學(xué)液體形成漩流，使化學(xué)液 體混合。
9、 如權(quán)利要求8所述的所述的桶槽旋流混合方法，其中，化學(xué)液體輸出 通道開(kāi)設(shè)于底部，所述多個(gè)噴嘴均朝上噴射，使得化學(xué)液體由底部邊緣上升 至水平面后，再由水平面下降至化學(xué)液體輸出通道，形成第二旋流。
10、 如權(quán)利要求8所述的桶槽漩流混合方法，其中，化學(xué)液體輸出通道 開(kāi)設(shè)于底部，所述多個(gè)噴嘴具有第一噴嘴、第二噴嘴、第三噴嘴及第四噴嘴， 第一噴嘴和第三噴嘴均朝向本體的側(cè)面噴射，使得化學(xué)液體的水平面上產(chǎn)生 順時(shí)針或逆時(shí)針?lè)较虻牡谝讳隽?，第二噴嘴和第四噴嘴均朝上噴射，使得?學(xué)液體由底部邊緣上升至水平面后，再由水平面下降至該化學(xué)液體輸出通道， 形成第二旋流。
11、 如權(quán)利要求8所述的桶槽漩流混合方法，其中，化學(xué)液體輸出通道 開(kāi)設(shè)于底部，所述多個(gè)噴嘴均朝向本體的側(cè)面噴射或者均朝上噴射，使得該由底部邊緣上升至水平面后，再由水平面下降至化學(xué)液體輸出信道，形成第二凝流。
12、 如權(quán)利要求8所述的桶槽旋流混合裝置，還包含化學(xué)液體輸出通道， 所述化學(xué)液體輸出通道開(kāi)設(shè)于相差一定高度的底部和頂部之間。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種桶槽漩流混合裝置及方法，所述裝置包含本體，底部設(shè)有化學(xué)液體輸出通道；至少一個(gè)噴嘴，連接于本體上；至少一個(gè)化學(xué)液體傳輸裝置，連接于化學(xué)液體輸出通道及噴嘴上；壓力泵，位于化學(xué)液體傳輸裝置上。其中，本體內(nèi)具有化學(xué)液體，化學(xué)液體具有水平面，通過(guò)壓力泵的驅(qū)動(dòng)，使化學(xué)液體輸出至化學(xué)液體輸出通道，經(jīng)由進(jìn)水管路、壓力泵、出水管路至噴嘴，由噴嘴射出化學(xué)液體，使本體內(nèi)的化學(xué)液體形成漩流，達(dá)到化學(xué)液體均勻混合的效果。
文檔編號(hào)B01F5/04GK101468300SQ20071030587
公開(kāi)日2009年7月1日 申請(qǐng)日期2007年12月28日 優(yōu)先權(quán)日2007年12月28日
發(fā)明者徐宏信, 林志杰, 黎源欣 申請(qǐng)人:亞泰半導(dǎo)體設(shè)備股份有限公司