專利名稱：自硅晶圓切割廢油泥中回收再生油的處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種廢棄物的處理裝置，尤其是指一種可大量連續(xù)處理廢油泥， 以降低回收油成本，且符合環(huán)保要求的自硅晶圓切割廢油泥中回收再生油的處理裝置。
背景技術(shù)：
在制造半導(dǎo)體芯片及太陽(yáng)能板的產(chǎn)業(yè)中，將硅晶棒切割成厚薄均一的硅晶圓(片) 已屬于標(biāo)準(zhǔn)流程的一環(huán)，其通常使用特殊的金屬線鋸(Wire Saw)為切割刀具，并采用高硬度的碳化硅(SiC)為研磨料，再輔以混有聚乙二醇(PEG)、二乙二醇(DEG)、丙二醇(PG)等礦物油酯為切削、冷卻液，借此，當(dāng)金屬線鋸高速往復(fù)運(yùn)行時(shí)，就可配合碳化硅為介質(zhì)來(lái)提高線鋸的切削能力，以對(duì)硅芯片形成良好的切割作用，且切割同時(shí)，將以聚乙二醇為主成份的切削液對(duì)著切割部位噴出，一方面除了作為冷卻及潤(rùn)滑用途之外，另一方面尚可將切割時(shí)所產(chǎn)生的硅粉及雜質(zhì)帶出切割槽道，使晶圓切割制程能順利且平穩(wěn)的進(jìn)行，以利進(jìn)行后續(xù)制程。在硅晶圓被切割、研磨的過(guò)程中，對(duì)切割區(qū)所噴出且使用過(guò)后的切削液，會(huì)挾帶著切削時(shí)所產(chǎn)生的硅粉碎屑、雜質(zhì)與被磨耗的碳化硅，不斷地被排出切割區(qū)外，進(jìn)而成為粒子濃度與濁度極高的漿狀廢油泥。以往，國(guó)內(nèi)多數(shù)的硅晶圓切割廠商對(duì)于這些廢油泥，只能以廢棄物方式來(lái)處理，或是以重油進(jìn)行焚化后掩埋，但是，仍需要支出高昂的費(fèi)用請(qǐng)廢棄物業(yè)者處理，且廢油泥如果以焚化方式處理，也會(huì)產(chǎn)生大量的二氧化碳，相當(dāng)不環(huán)保。此外，焚燒后也將對(duì)焚化爐的爐壁造成嚴(yán)重破壞，因此，對(duì)于硅晶圓切割研磨后所產(chǎn)生的廢棄物(油泥)，以焚化或掩埋均非理想的處理方法。目前，國(guó)外業(yè)者已采用過(guò)濾設(shè)備來(lái)回收廢油泥中的切削油料，其通常利用薄膜技術(shù)來(lái)進(jìn)行固液分離，雖然此方式可獲得部份液態(tài)再生油(切削液)，供硅晶圓生產(chǎn)制造時(shí)回收再使用，但此法卻也會(huì)產(chǎn)生大量的污泥，也只能以掩埋方式處理，且以固液分離方式來(lái)進(jìn)行再生油的回收，其經(jīng)濟(jì)效益并不理想，主因在于廢油泥進(jìn)行薄膜過(guò)濾時(shí)，并沒(méi)有獲得良好的前處理，使得膜孔極易污堵(fouling)，造成膜的操作周期降低，另一方面，如果進(jìn)一步對(duì)回收油的質(zhì)量加以分析，可以得知再生油的回收質(zhì)量是與膜孔孔徑成反比，也就是說(shuō)，雖然膜的孔徑較大，所獲得的再生油流通量雖高，但油內(nèi)所含的硅粒與廢料濃度也較高，相對(duì)得再生油的油品質(zhì)量就低，這顯然不利于再生油的操作壽命性，無(wú)法達(dá)成回收再生油的標(biāo)準(zhǔn)。因此，如何在回收成本與環(huán)保之間達(dá)成平衡，至今仍沒(méi)有一個(gè)有效率且符合操作成本的處理方式，使得硅晶圓切割業(yè)者在環(huán)保改善成本負(fù)荷上愈來(lái)愈高，如何積極提高生產(chǎn)質(zhì)量及污染防治技術(shù)來(lái)兼顧經(jīng)濟(jì)與環(huán)保，降低生產(chǎn)成本，提高產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力，已成為目前相關(guān)產(chǎn)業(yè)所迫切努力的目標(biāo)。有鑒于此，本設(shè)計(jì)人針對(duì)上述處理裝置上未臻完善所導(dǎo)致的諸多缺失及不便，而深入構(gòu)思，且積極研究改良試做而開(kāi)發(fā)設(shè)計(jì)出本案
