專利名稱：工藝廢氣處理裝置及工藝廢氣處理方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是有關(guān)于一種工藝廢氣處理裝置及工藝廢氣處理方法。
背景技術(shù)：
一般工廠于生產(chǎn)過程中經(jīng)常會(huì)產(chǎn)生廢氣。這些廢氣多半有害于環(huán)境，需要加以處理后方可排放至一般的環(huán)境?，F(xiàn)有工藝機(jī)臺的廢氣，自工藝反應(yīng)室中抽離后，會(huì)先經(jīng)過廢氣處理裝置，再做進(jìn)一步的處理。高溫燃燒為廢氣處理的方式中最常見的方法之一。高溫燃燒所使用的廢氣處理裝置主要由廢氣處理腔體與漏斗所構(gòu)成。工藝廢氣通入處理腔體做廢氣分解、反應(yīng)等處理，處理后所產(chǎn)生的固體粉狀的凝結(jié)物通常會(huì)沉積在腔體內(nèi)壁而成為固體粉狀凝結(jié)物。當(dāng)固體粉狀凝結(jié)物剝落而掉落在漏斗的表面上時(shí)，由于固體粉狀凝結(jié)物通常呈酸性，時(shí)間過久，容易造成漏斗腐蝕的問題。為維護(hù)公共安全，在使用一段時(shí)間之后，必須更換漏斗，避免廢氣分解、反應(yīng)所產(chǎn)生的腐蝕性氣體或是有毒氣體從腐蝕之處漏出。然而，更換漏斗所需的費(fèi)用相當(dāng)可觀。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提出一種工藝廢氣處理裝置，可以減緩漏斗的內(nèi)表面腐蝕的現(xiàn)象，延長使用壽命。本發(fā)明提出一種工藝廢氣處理裝置，可以減少維護(hù)的成本。本發(fā)明提出一種工藝廢氣處理方法，可以減緩漏斗的內(nèi)表面腐蝕的現(xiàn)象。本發(fā)明提出一種工藝廢氣處理裝置，包括腔體與漏斗頂蓋環(huán)。漏斗設(shè)置于腔體下方，具有至少一注入孔，設(shè)置于接近腔體之處。依照本發(fā)明實(shí)施例所述，上述工藝廢氣處理裝置更包括一頂蓋環(huán)，頂蓋環(huán)設(shè)置于上述腔體與上述漏斗之間，頂蓋環(huán)的內(nèi)徑小于上述漏斗的頂部開口的內(nèi)徑。依照本發(fā)明實(shí)施例所述，上述工藝廢氣處理裝置中，上述頂蓋環(huán)為可拆卸式。依照本發(fā)明實(shí)施例所述，上述工藝廢氣處理裝置中，上述頂蓋環(huán)的第二表面上具有至少一凹槽，且具有至少一 0型環(huán)，設(shè)置于凹槽中。依照本發(fā)明實(shí)施例所述，上述工藝廢氣處理裝置中，上述漏斗的內(nèi)表面上具有一抗腐蝕層。本發(fā)明還提出一種工藝廢氣處理方法，包括在腔體底部設(shè)置漏斗，此漏斗具有至少一注入孔，注入孔位于接近腔體之處，在廢氣通入腔體之后，將清洗液經(jīng)由注入孔注入于漏斗中，以沖洗漏斗的內(nèi)表面。依照本發(fā)明實(shí)施例所述，上述工藝廢氣處理方法中，上述清洗液包括水或液堿。依照本發(fā)明實(shí)施例所述，上述工藝廢氣處理方法還包括在上述漏斗與上述腔體之間設(shè)置頂蓋環(huán)，此頂蓋環(huán)的內(nèi)徑小于上述漏斗的頂部開口的內(nèi)徑。本發(fā)明又提出一種工藝廢氣處理方法，包括在腔體底部設(shè)置漏斗，并在廢氣通入腔體之前，在漏斗與腔體之間設(shè)置頂蓋環(huán)，此頂蓋環(huán)的內(nèi)徑小于漏斗頂部開口的內(nèi)徑。基于上述，本發(fā)明在漏斗接近腔體之處開出注入孔，可以將清洗液經(jīng)由注入孔注入于漏斗中，以沖洗漏斗的內(nèi)表面，減少生成物附著于漏斗的內(nèi)表面。本發(fā)明在腔體與漏斗之間設(shè)置頂蓋環(huán)，可以減少水氣附著于腔體底部，故可以減少腐蝕的現(xiàn)象，延長腔體的使用壽命。