專利名稱：半導(dǎo)體廢氣處理的酸堿中和裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體廢氣處理的酸堿中和裝置，特別是一種針對(duì)半導(dǎo)體廢氣洗 滌塔內(nèi)洗滌用混合液的酸堿值進(jìn)行控管及調(diào)整的裝置技術(shù)。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有技術(shù)中用于半導(dǎo)體光電產(chǎn)業(yè)的廢氣凈化設(shè)備，主要以濕式廢氣洗滌塔為主， 該濕式廢氣洗滌塔的種類，概可分為二類，包括填充式洗滌塔與噴霧式洗滌塔。其中，該噴霧式洗滌塔為一密閉結(jié)構(gòu)體，具有一進(jìn)氣端、一出氣端及一排放口，且 噴霧式洗滌塔內(nèi)具有相通的一上層反應(yīng)腔室及一下層循環(huán)水槽，該反應(yīng)腔室連通該進(jìn)氣端 與出氣端，該循環(huán)水槽連通該排放口，且該反應(yīng)腔室內(nèi)設(shè)有一個(gè)或多個(gè)噴嘴，凈化廢氣用的 中和液可經(jīng)由該噴嘴霧化噴出，并充滿于該反應(yīng)腔室內(nèi)；如此，當(dāng)廢氣自進(jìn)氣端進(jìn)入噴霧式 洗滌塔的反應(yīng)腔室內(nèi)時(shí)，會(huì)接觸該霧化的中和液，而使廢氣中的粉塵或有害物質(zhì)溶入該霧 化的中和液中，據(jù)以分離出污水、污泥與凈化的氣體，該凈化的氣體由出氣端向外界排放， 該污水或污泥會(huì)隨著中和液落入下方的循環(huán)水槽內(nèi)，該循環(huán)水槽內(nèi)的中和液接受過濾而可 供繼續(xù)使用，過濾后的中和液經(jīng)由排放口排出，經(jīng)回收而送至反應(yīng)腔室內(nèi)，以重復(fù)過濾廢 氣。上述中和液的酸堿值，依據(jù)該中和液所欲過濾的廢氣的酸堿值來(lái)決定，且該廢氣 的酸堿值依據(jù)半導(dǎo)體的制程而定；因此，當(dāng)所欲過濾的廢氣呈酸性時(shí)，提供堿性中和液，當(dāng) 所欲過濾的廢氣呈堿性時(shí)，提供酸性中和液。惟，上述噴霧式洗滌塔的循環(huán)水槽內(nèi)的中和液，會(huì)受到不同半導(dǎo)體制程的廢氣的 影響，而變成酸性或堿性液體，于該中和液重復(fù)使用一段時(shí)間后，會(huì)導(dǎo)致該中和液的酸堿值 過高的問題，造成該中和液腐蝕洗滌塔及其周邊設(shè)備的零件的現(xiàn)象，縮短洗滌塔及其周邊 設(shè)備的使用壽命，同時(shí)也會(huì)造成維修上的困難與危險(xiǎn)，亟需加以改善。

發(fā)明內(nèi)容
為克服上述現(xiàn)有技術(shù)中所揭的問題，本發(fā)明的目的旨在提供一種半導(dǎo)體廢氣處理 的酸堿中和裝置，尤其是一種能夠自動(dòng)偵測(cè)、控管及調(diào)整半導(dǎo)體廢氣洗滌塔內(nèi)的洗滌用混 合液的酸堿值者，以提升該洗滌塔及其周邊設(shè)備的耐久使用壽命，并提升維修上的便利性 與安全性。為實(shí)現(xiàn)上述的目的，本發(fā)明半導(dǎo)體廢氣處理的酸堿中和裝置，包括一自動(dòng)吸入器，連接一噴嘴，且該噴嘴延伸至一廢氣洗滌塔內(nèi)，該廢氣洗滌塔內(nèi)具 相通的一上層反應(yīng)腔室及一下層循環(huán)水槽，且該噴嘴座落于該反應(yīng)腔室內(nèi)；一清水供應(yīng)端，連接該自動(dòng)吸入器，以供應(yīng)清水至該自動(dòng)吸入器；一中和液供應(yīng)端，連接該自動(dòng)吸入器，以供應(yīng)中和液至該自動(dòng)吸入器，該中和液供 應(yīng)端并連接該循環(huán)水槽，且該自動(dòng)吸入器內(nèi)的該清水與該中和液混合形成一混合液，并排 流至該噴嘴；及