實(shí)用新型內(nèi)容
[0007]本實(shí)用新型的目的是在于提供一種可大量連續(xù)處理廢油泥，以降低回收油成本， 且符合環(huán)保要求的自硅晶圓切割廢油泥中回收再生油的處理裝置。為了達(dá)成上述目的，本實(shí)用新型的解決方案是一種自硅晶圓切割廢油泥中回收再生油的處理裝置，包含一廢油儲(chǔ)槽、一初濾單元、一初儲(chǔ)儲(chǔ)槽及至少一精濾單元，該廢油儲(chǔ)槽，儲(chǔ)置廢油泥；該初濾單元，與該廢油儲(chǔ)槽連通，利用離心沉降方式將廢油泥進(jìn)行固液分離，以濾除廢油泥中的固形物，并取得其中的初濾濾液；該初濾儲(chǔ)槽，暫存經(jīng)該初濾單元所釋出的初濾濾液；該精濾單元，包含一與該初濾儲(chǔ)槽導(dǎo)通的精濾槽、一裝設(shè)在該精濾槽內(nèi)的精濾膜組、一與該精濾膜組鏈接的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，以及一用以盛裝經(jīng)過(guò)該精濾模塊處理后的再生油的再生油槽。上述初濾單元包含一與該廢油儲(chǔ)槽連通的廢液進(jìn)料泵及一離心機(jī)以及一濾液排放泵，該離心機(jī)具有一機(jī)座、一旋轉(zhuǎn)的中空筒體、一安置于該中空筒體內(nèi)部的離心管、一通道，以及至少一廢料出口，該中空筒體與該離心管之間界定出一容置空間該通道是開(kāi)設(shè)于該離心管的管壁上，進(jìn)而與該容置空間相連通。上述初濾單元的離心機(jī)還具有一第一馬達(dá)及一第二馬達(dá)，該第一馬達(dá)驅(qū)動(dòng)該中空筒體，該第二馬達(dá)驅(qū)動(dòng)該離心管。上述第一馬達(dá)的轉(zhuǎn)速高于該第二馬達(dá)的轉(zhuǎn)速。上述離心機(jī)還具有多個(gè)設(shè)置于該離心管外側(cè)的螺旋葉片。上述精濾單元設(shè)置有多組，精濾單元呈串聯(lián)方式連接。上述自硅晶圓切割廢油泥中回收再生油的處理裝置還包含有一廢液儲(chǔ)槽，該廢液儲(chǔ)槽盛接自該精濾單元的精濾槽內(nèi)所排出的濃縮廢液，并抽引回至該初濾單元內(nèi)進(jìn)行再過(guò)
濾ο上述自硅晶圓切割廢油泥中回收再生油的處理裝置還包含一油質(zhì)監(jiān)測(cè)單元，該油質(zhì)監(jiān)測(cè)單元鏈接于該精濾單元的精濾槽與該再生油槽之間。上述自硅晶圓切割廢油泥中回收再生油的處理裝置還包含一電控單元，該電控單元控制該處理裝置所需的電源。上述初濾單元為立式螺旋沉降離心機(jī)、臥式螺旋沉降離心機(jī)的其中一種。采用上述結(jié)構(gòu)，本實(shí)用新型自硅晶圓切割廢油泥中回收再生油的處理裝置先操作廢液進(jìn)料泵，將該廢油儲(chǔ)槽內(nèi)的廢油泥泵送入該離心管的內(nèi)容室當(dāng)中，再經(jīng)過(guò)該離心管上的通道，以批次式進(jìn)料流入該中空筒體的容置空間中。由于該第一馬達(dá)的轉(zhuǎn)速高于該第二馬達(dá)的轉(zhuǎn)速，所以，轉(zhuǎn)速較快的該離心管利用外側(cè)的多個(gè)螺旋葉片的推擠效應(yīng)，以將廢油泥的固形物逐漸朝向廢料出口快速擠出，而留存在該容置空間的濾液，則配合該濾液排放泵的抽取之下，經(jīng)由該濾液出口泵送至該初濾儲(chǔ)槽，以完成初步過(guò)濾。接著，初濾濾液匯送至該初濾儲(chǔ)槽暫存，然后，初濾濾液再進(jìn)入各個(gè)精濾單元的精濾槽內(nèi)進(jìn)行進(jìn)一步的精濾(固液分離)，如此，初濾濾液中粒徑較小的固形物，就能被濾膜所截留，進(jìn)而釋出符合回收標(biāo)準(zhǔn)的再生油，而且各個(gè)精濾單元可采以串聯(lián)方式連接，以使過(guò)濾出的再生油質(zhì)量更為潔凈，且處理過(guò)程更為快速。