本發(fā)明在腔體與漏斗之間設(shè)置頂蓋環(huán)為可拆卸式，因此，更換非常方便。本發(fā)明在腔體與漏斗之間設(shè)置頂蓋環(huán)相對于漏斗非常便宜，因此，更換頂蓋環(huán)的費(fèi)用遠(yuǎn)低于更換漏斗的費(fèi)用。本發(fā)明在漏斗的內(nèi)表面具有抗腐蝕特性，可以減緩漏斗的內(nèi)表面腐蝕的現(xiàn)象。為讓本發(fā)明的上述特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉實(shí)施例，并配合附圖詳細(xì)說明如下。


圖1繪示本發(fā)明實(shí)施例一種工藝廢氣處理裝置的剖面示意圖；圖2繪示本發(fā)明實(shí)施例一種工藝廢氣處理裝置的拆解示意圖；圖3繪示工藝廢氣處理裝置的漏斗的示意圖；以及圖4繪示漏斗上設(shè)置頂蓋環(huán)的示意圖。主要組件符號說明10 工藝廢氣處理裝置20 腔體22:廢氣入口28、38:凸櫞^a、38a、48a 螺孑L30 漏斗30a 表面30c:內(nèi)表面32 注入孔34、44:凹槽35:開口36 抗腐蝕層40 頂蓋環(huán)40a、40b 表面42:中心開口50 螺絲釘52 螺帽54 0 型環(huán)Dl:內(nèi)徑D2:開口的內(nèi)徑T 厚度
具體實(shí)施例方式圖1繪示本發(fā)明實(shí)施例一種工藝廢氣處理裝置的剖面示意圖。圖2繪示本發(fā)明實(shí)施例一種工藝廢氣處理裝置的拆解示意圖。圖3繪示工藝廢氣處理裝置的漏斗的示意圖。 圖4繪示漏斗上設(shè)置頂蓋環(huán)的示意圖。請參照圖1，工藝廢氣處理裝置10包括腔體20、漏斗30與頂蓋環(huán)40。腔體20具有至少一廢氣入口 22，其可導(dǎo)入工藝機(jī)臺所產(chǎn)生的工藝廢氣。在附圖中，廢氣的入口 22設(shè)置在腔體20的側(cè)壁，但不以此為限，廢氣的入口 22也可以依據(jù)實(shí)際的需要而設(shè)置在合適的位置，例如是腔體20的上方。腔體20中可以是具有多個(gè)加熱裝置(未繪示)，例如是電熱式加熱裝置，用以加熱所通入的工藝廢氣，使其反應(yīng)或分解。所導(dǎo)入的工藝廢氣例如是SiH4、 NF3或C3F8，但并不以此為限。腔體20的形狀可以是圓柱狀、方柱狀或其它任何形狀。腔體20的材質(zhì)一般是由單一材料所構(gòu)成，例如是不銹鋼材料所構(gòu)成。請參照圖1至3，漏斗30設(shè)置于腔體20下方。漏斗30具有至少一注入孔32。在一實(shí)施例中，注入孔32設(shè)置于接近腔體20之處，例如是設(shè)置在凸櫞38之內(nèi)。在廢氣通入腔體20之后，清洗液經(jīng)由注入孔32注入于漏斗30中，利用清洗液所產(chǎn)生擾流可用來沖洗漏斗30的內(nèi)表面30c，帶走反應(yīng)所產(chǎn)生的生成物，減少生成物附著于漏斗30的內(nèi)表面30c 上所衍生的腐蝕問題。注入孔32所通入的清洗液例如是水或是液堿。漏斗30的材質(zhì)可以與腔體20相同或是相異。漏斗30的材質(zhì)一般是由單一材料所構(gòu)成，例如是不銹鋼材料所構(gòu)成。由于工藝廢氣可能具有腐蝕性，為能延長使用的壽命， 在一實(shí)施例中，整個(gè)漏斗30可以是由抗腐蝕的材料制成?？垢g的材料例如是含氟的聚合物如聚四氟乙烯，或全氟化合物。在另一實(shí)施例中，漏斗30是由非抗腐蝕的材料制成，而其內(nèi)表面30c上具有一抗腐蝕層36。非抗腐蝕的材料例如是不銹鋼或塑鋼?？垢g層36的材料例如是含氟的聚合物如聚四氟乙烯，或全氟化合物。請參照圖1至4，頂蓋環(huán)40設(shè)置于腔體20與漏斗30之間。