一氮?dú)夤?yīng)端，連接該噴嘴，以供應(yīng)氮?dú)饧訅涸摶旌弦撼熟F狀噴灑至該反應(yīng)腔室 內(nèi)，而使該混合液與該反應(yīng)腔室內(nèi)的廢氣反應(yīng)，并流入該循環(huán)水槽內(nèi)，該中和液供應(yīng)端間隔 定量供應(yīng)中和液至該循環(huán)水槽內(nèi)，以中和該循環(huán)水槽內(nèi)的混合液，且該中和液供應(yīng)端于該 循環(huán)水槽內(nèi)的混合液的酸堿值超過一預(yù)設(shè)范圍時(shí)，持續(xù)加量供應(yīng)中和液至該循環(huán)水槽內(nèi)， 以中和該循環(huán)水槽內(nèi)的混合液。據(jù)此，該中和液供應(yīng)端能夠間隔定量供應(yīng)中和液至該循環(huán)水槽內(nèi)，以平衡混合液 的酸堿值，并于混合液的酸堿值過高時(shí)，持續(xù)供應(yīng)大量中和液至該循環(huán)水槽內(nèi)與混合液進(jìn) 行酸堿中和，以達(dá)到自動(dòng)偵測(cè)、控管及調(diào)整半導(dǎo)體廢氣洗滌塔內(nèi)混合液的酸堿值的目的，進(jìn) 而提升該洗滌塔及其周邊設(shè)備的耐久使用壽命，并提升維修上的便利性與安全性。此外，本發(fā)明更加包含一酸堿值控制器，該酸堿值的預(yù)設(shè)范圍設(shè)定于該控制器內(nèi)；一酸堿值偵測(cè)器，連接該控制器，且該偵測(cè)器具一延伸至該循環(huán)水槽內(nèi)的偵測(cè)元 件，以偵測(cè)該循環(huán)水槽內(nèi)混合液的酸堿值，并提供至控制器，而與該酸堿值的預(yù)設(shè)范圍進(jìn)行 比對(duì)；一第一閥體，串接于該清水供應(yīng)端與該自動(dòng)吸入器之間，并接受該控制器控制，而 啟、閉清水供應(yīng)至該自動(dòng)吸入器；一第二閥體，串接于該中和液供應(yīng)端與該自動(dòng)吸入器之間，并接受該控制器控制， 而啟、閉中和液供應(yīng)至該自動(dòng)吸入器；及一第三閥體，串接于該中和液供應(yīng)端與該循環(huán)水槽之間，并接受該控制器控制，而 啟、閉中和液供應(yīng)至該循環(huán)水槽。其中，所述清水供應(yīng)端與該自動(dòng)吸入器之間串接一調(diào)整閥，以調(diào)整供應(yīng)清水至該自動(dòng)吸 入器的流量。所述中和液供應(yīng)端與該自動(dòng)吸入器之間串接一隔膜閥，以調(diào)整供應(yīng)中和液至該自 動(dòng)吸入器的流量。然而，為能明確且充分揭露本發(fā)明，并予列舉出較佳實(shí)施例，請(qǐng)配合參照?qǐng)D式而詳 細(xì)說明如后述


