專利名稱：尾氣處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā) 明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及尾氣處理裝置。
背景技術(shù)：
尾氣處理裝置是半導(dǎo)體器件制造過(guò)程中必不可少的一個(gè)裝置。通過(guò)尾氣處理裝 置對(duì)例如成膜工藝中產(chǎn)生的有毒有害氣體進(jìn)行無(wú)害化處理后再排放，可以避免有毒有害 氣體污染環(huán)境。例如，中國(guó)實(shí)用新型專利200620084626.6中公開(kāi)的PECVD裝置中就包 括有尾氣處理裝置。目前，業(yè)界普遍采用的尾氣處理裝置有電加熱型的尾氣處理裝置以及常壓電漿 型的尾氣處理裝置。但是，現(xiàn)今使用的各種尾氣處理裝置由于長(zhǎng)時(shí)間開(kāi)啟尾氣處理功 能，會(huì)產(chǎn)生很大的電力消耗。過(guò)大的電力消耗不僅會(huì)浪費(fèi)電力資源，而且也會(huì)影響尾氣 的處理效率。因此，需要開(kāi)發(fā)一種新型尾氣處理裝置以減少電力消耗。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種能有效降低能源消耗的尾氣處理裝置。為解決上述問(wèn)題，本發(fā)明提供一種尾氣處理裝置，包括監(jiān)測(cè)單元，監(jiān)測(cè)尾氣狀態(tài)；控制單元，在監(jiān)測(cè)單元獲得的尾氣狀態(tài)達(dá)到尾氣處理閾值時(shí)，產(chǎn)生尾氣處理信 號(hào)；處理單元，在獲得控制單元產(chǎn)生的尾氣處理信號(hào)后，對(duì)尾氣進(jìn)行無(wú)害化處理。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明尾氣處理裝置具有以下優(yōu)點(diǎn)控制單元僅在監(jiān)測(cè)單元 獲得的尾氣狀態(tài)達(dá)到尾氣處理閾值時(shí)，才控制處理單元進(jìn)行尾氣處理。通過(guò)此種手段， 減少了尾氣處理裝置不需進(jìn)行尾氣處理時(shí)的電力消耗。相應(yīng)地，尾氣處理裝置的處理效 率也因電力消耗的減少而有所提高。


圖1是本發(fā)明尾氣處理裝置的一種實(shí)施方式結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本發(fā)明尾氣處理裝置的一種實(shí)施例結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本發(fā)明尾氣處理裝置的另一種實(shí)施例結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是本發(fā)明尾氣處理裝置的再一種實(shí)施例結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式參照?qǐng)D1所示，本發(fā)明尾氣處理裝置的一種實(shí)施方式包括監(jiān)測(cè)單元10，監(jiān)測(cè)尾氣狀態(tài)；控制單元20，在監(jiān)測(cè)單元10獲得的尾氣狀態(tài)達(dá)到尾氣處理閾值時(shí)，產(chǎn)生尾氣處
理信號(hào)；
處理單元30，在獲得控制單元20產(chǎn)生的尾氣處理信號(hào)后，對(duì)尾氣進(jìn)行無(wú)害化處理。上述實(shí)施方式中，監(jiān)測(cè)單元10和控制單元20構(gòu)成觸發(fā)尾氣處理的觸發(fā)裝置，僅在監(jiān)測(cè)單元10所監(jiān)測(cè)的機(jī)臺(tái)設(shè)備(例如PECVD設(shè)備)的尾氣狀態(tài)達(dá)到尾氣處理閾值時(shí)， 即需要進(jìn)行尾氣處理時(shí)，才控制處理單元30開(kāi)啟尾氣處理功能。