因此，本實(shí)用新型在精濾單元之前，先以初濾單元來(lái)進(jìn)行廢油泥的預(yù)過(guò)濾，除了可有效減少后段精濾薄膜的污堵，增加薄膜操作周期性，另一方面，初濾單元利用螺旋沉降式的離心機(jī)，不但可大量連續(xù)處理廢油泥，且外觀整潔無(wú)臭味，符合環(huán)保要求且不會(huì)危害工作環(huán)境與人體健康，使本實(shí)用新型得以在降低成本的情況下，不僅能增加再生油的流通量，且油品的質(zhì)量仍符合回收再使用的標(biāo)準(zhǔn)，不但經(jīng)濟(jì)價(jià)值高，更有效減低高科技業(yè)中大量硅晶圓切割的污染，且對(duì)環(huán)境保護(hù)也能有所貢獻(xiàn)。

圖1為本實(shí)用新型自硅晶圓切割廢油泥中回收再生油的處理裝置的方塊流程圖；圖2為顯示廢油泥經(jīng)過(guò)初濾至精濾的流程圖；圖3為本實(shí)用新型自硅晶圓切割廢油泥中回收再生油的處理裝置的設(shè)備平面圖；圖4為說(shuō)明一種臥式螺旋沉降離心機(jī)的剖視圖；圖5為說(shuō)明本實(shí)用新型初濾單元于進(jìn)行初濾的流程圖；圖6為顯示在精濾過(guò)程中經(jīng)過(guò)油質(zhì)監(jiān)控的流程圖；圖7為顯示串聯(lián)連接的精濾單元的流程圖。
具體實(shí)施方式
為了進(jìn)一步解釋本實(shí)用新型的技術(shù)方案，下面通過(guò)具體實(shí)施例來(lái)對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)闡述。參照?qǐng)D1與圖2，本實(shí)用新型自硅晶圓切割廢油泥中回收再生油的處理裝置的一個(gè)實(shí)施例，包含有一廢油儲(chǔ)槽100、一初濾單元200、一初濾儲(chǔ)槽300以及至少一精濾單元 400。該廢油儲(chǔ)槽100，用以儲(chǔ)置廢油泥。該初濾單元200，在本實(shí)施例中是采用臥式螺旋沉降離心機(jī)220(簡(jiǎn)稱離心機(jī))。該初濾單元200，利用離心沉降方式將廢油泥進(jìn)行固液分離，以濾除廢油泥中的固形物，并取得其中的初濾濾液。進(jìn)一步，參照?qǐng)D5，該初濾單元200，其包含有一與該廢油儲(chǔ)槽100連通的廢液進(jìn)料泵210、一離心機(jī)220以及一濾液排放泵230。參照?qǐng)D3、圖4，該離心機(jī)220具有一機(jī)座221、一可旋轉(zhuǎn)的中空筒體222、一安置于該中空筒體222內(nèi)部的離心管223、一通道224以及多個(gè)廢料出口 225。該中空筒體222 與該離心管223之間界定出一容置空間226，而該通道224開(kāi)設(shè)于該離心管223的管壁上， 進(jìn)而與該容置空間2 相連通，借由該廢液進(jìn)料泵210將廢油泥泵送至該離心管223的一內(nèi)容室2231的內(nèi)部，利用該中空筒體222與該離心管223沿著相同方向旋轉(zhuǎn)并同時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)的交相動(dòng)力的推擠作用，以使得該廢油泥中的固形物被朝向該廢料出口 225方向推擠而出。 而該中空筒體222相反于廢料出口 225的一端設(shè)有至少一濾液出口 227，而濾液則沿著該濾液出口 227被該濾液排放泵230向外泵出。該初濾單元200的離心機(jī)220還具有一第一馬達(dá)2 及一第二馬達(dá)229。該第一馬達(dá)2 用以驅(qū)動(dòng)該中空筒體222。該第二馬達(dá)2 用以驅(qū)動(dòng)該離心管223。