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一種熱氫化爐導(dǎo)流罩的制作方法

文檔序號(hào):4999902閱讀:244來源:國知局
專利名稱:一種熱氫化爐導(dǎo)流罩的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及一種氣化爐的零部件,特別是一種熱氫化爐的導(dǎo)流罩。
背景技術(shù)
目前,在熱氫化爐的生產(chǎn)過程中,四氯化硅與氫氣從爐體的頂部進(jìn)料,經(jīng)過金屬導(dǎo)流罩、C-C隔熱罩的導(dǎo)流、逐層加熱,進(jìn)到內(nèi)部空間,由加熱器發(fā)熱后使四氯化硅與氫氣最終達(dá)到反應(yīng)所需要的高溫,進(jìn)行反應(yīng),將四氯化硅氫化成所需的三氯氫硅,消耗了副產(chǎn)物,得到多晶硅還原反應(yīng)所需要的原料。由于爐內(nèi)的熱量均由加熱器通電后發(fā)熱提供,熱量通過熱輻射加熱爐內(nèi)充滿的四氯化硅與氫氣。但是熱量也會(huì)產(chǎn)生輻射,并穿過C-C隔熱罩、金屬導(dǎo)流罩,到達(dá)氫化爐筒內(nèi)壁,最終使得爐筒的夾套冷卻水冷卻帶著熱量。因此不可避免的存在著熱量的浪費(fèi)。所以, 需要盡量的做好爐筒內(nèi)部的保溫,以盡力提高爐內(nèi)的整體溫度,使加熱器的功率減小,起到節(jié)能的作用?,F(xiàn)有的金屬導(dǎo)流罩只是單純的不銹鋼316L材質(zhì),單層結(jié)構(gòu),不能起到保溫作用,只能起到導(dǎo)流作用,保溫全靠?jī)?nèi)層的C-C隔熱罩,不能滿足要求。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的發(fā)明目的在于針對(duì)上述存在的問題,提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用方便的熱氫化爐導(dǎo)流罩,該導(dǎo)流罩不僅能夠起到導(dǎo)流的作用,而且還具有良好的保溫效果,該導(dǎo)流罩的使用,可以減小加熱器的發(fā)熱功率,降低能耗,同時(shí)爐體內(nèi)的溫度提高,也提高了四氯化硅生產(chǎn)成為三氯氫硅的轉(zhuǎn)化率。本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案如下本實(shí)用新型的熱氫化爐導(dǎo)流罩,設(shè)置于爐筒內(nèi),且位于C-C隔熱罩外,所述C-C隔熱罩內(nèi)設(shè)置有加熱器,所述導(dǎo)流罩主要由三層罩體套裝并固定在一起。由于采用了上述結(jié)構(gòu),導(dǎo)流罩采用三層罩體依次套裝,并依次固定在一起的結(jié)構(gòu), 相對(duì)于現(xiàn)有的單層不銹鋼結(jié)構(gòu)的導(dǎo)流罩,具有很好的導(dǎo)流以及保溫的效果,可以減小加熱器的發(fā)熱功率,降低能耗,同時(shí)爐體內(nèi)的溫度提高,也提高了四氯化硅生產(chǎn)成為三氯氫硅的轉(zhuǎn)化率。本實(shí)用新型的熱氫化爐導(dǎo)流罩,所述導(dǎo)流罩的最內(nèi)層罩體由鉬制成,中間層罩體和最外層罩體均由不銹鋼材料制成。由于采用了上述材料制成導(dǎo)流罩,使得導(dǎo)流罩具有更好的保溫效果,且導(dǎo)流罩的耐高溫能力得以提升,提高了其使用壽命,降低了維護(hù)和使用的成本。本實(shí)用新型的熱氫化爐導(dǎo)流罩,在最外層罩體與中間層罩體之間填充有石墨氈形成第四層罩體,在最內(nèi)層罩體與中間層罩體之間填充有碳纖維形成第二層罩體,形成五層罩體套裝的結(jié)構(gòu)。由于采用了上述結(jié)構(gòu),在最外層罩體與中間層罩體之間填充石墨氈,在最內(nèi)層罩體與中間層罩體之間填充碳纖維,其中石墨氈與碳纖維的保溫效果均非常好,使得整個(gè)導(dǎo)流罩的保溫效果良好,且采用了上述機(jī)構(gòu),形成五層結(jié)構(gòu)的導(dǎo)流罩,可以將熱量隔絕在金屬導(dǎo)流罩內(nèi)壁,提高了爐內(nèi)的整體溫度,減小了加熱器的發(fā)熱功率,降低了能耗,同時(shí)溫度的提高,也使四氯化硅生產(chǎn)三氯氫硅的轉(zhuǎn)化率得到了提高。本實(shí)用新型的熱氫化爐導(dǎo)流罩,最內(nèi)層與中間層之間鉚接在一起,最外層與中間層之間焊接在一起。由于采用了上述結(jié)構(gòu),使得導(dǎo)流罩的罩體之間的連接穩(wěn)定,保證使用安全,且較少維修,降低維修成本。綜上所述,由于采用了上述技術(shù)方案,本實(shí)用新型的有益效果是1.本實(shí)用新型的熱氫化爐導(dǎo)流罩,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,使用方便,適合推廣;2.本實(shí)用新型的熱氫化爐導(dǎo)流罩,不僅能夠起到導(dǎo)流的作用,而且還具有良好的保溫效果;3.本實(shí)用新型的熱氫化爐導(dǎo)流罩,可以減小加熱器的發(fā)熱功率,降低能耗,同時(shí)爐體內(nèi)的溫度提高,也提高了四氯化硅生產(chǎn)成為三氯氫硅的轉(zhuǎn)化率。