頂蓋環(huán)40的第一表面40a耦接漏斗30，頂蓋環(huán)40的第二表面耦接40b腔體20的底部，且頂蓋環(huán)40的內(nèi)徑Dl 小于漏斗30的頂部開口 35的內(nèi)徑D2。由于頂蓋環(huán)40的內(nèi)徑Dl小于漏斗30的頂部開口 35的內(nèi)徑D2，因此，頂蓋環(huán)40也可以隔絕漏斗30所通入的清洗液的蒸氣(例如水氣)，避免蒸氣向上竄而停留在腔體20底部，故可以防止腔體20底部的腐蝕問題。在一實(shí)施例中， 頂蓋環(huán)40的內(nèi)徑Dl比漏斗30的頂部開口 35的內(nèi)徑D2小3至5公分。在一實(shí)施例中，頂蓋環(huán)40的內(nèi)徑Dl例如是45公分，漏斗30的頂部開口 35的內(nèi)徑D2例如是50公分。頂蓋環(huán)40的厚度T例如是0. 8至1公分。頂蓋環(huán)40的材質(zhì)可以與腔體20的材質(zhì)相同或是相異。頂蓋環(huán)40的材質(zhì)可以與漏斗30的材質(zhì)相同或是相異。頂蓋環(huán)40的材質(zhì)一般是由單一材料所構(gòu)成，例如是不銹鋼材料所構(gòu)成。頂蓋環(huán)40的材質(zhì)也可以是由復(fù)合材料所構(gòu)成。由于工藝廢氣可能具有腐蝕性，為能延長使用的壽命，在一實(shí)施例中，整個(gè)頂蓋環(huán)40是由抗腐蝕的材料制成?？垢g的材料例如是含氟的聚合物如聚四氟乙烯，或全氟化合物。在另一實(shí)施例中，頂蓋環(huán)40是由非抗腐蝕的材料制成，而其表面上具有抗腐蝕層。非抗腐蝕的材料例如是不銹鋼或全氟化合物。抗腐蝕層的材料例如是含氟的聚合物如聚四氟乙烯，或全氟化合物。在一實(shí)施例中，頂蓋環(huán)40為可拆卸式。當(dāng)頂蓋環(huán)40腐蝕或不堪使用時(shí)，可以方便更換，并且由于頂蓋環(huán)40的造型簡單，造價(jià)相當(dāng)便宜，因此更換頂蓋環(huán)40所需的費(fèi)用遠(yuǎn)低于更換漏斗或是整個(gè)工藝廢氣處理裝置所需的費(fèi)用。腔體20、漏斗30與頂蓋環(huán)40可以以任何的方式組裝成工藝廢氣處理裝置10。在一實(shí)施例中，腔體20以及漏斗30皆具有凸櫞觀、38，且腔體20以及漏斗30的凸櫞觀、48 以及頂蓋環(huán)40皆設(shè)有螺孔^a、38a、48a，通過螺絲釘50與螺帽52，可將腔體20、漏斗30與頂蓋環(huán)40密合組裝完成，但，腔體20、漏斗30與頂蓋環(huán)40組裝的方式并不以此為限。在另一實(shí)施例中，為能提升頂蓋環(huán)40與漏斗30之間的密合性，與頂蓋環(huán)40耦接的漏斗30的凸櫞觀表面30a上設(shè)有至少一凹槽34，與漏斗30耦接的頂蓋環(huán)40第二表面 40b上設(shè)有與凹槽34相對應(yīng)的凹槽44，且凹槽34與凹槽44之中設(shè)有至少一 0型環(huán)M。請參照圖1，工藝氣體經(jīng)由入口 22通入腔體20之后，通過頂蓋環(huán)40的中心開口 42向下流入漏斗30之中。漏斗30的注入孔32所注入的清洗液可以加快廢氣的生成物通過漏斗30，縮短生成物停留在漏斗30的時(shí)間。而裝設(shè)頂蓋環(huán)40則可以隔絕漏斗30注入孔 32所通入的清洗液的蒸氣，避免蒸氣上竄而停留在腔體20底部造成腐蝕，故可延緩工藝廢氣處理裝置至泵之間管路阻塞的現(xiàn)象，維持腔體的燃燒效率。經(jīng)實(shí)驗(yàn)顯示透過注入孔注入清洗液并裝設(shè)頂蓋環(huán)40，可以減少管路阻塞的現(xiàn)象，其腔體20內(nèi)壓過大所導(dǎo)致的泵跳脫的次數(shù)可從12次/年減少為2次/年，并且可使得漏斗的壽命從3月延長為12月。