該初濾儲(chǔ)槽300，用以暫存經(jīng)該初濾單元200的濾液排放泵230所泵送出的初濾濾液。參照?qǐng)D6，該精濾單元400，包含一與該初濾儲(chǔ)槽300導(dǎo)通的精濾槽410、一裝設(shè)在該精濾槽410內(nèi)的精濾膜組420、一與該精濾膜組420鏈接的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)430，以及一用以盛裝經(jīng)過(guò)該精濾模塊420處理后的再生油的再生油槽440。續(xù)參照?qǐng)D2、圖3，在本實(shí)施例中，該精濾單元400共設(shè)置有四組，各該精濾單元 400的輸出端分別連接至該再生油槽440，再以濾液進(jìn)料泵210依各該精濾槽410的液位需求進(jìn)行補(bǔ)液。該精濾膜組420可利用超濾膜、奈米濾膜的其中一種濾膜來(lái)作精濾處理，本實(shí)施例中是采用經(jīng)過(guò)奈米鍍膜處理的超濾膜，其可承受濁度高，且具有表面不易積垢的特點(diǎn)。該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)430具有一與該精濾模塊420連接的抽油泵431，當(dāng)該抽油泵431動(dòng)作時(shí)，可促使該精濾槽410內(nèi)的初濾濾液，可逐漸透析過(guò)多個(gè)精濾薄膜的過(guò)濾，進(jìn)而產(chǎn)生符合回收標(biāo)準(zhǔn)的再生油，所釋出的再生油回收至該再生油槽440內(nèi)部，以利于后續(xù)包裝處理。此外，該精濾單元400的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)430更具有一旋動(dòng)馬達(dá)432，該旋動(dòng)馬達(dá)432用以驅(qū)動(dòng)該精濾模塊420內(nèi)部的精濾薄膜在該精濾槽410內(nèi)產(chǎn)生旋動(dòng)。進(jìn)一步，參閱如圖7，前述精濾單元400可采串聯(lián)方式依序連接，借由多組精濾單元400的依序串接，以使初濾濾液逐一通過(guò)每一個(gè)精濾單元400，而形成多道精濾作用，以獲得潔凈質(zhì)量佳的再生油。另外，如圖2所示，本實(shí)用新型還包含有一廢液儲(chǔ)槽500，該廢液儲(chǔ)槽500可視情況盛接自該精濾單元400的精濾槽410內(nèi)所排出的濃縮廢液，并抽引回至該初濾單元200 內(nèi)進(jìn)行再過(guò)濾。參照?qǐng)D6，本實(shí)用新型還包含一油質(zhì)監(jiān)測(cè)單元600，該油質(zhì)監(jiān)測(cè)單元600鏈接于該精濾單元400的精濾槽410與該再生油槽440之間，使再生油經(jīng)由該油質(zhì)監(jiān)測(cè)單元600作濁度精密判別，經(jīng)符合標(biāo)準(zhǔn)的再生油則釋出于該再生油槽440內(nèi)回收，未達(dá)標(biāo)準(zhǔn)的再生油則被接引回該精濾槽410內(nèi)，以進(jìn)行再次透析過(guò)濾。參照?qǐng)D1、圖3，本實(shí)用新型還包含一電控單元700，該電控單元700用以控制各個(gè)單元所需的電源，以及在過(guò)濾過(guò)程中所需的進(jìn)料、出料的控制動(dòng)作，而進(jìn)料、出料的控制動(dòng)作除可采自動(dòng)化之外，也可視情況利用手動(dòng)監(jiān)控各個(gè)階段性的過(guò)濾效果。據(jù)上所述，再將本實(shí)用新型自硅晶圓切割廢油泥中回收再生油的處理裝置的操作流程詳述如下首先，是先操作廢液進(jìn)料泵210，將該廢油儲(chǔ)槽100內(nèi)的廢油泥泵送入該離心管 223的內(nèi)容室2231當(dāng)中，再經(jīng)過(guò)該離心管223上的通道224，以批次式進(jìn)料流入該中空筒體 222的容置空間226中。