專(zhuān)利名稱(chēng)：一種電子化學(xué)品真空分離方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及到固液分離器，尤其涉及一種電子化學(xué)品真空分離方法。
背景技術(shù)：
電子級(jí)化學(xué)品主要廣泛應(yīng)用于超大規(guī)模集成電路、大屏幕液晶顯示器、半導(dǎo)體等微電子工業(yè)等方面，用作清洗和蝕刻劑，其純度和潔凈度對(duì)電子元器件的產(chǎn)品率、電性能、 可靠性有很大的影響。目前國(guó)內(nèi)主要真空過(guò)濾機(jī)存在如下問(wèn)題翻盤(pán)式真空過(guò)慮機(jī)主要存在的問(wèn)題是處理量小，濾布容易破損更換頻繁，軌道容易變型，導(dǎo)致開(kāi)車(chē)率低；真空帶式過(guò)濾機(jī)皮帶老打滑，皮帶時(shí)不時(shí)就被真空吸住不能動(dòng)，真空不能太高；圓盤(pán)真空過(guò)濾機(jī)處理量小，濾餅水份高，勞動(dòng)強(qiáng)度大。但以上過(guò)濾器在電子化學(xué)品固液分離中的應(yīng)用未見(jiàn)報(bào)道?，F(xiàn)有技術(shù)中的分離設(shè)備，在生產(chǎn)過(guò)程中進(jìn)行固液分離時(shí)固休與分離設(shè)備會(huì)產(chǎn)生摩擦，污染產(chǎn)品，分離后要將固體取出，增加了生產(chǎn)成本并易對(duì)電子化學(xué)品產(chǎn)生二次污染。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，結(jié)合電子化學(xué)品生產(chǎn)工藝特性，提供了一種對(duì)電子化學(xué)品固液分離的真空分離方法。實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的技術(shù)方案為一種電子化學(xué)品真空分離方法，它采用的設(shè)備包括夾套、固液分離容器和攪拌器；夾套的一側(cè)下部設(shè)有熱媒進(jìn)口、另一側(cè)的上部設(shè)有熱媒出口， 夾套的下部還設(shè)有一個(gè)連通分離容器內(nèi)的抽真空管；分離容器的頂部設(shè)有物料進(jìn)口和產(chǎn)品洗液噴頭，分離容器的底部設(shè)有濾液出口、產(chǎn)品出口和洗液出口，分離容器內(nèi)設(shè)有濾網(wǎng)和加熱管，濾網(wǎng)固定在加熱管上，加熱管與夾套相連，分離容器內(nèi)底部設(shè)有圓形濾液清洗管；攪拌器位于分離容器內(nèi)。上述濾網(wǎng)可為金屬濾網(wǎng)、聚丙烯濾網(wǎng)或?yàn)V布(根據(jù)電子化學(xué)品的物性選型)，濾網(wǎng)孔徑根據(jù)所過(guò)濾的固體大小確定。上述圓形濾液清洗管上設(shè)有噴頭，噴頭的個(gè)數(shù)為8 16個(gè)。上述熱媒是水。本發(fā)明的使用方法及原理是物料通過(guò)物料進(jìn)口進(jìn)入分離容器，給分離容器抽真空，在濾液出口處形成負(fù)壓作為過(guò)濾的推動(dòng)力使物料在濾網(wǎng)上實(shí)現(xiàn)固液分離，同時(shí)，通過(guò)夾套內(nèi)的熱媒和加熱管可對(duì)分離容器內(nèi)固體產(chǎn)品進(jìn)行加熱，濾液通過(guò)濾液出口排出；因附著在固體表面上的液體含有大量的雜質(zhì)，可通過(guò)分離容器上的洗液噴頭對(duì)分離后的固體進(jìn)行清洗，去除固體表面上的液體，使產(chǎn)品純度更純；還可通過(guò)濾液清洗管對(duì)過(guò)濾后留存在分離容器內(nèi)濾液進(jìn)行清洗，防止濾液污染產(chǎn)品，產(chǎn)生的洗液通過(guò)洗液出口排出；通過(guò)攪拌器攪拌可加快固體產(chǎn)品的溶解速度，并使產(chǎn)品均勻混合，溶解后的產(chǎn)品通過(guò)產(chǎn)品出口排出。采用本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn)
(1)設(shè)備簡(jiǎn)單，在生產(chǎn)過(guò)程中不需將固體產(chǎn)品取出，操作過(guò)程易控制，能耗低；(2 )產(chǎn)量高，生產(chǎn)成本低，清潔無(wú)污染；
(3)得到的產(chǎn)品純度高，具有很高的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益。