基于上述，本發(fā)明在漏斗接近腔體之處開出注入孔，可以將清洗液經(jīng)由注入孔注入于漏斗中，以迅速?zèng)_洗漏斗之內(nèi)表面，減緩生成物附著于漏斗的內(nèi)表面上所衍生的腐蝕問題。本發(fā)明在腔體與漏斗之間設(shè)置頂蓋環(huán)，可以避免水氣附著于腔體底部，故可以減少腔體底部腐蝕的現(xiàn)象，延長腔體的使用壽命。本發(fā)明在腔體與漏斗之間設(shè)置頂蓋環(huán)為可拆卸式，因此，更換非常方便。本發(fā)明在腔體與漏斗之間設(shè)置頂蓋環(huán)相對于漏斗非常便宜，因此，更換頂蓋環(huán)的費(fèi)用遠(yuǎn)低于更換漏斗的費(fèi)用。本發(fā)明在漏斗的內(nèi)表面具有抗腐蝕特性，可以減緩漏斗的內(nèi)表面腐蝕的現(xiàn)象。雖然本發(fā)明已以實(shí)施例揭露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識者，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作些許之更動(dòng)與潤飾，故本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)當(dāng)以權(quán)利要求所界定的范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種工藝廢氣處理裝置，包括 一腔體；以及一漏斗，該漏斗設(shè)置于該腔體下方，具有至少一注入孔，設(shè)置于接近該腔體之處。
2.如權(quán)利要求1所述的工藝廢氣處理裝置，還包括一頂蓋環(huán)，該頂蓋環(huán)設(shè)置于該腔體與該漏斗之間，該頂蓋環(huán)的內(nèi)徑小于該漏斗的頂部開口的內(nèi)徑。
3.如權(quán)利要求1所述的工藝廢氣處理裝置，其中該頂蓋環(huán)為可拆卸式。
4.如權(quán)利要求1所述的工藝廢氣處理裝置，其中 該頂蓋環(huán)的該第一表面上具有至少一凹槽；以及至少一 0型環(huán)，設(shè)置于該凹槽中。
5.如權(quán)利要求1所述的工藝廢氣處理裝置，其中該漏斗的內(nèi)表面上覆蓋一抗腐蝕層。
6.一種工藝廢氣處理方法，包括在一腔體底部設(shè)置一漏斗，該漏斗具有至少一注入孔，該注入孔位于接近該腔體之處；以及將一廢氣通入該腔體之后，經(jīng)由該注入孔，將一清洗液注入該漏斗中，以沖洗該漏斗的內(nèi)表面。
7.如權(quán)利要求6所述的工藝廢氣處理方法，該清洗液包括水或液堿。
8.如權(quán)利要求6所述的工藝廢氣處理方法，還包括在該漏斗與該腔體之間設(shè)置一頂蓋環(huán)，該頂蓋環(huán)的內(nèi)徑小于該漏斗的頂部開口的內(nèi)徑。
9.一種工藝廢氣處理方法，包括 在一腔體底部設(shè)置一漏斗；以及將一廢氣通入該腔體之前，在該漏斗與該腔體之間設(shè)置一頂蓋環(huán)，該頂蓋環(huán)的內(nèi)徑小于該漏斗的頂部開口的內(nèi)徑。
10.如權(quán)利要求9所述的工藝廢氣處理方法，其中該頂蓋環(huán)為可拆卸式。
全文摘要
一種工藝廢氣處理裝置包括腔體與漏斗頂蓋環(huán)。漏斗設(shè)置于腔體下方，具有至少一注入孔，設(shè)置于接近腔體之處。
文檔編號B01D53/34GK102266710SQ20101019876
公開日2011年12月7日 申請日期2010年6月7日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月7日
發(fā)明者謝正益 申請人:旺宏電子股份有限公司