如此，在尾氣狀態(tài)未達(dá) 到尾氣處理閾值時(shí)，處理單元30的尾氣處理功能就不會(huì)開(kāi)啟，從而減少了尾氣無(wú)需處理 時(shí)開(kāi)啟尾氣處理功能所產(chǎn)生的電力消耗。在一種實(shí)施例中，所述監(jiān)測(cè)單元監(jiān)測(cè)的尾氣狀態(tài)可以是機(jī)臺(tái)啟動(dòng)信號(hào)，而所述 尾氣處理閾值也是機(jī)臺(tái)啟動(dòng)信號(hào)。也就是說(shuō)，在機(jī)臺(tái)設(shè)備啟動(dòng)時(shí)，就開(kāi)啟尾氣處理功 能。在另一種實(shí)施例中，所述監(jiān)測(cè)單元監(jiān)測(cè)的尾氣狀態(tài)可以是有毒有害氣體含量。 也就是說(shuō)，當(dāng)尾氣中含有的有毒有害氣體含量超過(guò)設(shè)計(jì)含量(尾氣處理閾值)時(shí)，就開(kāi)啟 尾氣處理功能。在再一種實(shí)施例中，所述監(jiān)測(cè)單元監(jiān)測(cè)尾氣狀態(tài)可以是同時(shí)監(jiān)測(cè)機(jī)臺(tái)啟動(dòng)信 號(hào)、有毒有害氣體含量。也就是說(shuō)，在機(jī)臺(tái)啟動(dòng)后，當(dāng)尾氣中含有的有毒有害氣體含量 超過(guò)設(shè)計(jì)含量(尾氣處理閾值)時(shí)，就開(kāi)啟尾氣處理功能。以下結(jié)合附圖分別對(duì)前述三種實(shí)施例作詳細(xì)說(shuō)明。參照?qǐng)D2所示，其顯示監(jiān)測(cè)單元監(jiān)測(cè)的尾氣狀態(tài)為機(jī)臺(tái)啟動(dòng)信號(hào)的實(shí)施例，本 實(shí)施例中尾氣處理裝置包括機(jī)臺(tái)信號(hào)獲取單元11，獲取機(jī)臺(tái)啟動(dòng)信號(hào)；信號(hào)產(chǎn)生單元21，在獲得機(jī)臺(tái)啟動(dòng)信號(hào)后，產(chǎn)生尾氣處理信號(hào)；選擇閥32，在未獲得尾氣處理信號(hào)時(shí)，將干泵31抽取的機(jī)臺(tái)尾氣直接傳輸至排 氣單元33進(jìn)行排放；在獲得尾氣處理信號(hào)后，將機(jī)臺(tái)尾氣傳輸至無(wú)害化處理單元34，同 時(shí)向無(wú)害化處理單元34發(fā)送尾氣處理信號(hào)，并向電磁閥35發(fā)送啟動(dòng)信號(hào)；無(wú)害化處理單元34，在獲得尾氣處理信號(hào)后，啟動(dòng)對(duì)所獲得的機(jī)臺(tái)尾氣的無(wú)害 化處理，并在處理后將尾氣傳輸至排氣單元33進(jìn)行排放；電磁閥35，在獲得啟動(dòng)信號(hào)后，將壓縮空氣源36提供的壓縮空氣傳輸至無(wú)害化 處理單元34中，輔助無(wú)害化處理。本實(shí)施例中，機(jī)臺(tái)信號(hào)獲取單元11作為監(jiān)測(cè)尾氣狀態(tài)(機(jī)臺(tái)啟動(dòng)信號(hào))的監(jiān)測(cè) 單元，其與信號(hào)產(chǎn)生單元21 (控制單元)構(gòu)成觸發(fā)尾氣處理的觸發(fā)裝置。當(dāng)機(jī)臺(tái)設(shè)備未啟動(dòng)時(shí)，也無(wú)機(jī)臺(tái)啟動(dòng)信號(hào)，可以認(rèn)為此時(shí)干泵31抽取的機(jī)臺(tái)尾 氣并無(wú)有毒有害氣體，可以直接排放，則選擇閥32直接將干泵31抽取的機(jī)臺(tái)尾氣傳輸至 排氣單元33進(jìn)行排放。而當(dāng)機(jī)臺(tái)設(shè)備啟動(dòng)時(shí)，也產(chǎn)生了機(jī)臺(tái)啟動(dòng)信號(hào)，可以認(rèn)為此時(shí)干泵31抽取的機(jī) 臺(tái)尾氣中已經(jīng)可能含有有毒有害氣體，為避免直接排放污染環(huán)境，需要進(jìn)行尾氣處理。 則選擇閥32在獲得信號(hào)產(chǎn)生單元21產(chǎn)生的尾氣處理信號(hào)后，停止向排氣單元33直接傳 輸機(jī)臺(tái)尾氣，而改為向無(wú)害化處理單元34傳輸機(jī)臺(tái)尾氣，并以尾氣處理信號(hào)作為啟動(dòng)無(wú) 害化處理單元34的啟動(dòng)信號(hào)，同時(shí)向電磁閥35發(fā)送啟動(dòng)信號(hào)，開(kāi)啟電磁閥，以向無(wú)害化 處理單元34中通入壓縮空氣，來(lái)輔助無(wú)害化處理。
