專利名稱：氬氣凈化裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種氣體凈化的裝置，特別涉及一種氬氣的凈 化裝置。
背景技術(shù)：
氬氣的規(guī)格需求按國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)分普氬(99.9%)、純氬(99.99%)、 高純氬(99.999%)、超純氬(99.9999%)，因?yàn)樵诠庹竟扪b杜瓦瓶 時(shí)一般會(huì)有雜質(zhì)混入，造成純度降低，所以供氣站在供應(yīng)不同純度 產(chǎn)品時(shí)，通常以高一等級(jí)的氣體供應(yīng)。廠家一般設(shè)置三個(gè)液體儲(chǔ)罐 供應(yīng)三個(gè)規(guī)格的氣體，超純氬供應(yīng)高純氬，高純氬供應(yīng)純氬，純氬 供應(yīng)普氬。液體儲(chǔ)罐里的氬氣再向杜瓦瓶罐裝過(guò)程中，液體儲(chǔ)罐和 杜瓦瓶中都會(huì)產(chǎn)生大量氣化了的氣體， 一般我們會(huì)排空釋放掉，由 于高純氬和超春氬市場(chǎng)價(jià)格很高，這樣會(huì)造成浪費(fèi)，而且以高一等 級(jí)的氣體供應(yīng)低一等級(jí)的氣體也會(huì)造成成本的上升。 發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型為了克服上述缺點(diǎn)，提供了可以對(duì)氬氣供氣站在罐 裝過(guò)程中所回收的氣化氬氣進(jìn)行凈化的裝置。
本實(shí)用新型的技術(shù)方案是 一種氬氣凈化裝置包括電加熱爐， 反應(yīng)器，熱交換器，真空泵，過(guò)濾器，其中原料氬氣由熱交換器進(jìn) 口I進(jìn)入，熱交換器出口 I連接反應(yīng)器進(jìn)口，反應(yīng)器外設(shè)有電加熱
爐，反應(yīng)器出口連接熱交換器進(jìn)口n，熱交換器出口n通過(guò)管路次連接真空泵和過(guò)濾器，過(guò)濾器后連接壓縮機(jī)至罐裝設(shè)備。
所述反應(yīng)器由組合式反應(yīng)管構(gòu)成，組合式反應(yīng)管中填充有吸附劑。
本實(shí)用新型提供了 一種能對(duì)氬氣凈化提純的裝置，原料氬氣首 先與經(jīng)過(guò)反應(yīng)器加熱出來(lái)的高溫氣體在熱交換器中換熱，然后進(jìn)入
電加熱爐內(nèi)的反應(yīng)器中被加熱度80(TC左右，反應(yīng)器的反應(yīng)管中填充 有吸附劑，氬氣通過(guò)此填料層，其中的02、 C02、 CO、 N2、 H2、 CH4 等雜質(zhì)被有效吸附，反應(yīng)管出來(lái)的高溫氣體與低溫氣體熱交換后進(jìn) 一步被水冷卻常溫，進(jìn)入由燒結(jié)鎳管組成的過(guò)濾器，過(guò)濾到微米級(jí) 粉塵后進(jìn)入低壓緩沖罐回收。當(dāng)原料采用純氬時(shí)，通過(guò)本裝置凈化， 在凈化的初期生產(chǎn)出高純氬，中后期會(huì)生產(chǎn)出超純氬，整個(gè)裝置結(jié) 構(gòu)簡(jiǎn)單，系統(tǒng)流程及操作過(guò)程簡(jiǎn)單，經(jīng)濟(jì)性強(qiáng)。

圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)其中1、電加熱爐，2、反應(yīng)器，3、熱交換器，4、冷卻管， 5、真空泵，6、鎳管過(guò)濾器，7、截止閥，8、連接法蘭，9、流量計(jì)， 10、冷卻水進(jìn)口， 11、冷卻水出口具體實(shí)施方式
如圖1所示的氬氣凈化裝置中，氬氣進(jìn)口通過(guò)管道經(jīng)兩個(gè)截止 閥7接入熱交換器3入口 I ，其中第一個(gè)截止閥并聯(lián)有一個(gè)流量計(jì)， 第二個(gè)截止閥與熱交換器入口 I之間的管道上設(shè)有PI壓力儀表，熱 交換器出口 I通過(guò)管道和連接法蘭8接入反應(yīng)器2進(jìn)口，反應(yīng)器內(nèi) 部為組合式管式反應(yīng)管，反應(yīng)管內(nèi)填充有鋯鋁16吸附劑，反應(yīng)器外設(shè)有電加熱爐1，電加熱爐上設(shè)有TIC溫度顯示控制儀表和TIA溫度 控制儀表，反應(yīng)器出口連接熱交換器進(jìn)口II，熱交換器出口II連接 有冷卻管4，冷卻管上設(shè)有冷卻水進(jìn)口 IO與冷卻水出口 11，冷卻管 通過(guò)管路依次連接真空泵5和鎳管過(guò)濾器6，過(guò)濾器后連接壓縮機(jī)至 罐裝設(shè)備，過(guò)濾器和壓縮機(jī)之間還設(shè)有DA儀表、AI儀表以及放空閥 門。
權(quán)利要求1、一種氬氣凈化裝置，其特征在于該裝置包括電加熱爐，反應(yīng)器，熱交換器，真空泵，過(guò)濾器，原料氬氣經(jīng)管道由熱交換器進(jìn)口I進(jìn)入，熱交換器出口I連接反應(yīng)器進(jìn)口，反應(yīng)器外設(shè)有電加熱爐，反應(yīng)器出口連接熱交換器進(jìn)口II，熱交換器出口II通過(guò)管路依次連接真空泵和過(guò)濾器，過(guò)濾器后連接壓縮機(jī)。
2、 如權(quán)利要求1所述的氬氣凈化裝置，其特征在于所述的反應(yīng) 器由組合式反應(yīng)管構(gòu)成，組合式反應(yīng)管中填充有吸附劑。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種氬氣凈化裝置，該裝置包括電加熱爐，反應(yīng)器，熱交換器，真空泵，過(guò)濾器，原料氬氣首先與經(jīng)過(guò)反應(yīng)器加熱出來(lái)的高溫氣體在熱交換器中換熱，然后進(jìn)入電加熱爐內(nèi)的反應(yīng)器中被加熱度，反應(yīng)器的反應(yīng)管中填充有吸附劑吸附雜質(zhì)，反應(yīng)管出來(lái)的高溫氣體經(jīng)過(guò)熱交換器進(jìn)入冷卻管，然后經(jīng)過(guò)過(guò)濾器過(guò)濾掉微米級(jí)粉塵后進(jìn)入低壓緩沖罐回收。當(dāng)原料采用純氬時(shí)，通過(guò)本裝置凈化，在凈化的初期生產(chǎn)出高純氬，中后期會(huì)生產(chǎn)出超純氬，整個(gè)裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，經(jīng)濟(jì)性強(qiáng)。
文檔編號(hào)B01D53/04GK201284233SQ20082016183
公開日2009年8月5日 申請(qǐng)日期2008年10月22日 優(yōu)先權(quán)日2008年10月22日
發(fā)明者劉志軍, 周偉忠, 蔣建新, 金向華 申請(qǐng)人:蘇州市金宏氣體有限公司