專利名稱：過(guò)濾器單元及過(guò)濾器芯子的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及過(guò)濾器單元及過(guò)濾器芯子，更詳細(xì)地涉及使用于制造半導(dǎo)體晶片或 LCD用玻璃基板等時(shí)所使用的胺類等的有機(jī)剝離液或顏料分散光致抗蝕劑或者使用化學(xué)的 機(jī)械的研磨裝置時(shí)所使用的泥漿等的過(guò)濾、純水的制造等的過(guò)濾器單元及應(yīng)用于該單元的 過(guò)濾器芯子，尤其涉及它們的結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
過(guò)濾器單元具備過(guò)濾器芯子(過(guò)濾器組裝體)；外殼(筒體)，收容過(guò)濾器芯子； 及外殼蓋體(頂蓋)，具有被過(guò)濾液的入口、過(guò)濾液的出口及排氣用通氣口，作為過(guò)濾器芯 子公知有例如在半徑方向內(nèi)外的多孔筒之間收容使帶有折皺的多孔質(zhì)膜呈圓筒狀的過(guò)濾 構(gòu)件，并熔接上下的端蓋而成的過(guò)濾器芯子。作為過(guò)濾器單元的一個(gè)類型存在如下過(guò)濾器單元，首先從蓋體入口向外殼內(nèi)的過(guò) 濾器芯子的半徑方向外側(cè)的側(cè)部流路導(dǎo)入被過(guò)濾液，之后，流向半徑方向內(nèi)側(cè)多孔筒內(nèi)的 中心部流路使其向半徑方向內(nèi)側(cè)經(jīng)過(guò)過(guò)濾構(gòu)件并進(jìn)行過(guò)濾，從中心部流路向出口吐出該過(guò) 濾液。在該類型的過(guò)濾器單元中，被過(guò)濾液的流動(dòng)往往停滯在側(cè)部流路的外殼底部側(cè)，因 此，存在如下情況，在側(cè)部流路底部附近殘留未過(guò)濾的異物，或過(guò)濾構(gòu)件的底部側(cè)與上部側(cè) (外殼蓋體側(cè))相比使用效率降低。作為改善該課題的過(guò)濾器單元開(kāi)發(fā)出如下過(guò)濾器單元(例如，本申請(qǐng)人的日本國(guó) 專利申請(qǐng)2007-107074號(hào)等)，其構(gòu)成為將過(guò)濾構(gòu)件的中心部空間分為半徑方向內(nèi)側(cè)的中 心部?jī)?nèi)側(cè)流路和半徑方向外側(cè)的中心部外側(cè)流路，通過(guò)首先向中心部?jī)?nèi)側(cè)流路通入從蓋 體入口導(dǎo)入的被過(guò)濾液之后，從該內(nèi)側(cè)流路的下端部向外殼內(nèi)的過(guò)濾器芯子下方的底部流 路，之后從底部流路向上述側(cè)部流路輸送，可防止在側(cè)部流路底部附近滯留，還可使被過(guò)濾 液從側(cè)部流路向中心部外側(cè)流路大致均等地經(jīng)過(guò)過(guò)濾構(gòu)件以進(jìn)行過(guò)濾，經(jīng)由中心部外側(cè)流 路從蓋體出口吐出該過(guò)濾液。上述中心部外側(cè)流路形成在半徑方向外側(cè)的多孔筒和半徑方 向內(nèi)側(cè)的無(wú)孔筒之間，在該無(wú)孔筒內(nèi)部形成中心部?jī)?nèi)側(cè)流路。上述的最初將被過(guò)濾液導(dǎo)入中心部?jī)?nèi)側(cè)流路的類型的過(guò)濾器單元能夠解決在側(cè) 部流路下方滯留被過(guò)濾液或不均衡使用過(guò)濾構(gòu)件這樣的問(wèn)題，另一方面，由于使被過(guò)濾液 流經(jīng)中心部?jī)?nèi)側(cè)流路一底部流路一側(cè)部流路一中心部外側(cè)流路，所以與最初說(shuō)明的類型 (側(cè)部流路一中心部流路)相比液體流通路徑變長(zhǎng)，因此，在導(dǎo)入被過(guò)濾液的初期階段，存 在容易在過(guò)濾器單元內(nèi)的液體流通路徑中殘存空氣(氣泡)這樣的問(wèn)題，尤其是氣泡容易 附著殘留于形成中心部外側(cè)流路的半徑方向外側(cè)的多孔筒的多個(gè)開(kāi)口(因?yàn)槌尚螘r(shí)的脫 模，尺寸稍稍向半徑方向內(nèi)側(cè)縮小)的邊緣。