由于該第一馬達(dá)228的轉(zhuǎn)速高于該第二馬達(dá)229的轉(zhuǎn)速，所以，轉(zhuǎn)速較快的該離心管223利用外側(cè)的多個(gè)螺旋葉片2232的推擠效應(yīng)，以將廢油泥的固形物 110逐漸朝向廢料出口 225快速擠出，而留存在該容置空間226的濾液，則配合該濾液排放泵230的抽取之下，經(jīng)由該濾液出口 227泵送至該初濾儲(chǔ)槽300，以完成初步過(guò)濾。接著，初濾濾液匯送至該初濾儲(chǔ)槽300暫存，然后，初濾濾液再進(jìn)入各個(gè)精濾單元 400的精濾槽410內(nèi)進(jìn)行進(jìn)一步的精濾(固液分離)，如此，初濾濾液中粒徑較小的固形物， 就能被濾膜所截留，進(jìn)而釋出符合回收標(biāo)準(zhǔn)的再生油，而且各個(gè)精濾單元400可采以串聯(lián)方式連接，以使過(guò)濾出的再生油質(zhì)量更為潔凈，且處理過(guò)程更為快速。此外，本實(shí)用新型在操作的過(guò)程中，可透過(guò)該油質(zhì)監(jiān)測(cè)單元600隨時(shí)檢知再生油的濁度，如果濁度符合標(biāo)準(zhǔn)則可進(jìn)行回收包裝，如果濁度仍不符合使用標(biāo)準(zhǔn)，則再回流至該
6精濾單元400經(jīng)過(guò)再次過(guò)濾，如此反復(fù)操作，直到再生油質(zhì)量符合標(biāo)準(zhǔn)為止。因此，本實(shí)用新型在精濾單元400之前，先以初濾單元200來(lái)進(jìn)行廢油泥的預(yù)過(guò)濾，除了可有效減少后段精濾薄膜的污堵，增加薄膜操作周期性，另一方面，初濾單元200 利用螺旋沉降式的離心機(jī)220，不但可大量連續(xù)處理，且外觀整潔無(wú)臭味，符合環(huán)保要求且不會(huì)危害工作環(huán)境與人體健康，使本實(shí)用新型得以在降低成本的情況下，不僅能增加再生油的流通量，且油品的質(zhì)量仍符合回收再使用的標(biāo)準(zhǔn)，不但經(jīng)濟(jì)價(jià)值高，更有效減低高科技業(yè)中大量硅晶圓切割的污染，且對(duì)環(huán)境保護(hù)也能有所貢獻(xiàn)。此外，離心機(jī)的安裝容易，占地空間較小，而且起動(dòng)、停止很快速，可提高廢油泥的處理效率。另值得一提的，參照?qǐng)D6，前述精濾單元400在經(jīng)過(guò)一段時(shí)間的精細(xì)過(guò)濾之后，必然會(huì)產(chǎn)生濃度較高的油液，此時(shí)可再泵流至一濃廢油液槽800，再將濃廢油液槽800內(nèi)的濾液泵抽至該初濾單元200內(nèi)，并依序進(jìn)行前述初濾、精濾的處理，以達(dá)到節(jié)能減廢的目的。在本實(shí)用新型中，初濾單元200雖僅以圖3、圖4中的臥式螺旋沉降離心機(jī)為實(shí)施例，當(dāng)然該初濾單元200也可使用立式螺旋沉降離心機(jī)，其使用功效相同，不再多加說(shuō)明。上述實(shí)施例和附圖并非限定本實(shí)用新型的產(chǎn)品形態(tài)和式樣，任何所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員對(duì)其所做的適當(dāng)變化或修飾，皆應(yīng)視為不脫離本實(shí)用新型的專利范疇。