圖1揭示出本發(fā)明較佳實(shí)施例的配置示意圖；圖2揭示出圖1的實(shí)施狀態(tài)圖。附圖標(biāo)記說明1-廢氣洗滌塔；11-反應(yīng)腔室；12-循環(huán)水槽；13-進(jìn)氣端；14-出氣端；15-排放 口 ；161,162-隔板；17-下水孔；2-自動(dòng)吸入器；21-噴嘴；210、30、401、402_水管；3-清 水供應(yīng)端；31-第一閥體；310、410、420、50_氣管；32-調(diào)整閥；33、44、52_手閥；34、45_流 量計(jì)；35,46,53-感測(cè)器；36,47-逆止閥；4-中和液供應(yīng)端；41-第二閥體；42-第三閥體； 43-隔膜閥；5-氮?dú)夤?yīng)端；51-第四電磁閥；6-控制器；7-酸堿值偵測(cè)器；70、80_信號(hào)導(dǎo) 線；71-偵測(cè)元件；8-高壓空氣供應(yīng)端；81-第一電磁閥；82-第二電磁閥；83-第三電磁閥； 9、91-混合液。
具體實(shí)施例方式請(qǐng)參閱圖1所示，揭示出本發(fā)明較佳實(shí)施例的配置示意圖，說明本發(fā)明半導(dǎo)體廢 氣處理的酸堿中和裝置，包括一自動(dòng)吸入器2、一清水供應(yīng)端3、一中和液供應(yīng)端4及一氮?dú)?供應(yīng)端5 ；該自動(dòng)吸入器2利用一水管210連接一噴嘴21，且該噴嘴21延伸至一廢氣洗滌 塔1內(nèi)，該廢氣洗滌塔1內(nèi)設(shè)有相通的一上層反應(yīng)腔室11及一下層循環(huán)水槽12，且該噴嘴 21座落于該反應(yīng)腔室11內(nèi)；該清水供應(yīng)端3利用一水管30連接該自動(dòng)吸入器2，能夠供應(yīng) 清水至自動(dòng)吸入器2，該中和液供應(yīng)端4利用二水管401、402分別連接該自動(dòng)吸入器2及該 循環(huán)水槽12，能夠分別供應(yīng)中和液至自動(dòng)吸入器2及循環(huán)水槽12，該氮?dú)夤?yīng)端5利用一 氣管50連接該噴嘴21。本發(fā)明半導(dǎo)體廢氣處理的酸堿中和裝置更加包含一酸堿值控制器6、一酸堿值偵 測(cè)器7、一第一閥體31、一第二閥體41及一第三閥體42 (如圖1所示)；該控制器6在本實(shí) 施上可為一可程式控制器(PLC)，且控制器6內(nèi)部設(shè)定有一酸堿值的預(yù)設(shè)范圍，該酸堿值偵 測(cè)器7利用一信號(hào)導(dǎo)線70連接該控制器6，且該偵測(cè)器7具一延伸至該循環(huán)水槽12內(nèi)的酸 堿值偵測(cè)元件71，該偵測(cè)元件71能提供酸堿值偵測(cè)信號(hào)至控制器6，而與該酸堿值的預(yù)設(shè) 范圍進(jìn)行比對(duì)。該第一閥體31串接于該清水供應(yīng)端3與該自動(dòng)吸入器2之間的水管30上(如圖 1所示)，且第一閥體31利用一氣管310連接一高壓空氣供應(yīng)端8，并于該第一閥體31與 高壓空氣供應(yīng)端8之間的氣管310上設(shè)一第一電磁閥81，且第一電磁閥81利用一信號(hào)導(dǎo) 線80連接控制器6，該控制器6可藉由控制第一電磁閥81，以驅(qū)動(dòng)高壓空氣供應(yīng)端8的高 壓空氣啟、閉第一閥體31，進(jìn)而啟、閉清水供應(yīng)至該自動(dòng)吸入器2。該第二閥體41串接于該中和液供應(yīng)端4與該自動(dòng)吸入器2之間的水管401上(如 圖1所示)，且第二閥體41利用一氣管410連接該高壓空氣供應(yīng)端8，并于該第二閥體41 與高壓空氣供應(yīng)端8之間的氣管410上設(shè)一第二電磁閥82，且第二電磁閥82利用該信號(hào)導(dǎo) 線80連接控制器6，該控制器6可藉由控制第二電磁閥82，以驅(qū)動(dòng)高壓空氣供應(yīng)端8的高 壓空氣啟、閉第二閥體41，進(jìn)而啟、閉中和液供應(yīng)至該自動(dòng)吸入器2。