另外，如果殘存的氣泡隨后即使只是稍稍混入 過(guò)濾液，也有可能例如在制造中的半導(dǎo)體晶片等上產(chǎn)生不良現(xiàn)象。而且，如上所述，如果液體流通路徑變長(zhǎng)，則過(guò)濾器單元內(nèi)的殘留液體具有變多的 傾向，尤其是過(guò)濾對(duì)象的藥液等在開(kāi)發(fā)初期階段中價(jià)格極高且只有少量時(shí)，該殘留液體的 問(wèn)題尤為顯著。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是針對(duì)上述課題而做出的，其目的在于提供一種過(guò)濾器單元及應(yīng)用于該單 元的過(guò)濾器芯子，在使被過(guò)濾液流經(jīng)中心部流路一底部流路一側(cè)部流路的類型的過(guò)濾器單 元中， 能夠提高空氣去除性能，同時(shí)能夠縮小所謂的滯留體積以減少殘液量。根據(jù)本發(fā)明，提供一種過(guò)濾器單元，具備過(guò)濾器芯子，包括圓筒狀過(guò)濾構(gòu)件及配 置在過(guò)濾構(gòu)件中心部的圓筒狀濾芯構(gòu)件；外殼，收容過(guò)濾器芯子；及外殼蓋體，具有被過(guò)濾 液的入口及過(guò)濾液的出口，濾芯構(gòu)件具有與所述入口連通的中心部流路，在外殼內(nèi)分別在 過(guò)濾器芯子的下方形成有底部流路、在過(guò)濾器芯子的半徑方向外側(cè)形成有側(cè)部流路，從入 口導(dǎo)入的被過(guò)濾液經(jīng)由所述中心部流路被輸送至底部流路，之后從底部流路被輸送至側(cè)部 流路，從側(cè)部流路向半徑方向內(nèi)側(cè)經(jīng)過(guò)過(guò)濾構(gòu)件而被過(guò)濾后，沿濾芯構(gòu)件外周流向出口，其 特征在于，在所述濾芯構(gòu)件的外周設(shè)置有凸部，過(guò)濾時(shí)支撐所述過(guò)濾構(gòu)件的內(nèi)周部；及凹 部，將向半徑方向內(nèi)側(cè)經(jīng)過(guò)了過(guò)濾構(gòu)件的過(guò)濾液引導(dǎo)向所述出口。在本發(fā)明中，從蓋體入口經(jīng)由中心部流路、底部流路直至側(cè)部流路的被過(guò)濾液向 半徑方向內(nèi)側(cè)經(jīng)過(guò)過(guò)濾構(gòu)件并被過(guò)濾，此時(shí)，濾芯構(gòu)件外周的凸部發(fā)揮這樣的作用從內(nèi)側(cè) 支撐因流體壓力而被壓向半徑方向內(nèi)側(cè)的過(guò)濾構(gòu)件的內(nèi)周部；而且，濾芯構(gòu)件外周的凹部 發(fā)揮這樣的作用將過(guò)濾液導(dǎo)向蓋體出口。因此，能夠廢除在以往的最初將被過(guò)濾液導(dǎo)入中 心部?jī)?nèi)側(cè)流路的類型的過(guò)濾器單元中的形成在半徑方向外側(cè)的多孔筒和半徑方向內(nèi)側(cè)的 無(wú)孔筒之間的中心部外側(cè)流路，由此，不再需要使用容易殘存氣泡的上述多孔筒，而且，能 夠縮小中心部外側(cè)流路部分的滯留體積。在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中，所述凹部形成螺旋狀的槽。該螺旋槽除凹部以直線 狀伸長(zhǎng)而形成槽的方式以外，包括使各自的單位形狀為矩形等的凹部?jī)A斜連續(xù)地成為螺旋 狀的槽的方式(參照?qǐng)D4)。在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中，所述槽的底部為沒(méi)有角的形狀。