參照?qǐng)D3所示，其顯示監(jiān)測(cè)單元監(jiān)測(cè)的尾氣狀態(tài)為有毒有害氣體含量的實(shí)施 例，本實(shí)施例中尾氣處理裝置包括傳感器12，獲取機(jī)臺(tái)尾氣中有毒有害氣體含量； 信號(hào)邏輯單元22，計(jì)算傳感器12獲取的機(jī)臺(tái)尾氣中有毒有害氣體含量是否超過(guò) 設(shè)計(jì)含量，若超過(guò)，則產(chǎn)生尾氣處理信號(hào)；選擇閥32，在未獲得尾氣處理信號(hào)時(shí)，將干泵31抽取的機(jī)臺(tái)尾氣直接傳輸至排 氣單元33進(jìn)行排放；在獲得尾氣處理信號(hào)后，將機(jī)臺(tái)尾氣傳輸至無(wú)害化處理單元34，同 時(shí)向無(wú)害化處理單元34發(fā)送尾氣處理信號(hào)，并向電磁閥35發(fā)送啟動(dòng)信號(hào)；無(wú)害化處理單元34，在獲得尾氣處理信號(hào)后，啟動(dòng)對(duì)所獲得的機(jī)臺(tái)尾氣的無(wú)害 化處理，并在處理后將尾氣傳輸至排氣單元33進(jìn)行排放；電磁閥35，在獲得啟動(dòng)信號(hào)后，將壓縮空氣源36提供的壓縮空氣傳輸至無(wú)害化 處理單元34中，輔助無(wú)害化處理。本實(shí)施例中，傳感器12作為監(jiān)測(cè)尾氣狀態(tài)(機(jī)臺(tái)尾氣中有毒有害氣體含量)的 監(jiān)測(cè)單元，其與信號(hào)邏輯單元22 (控制單元)構(gòu)成觸發(fā)尾氣處理的觸發(fā)裝置。當(dāng)機(jī)臺(tái)尾氣中的有毒有害氣體含量未超過(guò)設(shè)計(jì)含量時(shí)，可以認(rèn)為此時(shí)干泵31抽 取的機(jī)臺(tái)尾氣若直接排放不會(huì)污染環(huán)境，則選擇閥32直接將干泵31抽取的機(jī)臺(tái)尾氣傳輸 至排氣單元33進(jìn)行排放。當(dāng)機(jī)臺(tái)尾氣中的有毒有害氣體含量超過(guò)設(shè)計(jì)含量時(shí)，可以認(rèn)為此時(shí)干泵31抽取 的機(jī)臺(tái)尾氣若直接排放將污染環(huán)境，需要進(jìn)行尾氣處理。則選擇閥32在獲得信號(hào)邏輯單 元22產(chǎn)生的尾氣處理信號(hào)后，停止向排氣單元33直接傳輸機(jī)臺(tái)尾氣，而改為向無(wú)害化處 理單元34傳輸機(jī)臺(tái)尾氣，并以尾氣處理信號(hào)作為啟動(dòng)無(wú)害化處理單元34的啟動(dòng)信號(hào)，同 時(shí)向電磁閥35發(fā)送啟動(dòng)信號(hào)，開(kāi)啟電磁閥，以向無(wú)害化處理單元34中通入壓縮空氣，來(lái) 輔助無(wú)害化處理。參照?qǐng)D4所示，其顯示監(jiān)測(cè)單元監(jiān)測(cè)的尾氣狀態(tài)為同時(shí)監(jiān)測(cè)機(jī)臺(tái)啟動(dòng)信號(hào)、有 毒有害氣體含量的實(shí)施例，本實(shí)施例中尾氣處理裝置包括機(jī)臺(tái)信號(hào)獲取單元11，獲取機(jī)臺(tái)啟動(dòng)信號(hào)；傳感器12，獲取機(jī)臺(tái)尾氣中有毒有害氣體含量；信號(hào)邏輯單元23，經(jīng)由機(jī)臺(tái)啟動(dòng)信號(hào)啟動(dòng)，計(jì)算傳感器12獲取的機(jī)臺(tái)尾氣中有 毒有害氣體含量是否超過(guò)設(shè)計(jì)含量，若超過(guò)，則產(chǎn)生尾氣處理信號(hào)；選擇閥32，在未獲得尾氣處理信號(hào)時(shí)，將干泵31抽取的機(jī)臺(tái)尾氣直接傳輸至排 