該第三閥體42串接于該中和液供應(yīng)端4與該循環(huán)水槽12之間的水管402上(如 圖1所示)，且第三閥體42利用一氣管420連接該高壓空氣供應(yīng)端8，并于該第三閥體42 與高壓空氣供應(yīng)端8之間的氣管420上設(shè)一第三電磁閥83，且第三電磁閥83利用該信號(hào)導(dǎo) 線80連接控制器6，該控制器6可藉由控制第三電磁閥83，以驅(qū)動(dòng)高壓空氣供應(yīng)端8的高 壓空氣啟、閉第三閥體42，進(jìn)而啟、閉中和液供應(yīng)至該循環(huán)水槽12內(nèi)。此外，本發(fā)明也包括所述廢氣洗滌塔1為一密閉結(jié)構(gòu)體(如圖1所示)，具有一進(jìn)氣端13、一出氣端14 及一排放口 15，該反應(yīng)腔室11與該循環(huán)水槽12之間利用若干下水孔17相連通，且該反應(yīng) 腔室11連通該進(jìn)氣端13與該出氣端14，該噴嘴21鄰近該出氣端14，該進(jìn)氣端13與出氣 端14之間的反應(yīng)腔室11內(nèi)，間隔有多個(gè)相通的隔板161，該循環(huán)水槽12連通該排放口 15， 且循環(huán)水槽12內(nèi)也間隔有多個(gè)相通的隔板162。所述清水供應(yīng)端3與該自動(dòng)吸入器2之間的水管30上串接一調(diào)整閥32(如圖1 所示)，座落于該第一閥體31與自動(dòng)吸入器2之間，用以微量調(diào)整供應(yīng)清水至該自動(dòng)吸入器 2的流量。
所述清水供應(yīng)端3與該自動(dòng)吸入器2之間的水管30上也串接有一手閥33、一流量 計(jì)34、一感測(cè)器35及一逆止閥36 (如圖1所示)。所述中和液供應(yīng)端4與該自動(dòng)吸入器2之間的水管401上串接一隔膜閥43 (如圖 1所示)，座落于該第二閥體41與自動(dòng)吸入器2之間，用以微量調(diào)整供應(yīng)中和液至該自動(dòng)吸 入器2的流量。所述中和液供應(yīng)端4與該自動(dòng)吸入器2之間的水管401上也串接有一手閥44、一 流量計(jì)45、一感測(cè)器46及一逆止閥47(如圖1所示)。所述氮?dú)夤?yīng)端5與噴嘴21之間的氣管50上也串接有一第四電磁閥51、一手閥 52及一感測(cè)器53(如圖1所示)。依據(jù)上述構(gòu)件組成，可供據(jù)以實(shí)施本發(fā)明，包括下列步驟(1)使用該酸堿值偵測(cè)器7的偵測(cè)元件71，(如圖2所示)持續(xù)于循環(huán)水槽12內(nèi) 進(jìn)行酸堿值偵測(cè)。(2)控制器6開啟第一及第二閥體31、41 (如圖2所示)，令清水供應(yīng)端3供應(yīng)清 水至該自動(dòng)吸入器2，且令中和液供應(yīng)端4供應(yīng)中和液至該自動(dòng)吸入器2，而使自動(dòng)吸入器 2內(nèi)的清水與中和液混合形成一混合液9，并排流至該噴嘴21，同時(shí)該氮?dú)夤?yīng)端5供應(yīng)氮 氣至噴嘴21，以加壓該混合液9呈霧化狀噴灑至該反應(yīng)腔室11內(nèi)，并經(jīng)由該等下水孔17落 入該循環(huán)水槽12內(nèi)蓄積，該偵測(cè)元件71可持續(xù)偵測(cè)循環(huán)水槽12內(nèi)的混合液91的酸堿值， 并持續(xù)提供酸堿值偵測(cè)信號(hào)至控制器6。