由此，不會(huì)在凹部的 底部附著殘留氣泡。在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中，所述螺旋狀槽相對(duì)于與所述濾芯構(gòu)件的軸線垂直的 面的傾斜角度為40度至50度。該螺旋角度不足40度時(shí)，過(guò)濾液的排出速度變慢，有可能 會(huì)殘存氣泡，而超過(guò)50度時(shí)，過(guò)濾構(gòu)件外周部的折皺痕有可能會(huì)進(jìn)入槽。在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中，所述濾芯構(gòu)件外周的凸部及凹部使用多個(gè)模來(lái)成 形。作為在濾芯構(gòu)件外周上形成凹凸的方法，存在由多個(gè)(例如二至四塊)模來(lái)成形的方 法或切削濾芯構(gòu)件外周面的方法，前者較為容易制造。根據(jù)其它的本發(fā)明，提供一種過(guò)濾器芯子，具備圓筒狀的過(guò)濾構(gòu)件、和配置在過(guò)濾 構(gòu)件中心部的具有中心部流路的濾芯構(gòu)件，從外部被導(dǎo)入的被過(guò)濾液經(jīng)過(guò)了中心部流路 后，被輸送至過(guò)濾構(gòu)件的半徑方向外側(cè)，之后向半徑方向內(nèi)側(cè)經(jīng)過(guò)過(guò)濾構(gòu)件而被過(guò)濾，該過(guò) 濾液沿濾芯構(gòu)件外周流向出口，其特征在于，在所述濾芯構(gòu)件的外周設(shè)置有凸部，過(guò)濾時(shí) 支撐所述過(guò)濾構(gòu)件的內(nèi)周部；及凹部，將向半徑方向內(nèi)側(cè)經(jīng)過(guò)了過(guò)濾構(gòu)件的過(guò)濾液引導(dǎo)向 外部。發(fā)明的效果在本發(fā)明中，由于能夠廢除在以往的最初將被過(guò)濾液導(dǎo)入中心部?jī)?nèi)側(cè)流路的類型的過(guò)濾器單元中的形成在半徑方向外側(cè)的多孔筒和半徑方向內(nèi)側(cè)的無(wú)孔筒之間的中心部 外側(cè)流路，不再需要容易殘存氣泡的上述多孔筒，所以能夠提高空氣去除性能，而且，能夠 縮小中心部外側(cè)流路部分的滯留體積從而減少殘液量。


圖1是本發(fā)明一個(gè)實(shí)施方式的過(guò)濾器單元的縱剖視立體說(shuō)明圖。圖2是濾芯構(gòu)件的主視 圖。圖3是沿圖2的A-A線的濾芯構(gòu)件的橫剖視圖。圖4是表示濾芯構(gòu)件的其它例子的立體圖。符號(hào)說(shuō)明1 過(guò)濾器單元；10 過(guò)濾器芯子；11 過(guò)濾構(gòu)件；12 套筒；13、13，濾芯構(gòu)件；14 中心部流路；15、15，凸部；16、16，槽(凹部)；20:外殼；30:外殼蓋體；31:入口 ；32:出 口 ；40 底部流路；41 側(cè)部流路。
具體實(shí)施例方式下面，參照

本發(fā)明一個(gè)實(shí)施方式的過(guò)濾器單元及過(guò)濾器芯子。圖1是過(guò) 濾器單元1的縱剖視立體說(shuō)明圖。過(guò)濾器單元1由過(guò)濾器芯子10、收容過(guò)濾器芯子10的外 殼(筒體)20、外殼蓋體(頂蓋)30構(gòu)成，在外殼蓋體30上裝有被過(guò)濾液的入口 31及與其 連續(xù)的入口流路31’、過(guò)濾液的出口 32及與其連續(xù)的出口流路32’、排氣用通氣口 33。在過(guò) 濾器單元1中，外殼20內(nèi)的過(guò)濾器芯子10的下方成為底部流路40，過(guò)濾器芯子10的半徑 方向外側(cè)成為側(cè)部流路41。另外，過(guò)濾器芯子10交換自如地應(yīng)用于過(guò)濾器單元1。