專利名稱：超高真空直線導入器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及真空設(shè)備，特別是其配套的導入器。
背景技術(shù)：
超高真空技術(shù)是新材料合成，材料的物理化學性質(zhì)分析和宇宙開發(fā)的基本環(huán)境。為了實現(xiàn)在超高真空環(huán)境中的各種分析研究，離不開對樣品的傳輸和操縱，樣品在傳輸和操縱過程中，由于真空設(shè)備要求的密封性高，操縱都需要在大氣側(cè)進行，很多情況樣品需要按直線運動導入，而且在驅(qū)動時要保證真空設(shè)備與驅(qū)動導入器的密封性能，以保證真空環(huán)境，目前的直線導入裝置精度有待提高，而且均是剛性部件，密封性能差。發(fā)明內(nèi)容
本實用新型的目的是克服上述不足問題，提供一種超高真空直線導入器，直線驅(qū)動順暢、自由，密封性能優(yōu)異，定位簡單，密封性佳。
本實用新型為實現(xiàn)上述目的所采用的技術(shù)方案是超高真空直線驅(qū)動器，涉及導入棒，外管一端裝有固定螺母，固定螺母與帶有外螺紋的推動桿螺紋連接，推動桿另一端通過軸承與可動法蘭連接，可動法蘭焊接波紋管，波紋管內(nèi)側(cè)的可動法蘭焊接導入棒，導入棒另一端活動插接在真空設(shè)備連接法蘭中心孔內(nèi)，波紋管另一端與真空設(shè)備連接法蘭焊接，且真空設(shè)備連接法蘭固定連接在外管的另一端。
所述真空設(shè)備連接法蘭中心孔內(nèi)裝有導入棒導向裝置，導向裝置
為直線軸承或?qū)驂K等。
所述真空設(shè)備連接法蘭由法蘭板、軸套和外管連接套一體構(gòu)成，
軸套一端連接法蘭板，另一端連接外管連接套，外管連接套端面帶有
波紋管連接槽。
所述可動法蘭帶有波紋管連接端，帶有導入棒連接孔，與導入棒 焊接固定，另一面為套體，套體內(nèi)裝有軸承與推動桿連接。
所述固定螺母端外管上套裝有旋套，旋套與推動桿固定連接，外 管上帶有刻度。
本實用新型旋套式直線驅(qū)動，安裝時角度自由，采用波紋管來實 現(xiàn)密封，密封效果好，達到放出氣體少的要求，而且波紋管壓縮和伸 展配合直線驅(qū)動自由，導入棒由導向裝置導向，使得直線驅(qū)動順暢， 手動控制直線驅(qū)動，位置控制精確，和真空接觸的部件，全部采用不 銹鋼和無氧銅，有利于維持超高真空，可耐高溫烘烤，便于系統(tǒng)到達 超高真空。本實用新型是實現(xiàn)超高真空環(huán)境中樣品精確直線驅(qū)動的重
要設(shè)備。


圖l是本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2是本實用新型固定法蘭結(jié)構(gòu)示意圖。
圖3是本實用新型真空設(shè)備連接法蘭結(jié)構(gòu)示意圖。
圖4是本實用新型可動法蘭結(jié)構(gòu)示意圖。圖5是本實用新型可動法蘭與導入棒連接示意圖。
圖中l(wèi)波紋管；2軸承；3推動桿；4固定螺母；5旋套；6可 動法蘭；7外管；8固定法蘭；9直線軸承；10真空設(shè)備連接法蘭； ll導入棒；12法蘭盤；13軸套；14外管連接套。
具體實施方式