(3)控制器6間隔開啟第三閥體42 (如圖2所示)，令中和液供應(yīng)端4間隔定量供 應(yīng)中和液至該循環(huán)水槽12內(nèi)，致使循環(huán)水槽12內(nèi)的混合液91保持在酸堿平衡的狀態(tài)。(4)該進(jìn)氣端13將半導(dǎo)體制程中所產(chǎn)生的廢氣導(dǎo)入該反應(yīng)腔室11內(nèi)(如圖2所 示)，而使該廢氣沿著隔板161向出氣端14流動(dòng)，且該廢氣于鄰近出氣端14的位置與霧化 狀的混合液9接觸，促使廢氣中的粉塵或有害物質(zhì)溶入該霧化的混合液9中，據(jù)以分離出污 水、污泥與凈化的氣體，該凈化的氣體由出氣端14向外界排放，該污水或污泥會(huì)隨著混合 液9經(jīng)由該等下水孔17落入下方的循環(huán)水槽12內(nèi)蓄積，而與該循環(huán)水槽12內(nèi)的保持在酸 堿平衡狀態(tài)的混合液91中和，并接受隔板162過濾而成可供繼續(xù)使用的混合液，再經(jīng)由排 放口 15排出，經(jīng)回收而再次輸送至反應(yīng)腔室11內(nèi)，以重復(fù)過濾廢氣。(5)當(dāng)偵測(cè)器7偵測(cè)出循環(huán)水槽12內(nèi)的混合液91的酸堿值超過該預(yù)設(shè)范圍時(shí)(如 圖2所示)，控制器6持續(xù)開啟第三閥體42，令中和液供應(yīng)端4直接供應(yīng)大量中和液至該循 環(huán)水槽12內(nèi)，以快速中和該循環(huán)水槽12內(nèi)的混合液91。上述循環(huán)水槽12內(nèi)的混合液91為PH值> 7時(shí)，表示該混合液91呈酸性，該中和 液應(yīng)為堿性溶液；該循環(huán)水槽12內(nèi)的混合液91為PH值< 7時(shí)，表示該混合液91呈堿性， 該中和液應(yīng)為酸性溶液，賴以平衡混合液91的酸堿值。依據(jù)上述可知，該中和液供應(yīng)端4能夠間隔定量供應(yīng)中和液至該循環(huán)水槽12內(nèi)， 以平衡循環(huán)水槽12內(nèi)混合液91的酸堿值，并于混合液91的酸堿值過高時(shí)，持續(xù)加量供應(yīng) 中和液至該循環(huán)水槽12內(nèi)，以平衡(也就是中和)混合液91的酸堿值；如此，即可自動(dòng)偵 測(cè)、控管及調(diào)整半導(dǎo)體廢氣洗滌塔1內(nèi)洗滌用混合液的酸堿值，進(jìn)而提升該洗滌塔及其周 邊設(shè)備的耐久使用壽命，并提升維修上的便利性與安全性。雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何本領(lǐng)域普通技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作些許的更動(dòng)與潤(rùn)飾，因此本發(fā)明的保 護(hù)范圍以權(quán)利要求保護(hù)范圍所界定為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
一種半導(dǎo)體廢氣處理的酸堿中和裝置，其特征在于，包括一自動(dòng)吸入器，連接一噴嘴，且該噴嘴延伸至一廢氣洗滌塔內(nèi)，該廢氣洗滌塔內(nèi)具相通的一上層反應(yīng)腔室及一下層循環(huán)水槽，且該噴嘴座落于該反應(yīng)腔室內(nèi)；一清水供應(yīng)端，連接該自動(dòng)吸入器，以供應(yīng)清水至該自動(dòng)吸入器；一中和液供應(yīng)端，連接該自動(dòng)吸入器，以供應(yīng)中和液至該自動(dòng)吸入器，該