過(guò)濾器芯子10具備過(guò)濾構(gòu)件11，使帶有折皺的多孔質(zhì)膜成為圓筒狀而構(gòu)成；套 筒12，是包圍過(guò)濾構(gòu)件11外周部的樹(shù)脂制多孔筒；樹(shù)脂制濾芯構(gòu)件13，以圓筒狀配置在過(guò) 濾構(gòu)件11的半徑方向內(nèi)側(cè)的中心部空間；上部端蓋17，熔接于過(guò)濾構(gòu)件11及濾芯構(gòu)件13 的上部；及底部端蓋18，熔接于過(guò)濾構(gòu)件11及濾芯構(gòu)件13的底部。濾芯構(gòu)件13具有沿濾 芯軸線的中心部流路14，與上部及底部端蓋17、18的中心部流路14相對(duì)應(yīng)的部分作為該流 路的延長(zhǎng)部分而開(kāi)口。圖2及圖3是濾芯構(gòu)件13的主視圖及橫剖視圖。在濾芯構(gòu)件13外周面的外周全 域上形成有作為凹部的多個(gè)螺旋狀槽16，相對(duì)于槽16相對(duì)地突出的凸部15以螺旋狀殘留 在槽_槽之間。相對(duì)于與螺旋槽16的濾芯軸線垂直的面的傾斜角度設(shè)定為45度，各槽16 的底部截面為沒(méi)有角部的大致半球形(參照?qǐng)D3)(在圖2中為了使凹凸清楚，適宜地表示 為在槽16的底部具有角部)。而且，在上述端蓋17上，與槽16相對(duì)應(yīng)的部分局部開(kāi)口(參 照?qǐng)D1)。由于濾芯構(gòu)件13外周的槽16在基于左右一對(duì)半模的成形中很難脫模，所以通過(guò) 從濾芯外周面進(jìn)行切削加工來(lái)形成。在上述過(guò)濾器單元1中，從蓋體入口 31導(dǎo)入過(guò)濾器單元1內(nèi)的被過(guò)濾液經(jīng)由入口 流路31，進(jìn)入中心部流路14，沿中心部流路14下降至底部流路40，之后從底部流路40到 達(dá)側(cè)部流路41。此后被過(guò)濾液向半徑方向內(nèi)側(cè)經(jīng)過(guò)過(guò)濾構(gòu)件11而被過(guò)濾。該過(guò)濾時(shí)，濾 芯構(gòu)件13外周的凸部15支撐因流體壓力而被壓向半徑方向內(nèi)側(cè)的過(guò)濾構(gòu)件11的內(nèi)周部。 而且，過(guò)濾液進(jìn)入濾芯構(gòu)件13外周的槽16內(nèi)，沿槽16上升，經(jīng)由出口路徑32’從蓋體出口32吐出。由于在以上的過(guò)濾器單元1中廢除了以往的過(guò)濾器單元中的形成在半徑方向外 側(cè)的多孔筒和半徑方向內(nèi)側(cè)的無(wú)孔筒之間的中心部外側(cè)流路，所以不再需要容易殘存氣泡 的上述多孔筒，能夠提高空氣去除性能。而且，能夠縮小大致中心部外側(cè)流路部分的滯留體 積從而減少殘液量。而且，還能夠消減不需要多孔筒部分的過(guò)濾器芯子10的制造成本。圖4表示作為濾芯構(gòu)件的其它例子能夠用左右一對(duì)半模來(lái)成形的例子，在該濾芯 構(gòu)件13’的外周上設(shè)置有多個(gè)單位形狀為橫長(zhǎng)方形的凸部15’和縱向長(zhǎng)度與凸部15’大致 相同且橫向 長(zhǎng)度比凸部15’的一半稍短的矩形單位形狀的凹部16’，凹部16’從下方向上方 在對(duì)角線方向上連續(xù)地形成為螺旋狀的槽。由于濾芯構(gòu)件13’能夠通過(guò)模成形來(lái)得到外周 的凹凸16’、15’，所以與需要切削的濾芯13相比凹凸的制造較為容易。
權(quán)利要求