氣單元33進(jìn)行排放；在獲得尾氣處理信號(hào)后，將機(jī)臺(tái)尾氣傳輸至無(wú)害化處理單元34，同 時(shí)向無(wú)害化處理單元34發(fā)送尾氣處理信號(hào)，并向電磁閥35發(fā)送啟動(dòng)信號(hào)；無(wú)害化處理單元34，在獲得尾氣處理信號(hào)后，啟動(dòng)對(duì)所獲得的機(jī)臺(tái)尾氣的無(wú)害 化處理，并在處理后將尾氣傳輸至排氣單元33進(jìn)行排放；電磁閥35，在獲得啟動(dòng)信號(hào)后，將壓縮空氣源36提供的壓縮空氣傳輸至無(wú)害化 處理單元34中，輔助無(wú)害化處理。本實(shí)施例中，機(jī)臺(tái)信號(hào)獲取單元11和傳感器12共同作為監(jiān)測(cè)尾氣狀態(tài)(機(jī)臺(tái)啟 動(dòng)信號(hào)、有毒有害氣體含量)的監(jiān)測(cè)單元，其與信號(hào)邏輯單元23 (控制單元)構(gòu)成觸發(fā)尾 氣處理的觸發(fā)裝置。
當(dāng)機(jī)臺(tái)啟動(dòng)時(shí)，信號(hào)邏輯單元23也經(jīng)由機(jī)臺(tái)信號(hào)獲取單元11獲取的機(jī)臺(tái)啟動(dòng)信 號(hào)而啟動(dòng)，并實(shí)時(shí)計(jì)算傳感器12獲取的機(jī)臺(tái)尾氣中有毒有害氣體的含量。當(dāng)機(jī)臺(tái)尾氣中的有毒有害氣體含量未超過(guò)設(shè)計(jì)含量時(shí)，可以認(rèn)為此時(shí)干泵31抽 取的機(jī)臺(tái)尾氣若直接排放不會(huì)污染環(huán)境，則選擇閥32直接將干泵31抽取的機(jī)臺(tái)尾氣傳輸 至排氣單元33進(jìn)行排放。當(dāng)機(jī)臺(tái)尾氣中的有毒有害氣體含量超過(guò)設(shè)計(jì)含量時(shí)，可以認(rèn)為此時(shí)干泵31抽取 的機(jī)臺(tái)尾氣若直接排放將污染環(huán)境，需要進(jìn)行尾氣處理。則選擇閥32在獲得信號(hào)邏輯單 元22產(chǎn)生的尾氣處理信號(hào)后，停止向排氣單元33直接傳輸機(jī)臺(tái)尾氣，而改為向無(wú)害化處 理單元34傳輸機(jī)臺(tái)尾氣，并以尾氣處理信號(hào)作為啟動(dòng)無(wú)害化處理單元34的啟動(dòng)信號(hào)，同 時(shí)向電磁閥35發(fā)送啟動(dòng)信號(hào)，開(kāi)啟電磁閥，以向無(wú)害化處理單元34中通入壓縮空氣，來(lái) 輔助無(wú)害化處理。圖3和圖4所示尾氣處理裝置的實(shí)施例，由于是基于機(jī)臺(tái)尾氣中有毒有害氣體含 量來(lái)觸發(fā)尾氣處理，因而相對(duì)于圖2所示尾氣處理裝置的實(shí)施例，其電力消耗更少。相 應(yīng)地，尾氣處理的效率也更高。綜上所述，本發(fā)明尾氣處理裝置中，控制單元僅在監(jiān)測(cè)單元獲得的尾氣狀態(tài)達(dá) 到尾氣處理 閾值時(shí)，才控制處理單元進(jìn)行尾氣處理。通過(guò)此種手段，減少了尾氣處理裝 置不需進(jìn)行尾氣處理時(shí)的電力消耗。相應(yīng)地，尾氣處理裝置的處理效率也因電力消耗的 減少而有所提高。雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例披露如上，但本發(fā)明并非限定于此。任何本領(lǐng)域技 術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，均可作各種更動(dòng)與修改，因此本發(fā)明的保護(hù) 范圍應(yīng)當(dāng)以權(quán)利要求所限定的范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種尾氣處理裝置，其特征在于，包括監(jiān)測(cè)單元，監(jiān)測(cè)尾氣狀態(tài)；控制單元，在監(jiān)測(cè)單元獲得的尾氣狀態(tài)達(dá)到尾氣處理閾值時(shí)，產(chǎn)生尾氣處理信號(hào)；處理單元，在獲得控制單元產(chǎn)生的尾氣處理信號(hào)后，對(duì)尾氣進(jìn)行無(wú)害化處理。