中和液供應(yīng)端并連接該循環(huán)水槽，且該自動(dòng)吸入器內(nèi)的該清水與該中和液混合形成一混合液，并排流至該噴嘴；及一氮?dú)夤?yīng)端，連接該噴嘴，以供應(yīng)氮?dú)饧訅涸摶旌弦撼熟F狀噴灑至該反應(yīng)腔室內(nèi)，而使該混合液與該反應(yīng)腔室內(nèi)的廢氣反應(yīng)，并流入該循環(huán)水槽內(nèi)，且該中和液供應(yīng)端于該循環(huán)水槽內(nèi)的混合液的酸堿值超過一預(yù)設(shè)范圍時(shí)，供應(yīng)中和液至該循環(huán)水槽內(nèi)，以中和該循環(huán)水槽內(nèi)的混合液。
2.如權(quán)利要求1所述半導(dǎo)體廢氣處理的酸堿中和裝置，其特征在于，更加包含一酸堿值控制器，該酸堿值的預(yù)設(shè)范圍設(shè)定于該控制器內(nèi)；一酸堿值偵測(cè)器，連接該控制器，且該偵測(cè)器具一延伸至該循環(huán)水槽內(nèi)的偵測(cè)元件，以 偵測(cè)該循環(huán)水槽內(nèi)混合液的酸堿值，并提供至該控制器，而與該酸堿值的預(yù)設(shè)范圍進(jìn)行比 對(duì)；一第一閥體，串接于該清水供應(yīng)端與該自動(dòng)吸入器之間，并接受該控制器控制，而啟、 閉清水供應(yīng)至該自動(dòng)吸入器；一第二閥體，串接于該中和液供應(yīng)端與該自動(dòng)吸入器之間，并接受該控制器控制，而 啟、閉中和液供應(yīng)至該自動(dòng)吸入器；及一第三閥體，串接于該中和液供應(yīng)端與該循環(huán)水槽之間，并接受該控制器控制，而啟、 閉中和液供應(yīng)至該循環(huán)水槽。
3.如權(quán)利要求1或2所述半導(dǎo)體廢氣處理的酸堿中和裝置，其特征在于該清水供應(yīng) 端與該自動(dòng)吸入器之間串接一調(diào)整閥，以調(diào)整供應(yīng)清水至該自動(dòng)吸入器的流量。
4.如權(quán)利要求1或2所述半導(dǎo)體廢氣處理的酸堿中和裝置，其特征在于該中和液供 應(yīng)端與該自動(dòng)吸入器之間串接一隔膜閥，以調(diào)整供應(yīng)中和液至該自動(dòng)吸入器的流量。
全文摘要
一種半導(dǎo)體廢氣處理的酸堿中和裝置，在一廢氣洗滌塔的一反應(yīng)腔室內(nèi)設(shè)一自動(dòng)吸入器的噴嘴，且自動(dòng)吸入器連接一清水供應(yīng)端及一中和液供應(yīng)端，以供應(yīng)清水及中和液至自動(dòng)吸入器混合成一混合液，并排流至噴嘴，以噴灑至反應(yīng)腔室內(nèi)，而使混合液與反應(yīng)腔室內(nèi)的廢氣反應(yīng)，并流入廢氣洗滌塔的一循環(huán)水槽內(nèi)，且中和液供應(yīng)端連接循環(huán)水槽，于循環(huán)水槽內(nèi)的混合液酸堿值超過一預(yù)設(shè)范圍時(shí)，中和液供應(yīng)端能供應(yīng)中和液至循環(huán)水槽內(nèi)，以中和循環(huán)水槽內(nèi)的混合液，據(jù)以提升洗滌塔及其周邊設(shè)備的耐久使用壽命，并提升維修上的便利性與安全性。
文檔編號(hào)B01D53/78GK101890280SQ200910143379
公開日2010年11月24日 申請(qǐng)日期2009年5月22日 優(yōu)先權(quán)日2009年5月22日
發(fā)明者馮五良 申請(qǐng)人:東服企業(yè)股份有限公司