一種過(guò)濾器單元，具備過(guò)濾器芯子，包括圓筒狀過(guò)濾構(gòu)件及配置在過(guò)濾構(gòu)件中心部的圓筒狀濾芯構(gòu)件；外殼，收容過(guò)濾器芯子；及外殼蓋體，具有被過(guò)濾液的入口及過(guò)濾液的出口，濾芯構(gòu)件具有與所述入口連通的中心部流路，在外殼內(nèi)分別在過(guò)濾器芯子的下方形成有底部流路、在過(guò)濾器芯子的半徑方向外側(cè)形成有側(cè)部流路，從入口導(dǎo)入的被過(guò)濾液經(jīng)由所述中心部流路被輸送至底部流路，之后從底部流路被輸送至側(cè)部流路，從側(cè)部流路向半徑方向內(nèi)側(cè)經(jīng)過(guò)過(guò)濾構(gòu)件而被過(guò)濾后，沿濾芯構(gòu)件外周流向出口，其特征在于，在所述濾芯構(gòu)件的外周設(shè)置有凸部，過(guò)濾時(shí)支撐所述過(guò)濾構(gòu)件的內(nèi)周部；及凹部，將向半徑方向內(nèi)側(cè)經(jīng)過(guò)過(guò)濾構(gòu)件的過(guò)濾液引導(dǎo)向所述出口。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的過(guò)濾器單元，其中，所述凹部形成螺旋狀的槽。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的過(guò)濾器單元，其中，所述槽的底部為沒(méi)有角的形狀。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的過(guò)濾器單元，其中，所述螺旋狀槽相對(duì)于與所述濾芯構(gòu)件 的軸線垂直的面的傾斜角度為40度至50度。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的過(guò)濾器單元，其中，所述濾芯構(gòu)件外周的凸部及凹部使用多 個(gè)模來(lái)成形。
6.一種過(guò)濾器芯子，具備圓筒狀的過(guò)濾構(gòu)件、和配置在過(guò)濾構(gòu)件中心部的具有中心部 流路的濾芯構(gòu)件，從外部被導(dǎo)入的被過(guò)濾液經(jīng)過(guò)了中心部流路后，被輸送至過(guò)濾構(gòu)件的半 徑方向外側(cè)，之后向半徑方向內(nèi)側(cè)經(jīng)過(guò)過(guò)濾構(gòu)件而被過(guò)濾，該過(guò)濾液沿濾芯構(gòu)件外周流向 出口，其特征在于，在所述濾芯構(gòu)件的外周設(shè)置有凸部，過(guò)濾時(shí)支撐所述過(guò)濾構(gòu)件的內(nèi)周部；及凹部，將 向半徑方向內(nèi)側(cè)經(jīng)過(guò)了過(guò)濾構(gòu)件的過(guò)濾液引導(dǎo)向外部。
全文摘要
提供一種過(guò)濾器單元，在使被過(guò)濾液流經(jīng)中心部流路→底部流路→側(cè)部流路的類型的過(guò)濾器單元中，能夠提高空氣去除性能，并且，能夠縮小所謂的滯留體積以減少殘液量。過(guò)濾器單元，從蓋體(30)的入口(31)導(dǎo)入外殼(20)內(nèi)的被過(guò)濾液經(jīng)由濾芯構(gòu)件(13)的中心部流路(14)輸送至底部流路(40)，之后從底部流路(40)輸送至側(cè)部流路(41)，從側(cè)部流路(41)向半徑方向內(nèi)側(cè)經(jīng)過(guò)過(guò)濾構(gòu)件(11)并被過(guò)濾后，沿濾芯構(gòu)件外周流向蓋體(30)的出口(32)，在濾芯構(gòu)件(13)的外周設(shè)置有凸部(15)，過(guò)濾時(shí)支撐過(guò)濾構(gòu)件(11)的內(nèi)周部；及凹部(16)，將向半徑方向內(nèi)側(cè)經(jīng)過(guò)過(guò)濾構(gòu)件(11)的過(guò)濾液引導(dǎo)向出口(32)。凹部(16)能夠形成為螺旋狀的槽。
文檔編號(hào)B01D27/08GK101868288SQ200880117149
公開(kāi)日2010年10月20日 申請(qǐng)日期2008年10月21日 優(yōu)先權(quán)日2007年11月29日
發(fā)明者鈴木靖二 申請(qǐng)人:安格斯公司