附圖為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中標(biāo)記1-夾套；2-分離容器；3-攪拌器；4-熱媒進(jìn)口 ；5-熱媒出口 ；6_抽真空管；7-物料進(jìn)口 ；8-產(chǎn)品洗液噴頭；9-濾液出口 ；10-產(chǎn)品出口 ；11-洗液出口 ；12-濾網(wǎng)； 13-濾液清洗管；14-加熱管；15-噴頭；
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步闡述。實(shí)施例
一種電子化學(xué)品真空分離方法，它采用的設(shè)備包括夾套(1)、固液分離容器(2)和攪拌器(3);夾套(1)的一側(cè)下部設(shè)有熱媒進(jìn)口(4)、另一側(cè)的上部設(shè)有熱媒出口(5)，夾套(1) 的下部還設(shè)有一個(gè)連通分離容器(2)內(nèi)的抽真空管(6);分離容器(2)的頂部設(shè)有物料進(jìn)口 (7)和產(chǎn)品洗液噴頭(8)，分離容器(2)的底部設(shè)有濾液出口(9)、產(chǎn)品出口(10)和洗液出口 (11)，分離容器(2)內(nèi)設(shè)有濾網(wǎng)(12)和加熱管(14)，濾網(wǎng)(12)固定在加熱管(14)上，加熱管(14)與夾套(1)相連，分離容器(2)內(nèi)底部設(shè)有圓形濾液清洗管(13);攪拌器(3)位于分離容器(2)內(nèi)。上述濾網(wǎng)(12)為金屬濾網(wǎng)，濾網(wǎng)(12)的孔徑為200目。上述圓形濾液清洗管(13)上設(shè)有噴頭(15)，噴頭(15)的個(gè)數(shù)為9個(gè)。上述熱媒是水。
某廠用該方法分離出的產(chǎn)品質(zhì)量如下 產(chǎn)品雜質(zhì)含量
權(quán)利要求
1.一種電子化學(xué)品真空分離方法，其特征在于它采用的設(shè)備包括夾套(1 )、固液分離容器(2)和攪拌器(3)；夾套(1)的一側(cè)下部設(shè)有熱媒進(jìn)口(4)、另一側(cè)的上部設(shè)有熱媒出口( 5 )，夾套(1)的下部還設(shè)有一個(gè)連通分離容器(2 )內(nèi)的抽真空管(6 )；分離容器(2 )的頂部設(shè)有物料進(jìn)口(7)和產(chǎn)品洗液噴頭(8)，分離容器(2)的底部設(shè)有濾液出口(9)、產(chǎn)品出口 (10)和洗液出口(11)，分離容器(2)內(nèi)設(shè)有濾網(wǎng)(12)和加熱管(14)，濾網(wǎng)(12)固定在加熱管(14)上，加熱管(14)與夾套(1)相連，分離容器(2)內(nèi)底部設(shè)有圓形濾液清洗管(13);攪拌器(3)位于分離容器(2)內(nèi)。
2.如權(quán)利要求1所述的電子化學(xué)品真空分離方法，其特征在于所述的濾網(wǎng)(12)可為金屬濾網(wǎng)、聚丙烯濾網(wǎng)或?yàn)V布(根據(jù)電子化學(xué)品的物性選型)，濾網(wǎng)(12)的孔徑根據(jù)所過(guò)濾的固體大小確定。
3.如權(quán)利要求1所述的電子化學(xué)品真空分離方法，其特征在于所述的圓形濾液清洗管 (13)上設(shè)有噴頭(15)，噴頭(15)的個(gè)數(shù)為8 16個(gè)。
4.如權(quán)利要求1所述的電子化學(xué)品真空分離方法，其特征在于所使用的熱媒是水。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種電子化學(xué)品真空分離方法，涉及固液分離器。它采用的設(shè)備包括夾套(1)、固液分離容器(2)和攪拌器(3)；夾套(1)上設(shè)有熱媒進(jìn)口(4)、和熱媒出口(5)，還設(shè)有一個(gè)抽真空管(6)；分離容器(2)的頂部設(shè)有物料進(jìn)口(7)和產(chǎn)品洗液噴頭(8)，分離容器(2)的底部設(shè)有濾液出口(9)、產(chǎn)品出口(10)和洗液出口(11)，分離容器(2)內(nèi)設(shè)有濾網(wǎng)(12)和加熱管(14)，濾網(wǎng)(12)固定在加熱管(14)上，分離容器(2)內(nèi)底部設(shè)有濾液清洗管(13)；攪拌器(3)位于分離容器(2)內(nèi)。采用本發(fā)明降低了生產(chǎn)成本，清潔無(wú)污染，得到的產(chǎn)品純度高，具有很高的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益。
文檔編號(hào)B01D29/82GK102274648SQ201110224998
公開(kāi)日2011年12月14日 申請(qǐng)日期2011年8月8日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月8日
發(fā)明者劉飛, 孟文祥, 楊正光, 邱祖軍 申請(qǐng)人:甕福(集團(tuán))有限責(zé)任公司