2.如權(quán)利要求1所述的尾氣處理裝置，其特征在于，所述尾氣狀態(tài)和尾氣處理閾值為 機(jī)臺(tái)啟動(dòng)信號(hào)，所述監(jiān)測(cè)單元為機(jī)臺(tái)信號(hào)獲取單元，所述控制單元為信號(hào)產(chǎn)生單元，所 述信號(hào)產(chǎn)生單元在獲得機(jī)臺(tái)信號(hào)獲取單元獲取的機(jī)臺(tái)啟動(dòng)信號(hào)后，產(chǎn)生尾氣處理信號(hào)。
3.如權(quán)利要求1所述的尾氣處理裝置，其特征在于，所述尾氣狀態(tài)為有毒有害氣體含 量，所述尾氣處理閾值為有毒有害氣體設(shè)計(jì)含量，所述監(jiān)測(cè)單元為傳感器，所述控制單 元為信號(hào)邏輯單元，所述信號(hào)邏輯單元在傳感器獲得的有毒有害氣體含量超過(guò)設(shè)計(jì)含量 時(shí)，產(chǎn)生尾氣處理信號(hào)。
4.如權(quán)利要求1所述的尾氣處理裝置，其特征在于，所述監(jiān)測(cè)單元監(jiān)測(cè)尾氣狀態(tài)為 同時(shí)監(jiān)測(cè)機(jī)臺(tái)啟動(dòng)信號(hào)、有毒有害氣體含量，所述尾氣處理閾值為有毒有害氣體設(shè)計(jì)含 量，所述監(jiān)測(cè)單元包括機(jī)臺(tái)信號(hào)獲取單元和傳感器，所述控制單元為信號(hào)邏輯單元，所 述信號(hào)邏輯單元經(jīng)由機(jī)臺(tái)啟動(dòng)信號(hào)啟動(dòng)，在傳感器獲得的有毒有害氣體含量超過(guò)設(shè)計(jì)含 量時(shí)，產(chǎn)生尾氣處理信號(hào)。
5.如權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的尾氣處理裝置，其特征在于，所述處理單元包括干 泵、選擇閥、無(wú)害化處理單元、排氣單元，其中，選擇閥，在未獲得尾氣處理信號(hào)時(shí)，將干泵抽取的機(jī)臺(tái)尾氣直接傳輸至排氣單元進(jìn) 行排放；在獲得尾氣處理信號(hào)后，將機(jī)臺(tái)尾氣傳輸至無(wú)害化處理單元，同時(shí)向無(wú)害化處 理單元發(fā)送尾氣處理信號(hào)；無(wú)害化處理單元，在獲得尾氣處理信號(hào)后，啟動(dòng)對(duì)所獲得的機(jī)臺(tái)尾氣的無(wú)害化處 理，并在處理后將尾氣傳輸至排氣單元進(jìn)行排放。
6.如權(quán)利要求5所述的尾氣處理裝置，其特征在于，所述處理單元還包括電磁閥及壓 縮空氣源，所述選擇閥在獲得尾氣處理信號(hào)后，向所述電磁閥發(fā)送啟動(dòng)信號(hào)，所述電磁 閥在獲得啟動(dòng)信號(hào)后，將壓縮空氣源提供的壓縮空氣傳輸至無(wú)害化處理單元中，輔助無(wú) 害化處理。
全文摘要
一種尾氣處理裝置，包括監(jiān)測(cè)單元，監(jiān)測(cè)尾氣狀態(tài)；控制單元，在監(jiān)測(cè)單元獲得的尾氣狀態(tài)達(dá)到尾氣處理閾值時(shí)，產(chǎn)生尾氣處理信號(hào)；處理單元，在獲得控制單元產(chǎn)生的尾氣處理信號(hào)后，對(duì)尾氣進(jìn)行無(wú)害化處理。所述尾氣處理裝置減少了電力消耗，相應(yīng)提高了尾氣處理效率。
文檔編號(hào)B01D53/74GK102019134SQ200910170549
公開(kāi)日2011年4月20日 申請(qǐng)日期2009年9月10日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月10日
發(fā)明者孫建華, 潘家榮 申請(qǐng)人:無(wú)錫華潤(rùn)上華半導(dǎo)體有限公司, 無(wú)錫華潤(rùn)上華科技有限公司