權(quán)利要求1.一種自硅晶圓切割廢油泥中回收再生油的處理裝置，包含一廢油儲(chǔ)槽、一初濾單元、 一初儲(chǔ)儲(chǔ)槽及至少一精濾單元，其特征在于該廢油儲(chǔ)槽，儲(chǔ)置廢油泥；該初濾單元，與該廢油儲(chǔ)槽連通，利用離心沉降方式將廢油泥進(jìn)行固液分離，濾除廢油泥中的固形物，并取得其中的初濾濾液；該初濾儲(chǔ)槽，暫存經(jīng)該初濾單元所釋出的初濾濾液；該精濾單元，包含一與該初濾儲(chǔ)槽導(dǎo)通的精濾槽、一裝設(shè)在該精濾槽內(nèi)的精濾膜組、一與該精濾膜組鏈接的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，以及一用以盛裝經(jīng)過(guò)該精濾模塊處理后的再生油的再生油槽。
2.如權(quán)利要求1所述的自硅晶圓切割廢油泥中回收再生油的處理裝置，其特征在于 該初濾單元包含一與該廢油儲(chǔ)槽連通的廢液進(jìn)料泵及一離心機(jī)以及一濾液排放泵，該離心機(jī)具有一機(jī)座、一旋轉(zhuǎn)的中空筒體、一安置于該中空筒體內(nèi)部的離心管、一通道，以及至少一廢料出口，該中空筒體與該離心管之間界定出一容置空間該通道是開(kāi)設(shè)于該離心管的管壁上，進(jìn)而與該容置空間相連通。
3.如權(quán)利要求2所述的自硅晶圓切割廢油泥中回收再生油的處理裝置，其特征在于 該初濾單元的離心機(jī)還具有一第一馬達(dá)及一第二馬達(dá)，該第一馬達(dá)驅(qū)動(dòng)該中空筒體，該第二馬達(dá)驅(qū)動(dòng)該離心管。
4.如權(quán)利要求3所述的自硅晶圓切割廢油泥中回收再生油的處理裝置，其特征在于 該第一馬達(dá)的轉(zhuǎn)速高于該第二馬達(dá)的轉(zhuǎn)速。
5.如權(quán)利要求3所述的自硅晶圓切割廢油泥中回收再生油的處理裝置，其特征在于 該離心機(jī)還具有多個(gè)設(shè)置于該離心管外側(cè)的螺旋葉片。
6.如權(quán)利要求1所述的自硅晶圓切割廢油泥中回收再生油的處理裝置，其特征在于 精濾單元設(shè)置有多組，精濾單元呈串聯(lián)方式連接。
7.如權(quán)利要求1所述的自硅晶圓切割廢油泥中回收再生油的處理裝置，其特征在于 還包含有一廢液儲(chǔ)槽，該廢液儲(chǔ)槽盛接自該精濾單元的精濾槽內(nèi)所排出的濃縮廢液，并抽引回至該初濾單元內(nèi)進(jìn)行再過(guò)濾。
8.如權(quán)利要求1所述的自硅晶圓切割廢油泥中回收再生油的處理裝置，其特征在于 還包含一油質(zhì)監(jiān)測(cè)單元，該油質(zhì)監(jiān)測(cè)單元鏈接于該精濾單元的精濾槽與該再生油槽之間。
9.如權(quán)利要求1所述的自硅晶圓切割廢油泥中回收再生油的處理裝置，其特征在于 還包含一電控單元，該電控單元控制該處理裝置所需的電源。
10.如權(quán)利要求1所述的自硅晶圓切割廢油泥中回收再生油的處理裝置，其特征在于 該初濾單元為立式螺旋沉降離心機(jī)、臥式螺旋沉降離心機(jī)的其中一種。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種自硅晶圓切割廢油泥中回收再生油的處理裝置，包含一廢油儲(chǔ)槽、一初濾單元、一初濾儲(chǔ)槽以及一精濾單元，是將廢油儲(chǔ)槽內(nèi)的廢油泥泵送入該初濾單元，利用該初濾單元的離心機(jī)采以大量且連續(xù)的方式，將廢油泥進(jìn)行固液分離，以快速地篩除廢油泥中大部份的顆粒與雜質(zhì)，降低后級(jí)處理時(shí)薄膜的堵塞，以延長(zhǎng)薄膜的操作周期、降低成本，且能獲得符合回收標(biāo)準(zhǔn)的再生油，符合環(huán)保要求的自硅晶圓切割廢油泥中回收再生油的處理裝置。
文檔編號(hào)B01D36/00GK202199204SQ201120283439
公開(kāi)日2012年4月25日 申請(qǐng)日期2011年8月5日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月5日
發(fā)明者林暉智, 郭勝惟, 陳皇志, 黃丈耘 申請(qǐng)人:亞邦國(guó)際科技股份有限公司