圖1是本實(shí)用新型的熱氫化爐導(dǎo)流罩的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中標(biāo)記1-加熱器、2-C-C隔熱罩、3-導(dǎo)流罩、4-爐筒。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖,對(duì)本實(shí)用新型作詳細(xì)的說明。為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白,
以下結(jié)合附圖及實(shí)施例,對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解,此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本實(shí)用新型,并不用于限定本實(shí)用新型。如圖1所示,本實(shí)用新型的熱氫化爐導(dǎo)流罩,設(shè)置于爐筒4內(nèi),且位于C-C隔熱罩2 外,所述C-C隔熱罩2內(nèi)設(shè)置有加熱器1,所述導(dǎo)流罩3主要由五層罩體套裝并固定在一起而成,其中導(dǎo)流罩3的最內(nèi)層罩體由鉬制成,中間層罩體和最外層罩體均由不銹鋼材料制成,在最外層罩體與中間層罩體之間填充有石墨氈形成第四層罩體,在最內(nèi)層罩體與中間層罩體之間填充有碳纖維形成第二層罩體,形成五層罩體套裝的結(jié)構(gòu)。當(dāng)然根據(jù)實(shí)際需求, 也可以最外層罩體與中間層罩體之間填充碳纖維,在在最內(nèi)層罩體與中間層罩體之間填充石墨氈。最內(nèi)層與中間層之間鉚接在一起,最外層與中間層之間焊接在一起,且最外層與中間層之間還可以設(shè)置支撐圈結(jié)構(gòu),保持氫化爐的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定。本實(shí)用新型的熱氫化爐導(dǎo)流罩,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,使用方便,適合推廣;不僅能夠起到導(dǎo)流的作用,而且還具有良好的保溫效果;可以減小加熱器的發(fā)熱功率,降低能耗,同時(shí)爐體內(nèi)的溫度提高,也提高了四氯化硅生產(chǎn)成為三氯氫硅的轉(zhuǎn)化率。以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已,并不用以限制本實(shí)用新型,凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等,均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種熱氫化爐導(dǎo)流罩,設(shè)置于爐筒(4)內(nèi),且位于C-C隔熱罩(2)外,所述C-C隔熱罩(2)內(nèi)設(shè)置有加熱器(1),其特征在于所述導(dǎo)流罩(3)主要由三層罩體套裝并固定在一起。
2.如權(quán)利要求1所述的熱氫化爐導(dǎo)流罩,其特征在于所述導(dǎo)流罩(3)的最內(nèi)層罩體由鉬制成,中間層罩體和最外層罩體均由不銹鋼材料制成。
3.如權(quán)利要求2所述的熱氫化爐導(dǎo)流罩,其特征在于在最外層罩體與中間層罩體之間填充有石墨氈形成第四層罩體,在最內(nèi)層罩體與中間層罩體之間填充有碳纖維形成第二層罩體,形成五層罩體套裝的結(jié)構(gòu)。
4.如權(quán)利要求2或3所述的熱氫化爐導(dǎo)流罩,其特征在于最內(nèi)層與中間層之間鉚接在一起,最外層與中間層之間焊接在一起。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種熱氫化爐導(dǎo)流罩,屬于氣化爐的零部件領(lǐng)域。本實(shí)用新型的熱氫化爐導(dǎo)流罩,設(shè)置于爐筒(4)內(nèi),且位于C-C隔熱罩(2)外,所述C-C隔熱罩(2)內(nèi)設(shè)置有加熱器(1),所述導(dǎo)流罩(3)主要由三層罩體套裝并固定在一起。本實(shí)用新型的熱氫化爐導(dǎo)流罩,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,使用方便,適合推廣;不僅能夠起到導(dǎo)流的作用,而且還具有良好的保溫效果;可以減小加熱器的發(fā)熱功率,降低能耗,同時(shí)爐體內(nèi)的溫度提高,也提高了四氯化硅生產(chǎn)成為三氯氫硅的轉(zhuǎn)化率。
文檔編號(hào)B01J12/00GK202028382SQ20112007810
公開日2011年11月9日 申請(qǐng)日期2011年3月23日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月23日
發(fā)明者沈偉 申請(qǐng)人:四川瑞能硅材料有限公司
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