如圖1所示的超高真空直線導入器，涉及導入棒，外管7 —端裝 有固定螺母4，固定螺母與帶有外螺紋的推動桿3螺紋連接，推動桿 3另一端通過軸承2與可動法蘭6套體連接，可動法蘭6套體背面為 波紋管連接端焊接波紋管1 ，波紋管1內(nèi)側(cè)的可動法蘭焊接導入棒11 ， 導入棒另一端活動插接在真空設(shè)備連接法蘭10中心孔內(nèi)，中心孔內(nèi) 裝有直線軸承9，作為導入棒的導向裝置，使直線運動更加順暢，導 向裝置也可以采用導向塊等，真空設(shè)備連接法蘭10由法蘭盤12、軸 套13和外管連接套14 一體構(gòu)成，軸套一端連接法蘭盤，另一端連接 外管連接套，外管連接套端面帶有波紋管連接槽，波紋管1另一端與 真空設(shè)備連接法蘭波紋管連接槽焊接，真空設(shè)備連接法蘭10固定在 外管7的另一端。固定螺母端外管外套裝有旋套5，旋套5與推動桿 3固定連接，外管上帶有刻度，根據(jù)旋套的位置確定行程。
使用時，向右旋轉(zhuǎn)旋套，推動桿隨旋套旋轉(zhuǎn)向前運動，通過可動 法蘭壓縮波紋管，同時驅(qū)動可動法蘭固定的導入棒運動，使導入棒向 前推進；反之向左旋轉(zhuǎn)旋套，推動桿向后運動，驅(qū)動可動法蘭4向后 運動，波紋管的彈力作用伸展，同時導入棒向后運動，使導入棒向后 退回。
權(quán)利要求1、超高真空直線導入器，涉及導入棒，其特征是外管一端裝有固定螺母，固定螺母與帶有外螺紋的推動桿螺紋連接，推動桿另一端通過軸承與可動法蘭連接，可動法蘭焊接波紋管，波紋管內(nèi)側(cè)的可動法蘭焊接導入棒，導入棒另一端活動插接在真空設(shè)備連接法蘭中心孔內(nèi)，波紋管另一端與真空設(shè)備連接法蘭焊接，且真空設(shè)備連接法蘭固定連接在外管的另一端。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的超高真空直線導入器，其特征是真空 設(shè)備連接法蘭中心孔內(nèi)裝有導入棒導向裝置，導向裝置為直線軸承或 導向塊。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的超高真空直線導入器，其特征是 真空設(shè)備連接法蘭由法蘭盤、軸套和外管連接套一體構(gòu)成，軸套一端 連接法蘭盤，另一端連接外管連接套，外管連接套端面帶有波紋管連 接槽。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的超高真空直線導入器，其特征是 可動法蘭帶有波紋管連接端帶有導入棒連接孔，與導入棒焊接固定， 另一面為套體，套體內(nèi)裝有軸承與推動桿連接。1
5、 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的超高真空直線導入器，其特征是 固定螺母端外管上套裝有旋套，旋套與推動桿固定連接，外管上帶有 刻度。
專利摘要本實用新型涉及真空設(shè)備。超高真空直線驅(qū)動器，涉及導入棒，外管一端裝有固定螺母，固定螺母與帶有外螺紋的推動桿螺紋連接，推動桿另一端通過軸承與可動法蘭連接，可動法蘭焊接波紋管，波紋管內(nèi)側(cè)的可動法蘭焊接導入棒，導入棒另一端活動插接在真空設(shè)備連接法蘭中心孔內(nèi)，波紋管另一端與真空設(shè)備連接法蘭焊接，且真空設(shè)備連接法蘭固定連接在外管的另一端。本實用新型旋套式直線驅(qū)動，安裝時角度自由，波紋管密封效果好，達到放出氣體少的要求，波紋管壓縮和伸展配合直線驅(qū)動自由，手動控制直線驅(qū)動，位置控制精確。
文檔編號B01J3/03GK201404795SQ20092001103
公開日2010年2月17日 申請日期2009年2月27日 優(yōu)先權(quán)日2009年2月27日
發(fā)明者郭方準 申請人:大連齊維科技發(fā)展有限公司