專利名稱：化學(xué)液混合裝置及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體清洗技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種化學(xué)液混合裝置及方法。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體工藝清洗設(shè)備中，針對化學(xué)液回收的情況，在工藝過程中，有一部分化學(xué)液不經(jīng)過工藝腔室而直接回到儲液罐中，另一部分化學(xué)液做完工藝之后需要回收到儲液罐中，而不是直接排掉。當(dāng)化學(xué)液到達(dá)一定的壽命時間之后，就把化學(xué)液整體排掉，然后再重新補(bǔ)充新鮮的化學(xué)液，對化學(xué)液進(jìn)行溫度處理和循環(huán)之后再開始下一輪的工藝過程。針對回收后的化學(xué)液粘度相對工藝之前有所增加，為了確保在一定的時間內(nèi)正常完成工藝，需要在工藝過程中補(bǔ)充因揮發(fā)而造成的水分丟失。目前采取的解決方案是在工藝過程中定時定量補(bǔ)充超純水，但是存在的問題是補(bǔ)充后的水都浮在儲液罐內(nèi)的化學(xué)液上 表面，原因是化學(xué)液本身粘度比較大，超純水很難混合在化學(xué)液中，經(jīng)過比較長一段時間，可以很明顯發(fā)現(xiàn)補(bǔ)充后的超純水大多都浮在化學(xué)液表面上，從而造成儲液罐內(nèi)的化學(xué)液在工藝過程中并不是處于相對均勻的狀態(tài)。目前現(xiàn)有導(dǎo)體清洗設(shè)備中常用的補(bǔ)液方法及裝置有兩種，如圖I所示，化學(xué)液返回管11、化學(xué)液回收管12和化學(xué)液補(bǔ)充管13分別插入化學(xué)液儲罐14中。如圖2所示，化學(xué)液返回管21和化學(xué)液回收管22出口連接，形成一個匯合管并與化學(xué)液補(bǔ)充管23分別插入化學(xué)液儲存罐24中。這兩種裝置并沒有將補(bǔ)充的液體與化學(xué)液進(jìn)行混合的功能。不能夠?qū)⑷N液體進(jìn)行均勻的混合，因此縮短了化學(xué)液的使用壽命O

發(fā)明內(nèi)容
(一)要解決的技術(shù)問題本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是，針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種化學(xué)液混合裝置及方法，通過將補(bǔ)充的液體與直接回來的化學(xué)液和回收回來的化學(xué)液在儲液罐外部及內(nèi)部的兩次混合，達(dá)到均勻混合的目的，從而滿足半導(dǎo)體工藝清洗設(shè)備的需要，并且延長了化學(xué)液的使用壽命。(二)技術(shù)方案—種化學(xué)液混合裝置，包括化學(xué)液返回管、化學(xué)液回收管、補(bǔ)充液輸出管第一混合器和第二混合器，所述化學(xué)液返回管、化學(xué)液回收管和補(bǔ)充液輸出管的輸出端連接為一個第一輸出端；所述第一混合器與第一輸出端連接；所述第二混合器通過液體輸送管與第二混合器連接。更好地，所述第二混合器為伸入所述化學(xué)液儲罐內(nèi)部輸入管，所述輸入管壁上設(shè)有開孔并且該輸入管的末端封堵。更好地，所述第一混合器為在線混流器。更好地，所述輸入管末端用堵塞封堵或焊接封堵。更好地，所述化學(xué)液混合裝置還包括位于化學(xué)液存儲容器側(cè)面用于感測化學(xué)液的液位傳感器；以及用于將所述化學(xué)液存儲容器中的化學(xué)液輸送到相應(yīng)工藝單元的配置栗。更好地，所述液位傳感器的數(shù)量至少為一個。更好地，所述化學(xué)液混合裝置還包括存儲補(bǔ)充液的補(bǔ)充液緩沖罐。更好地，所述補(bǔ)充液緩沖罐側(cè)面設(shè)有液位傳感器，所述補(bǔ)充液緩沖罐與控制補(bǔ)充液輸出的輸出泵連接。本發(fā)明還提供一種化學(xué)液混合方法，包括如下步驟SI :將化學(xué)返回液、化學(xué)回收液以及補(bǔ)充液匯合；
S2 :將匯合后的液體經(jīng)過第一混流器進(jìn)行第一次混合；S3:將所述第一次混合后的液體充入化學(xué)液儲罐內(nèi)部，通過輸入管與化學(xué)液儲罐內(nèi)部的新液體進(jìn)行第二次混合。更好地，所述補(bǔ)充液通過輸出泵從補(bǔ)充液緩沖罐輸出與化學(xué)返回液和化學(xué)回收液進(jìn)行匯合。(三)有益效果本發(fā)明提供的化學(xué)液混合裝置及方法，可以有效解決現(xiàn)有半導(dǎo)體工藝設(shè)備中存在的補(bǔ)液不均勻問題，結(jié)構(gòu)簡單，易于實(shí)現(xiàn)。


圖I為現(xiàn)有技術(shù)化學(xué)液混合裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為現(xiàn)有技術(shù)化學(xué)液混合裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本發(fā)明化學(xué)液混合裝置結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本發(fā)明輸入管的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本發(fā)明化學(xué)液混合方法步驟流程圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖和實(shí)施例，對本發(fā)明的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施例用于說明本發(fā)明，但不用來限制本發(fā)明的范圍。如圖3并參考圖4所示，一種化學(xué)液混合裝置，包括化學(xué)液返回管、化學(xué)液回收管、補(bǔ)充液輸出管第一混合器和第二混合器，所述化學(xué)液返回管、化學(xué)液回收管和補(bǔ)充液輸出管的輸出端連接為一個第一輸出端；所述第一混合器與第一輸出端連接；所述第二混合器通過液體輸送管與第二混合器連接。所述第二混合器為伸入所述化學(xué)液儲罐內(nèi)部輸入管34，所述輸入管34壁上設(shè)有開孔并且該輸入管34的末端封堵。所述第一混合器33為在線混流器。所述輸入管34末端用堵塞封堵或焊接封堵。所述化學(xué)液混合裝置還包括位于化學(xué)液存儲容器側(cè)面用于感測化學(xué)液的液位傳感器35。所述液位傳感器35的數(shù)量至少為一個。所述化學(xué)液混合裝置還包括用于將所述化學(xué)液存儲容器36中的化學(xué)液輸送到相應(yīng)工藝單元的配置泵37。所述化學(xué)液混合裝置還包括存儲補(bǔ)充液的補(bǔ)充液緩沖罐38 (Buffer Tank)。
所述補(bǔ)充液緩沖罐38側(cè)面設(shè)有液位傳感器39，所述補(bǔ)充液緩沖罐38與控制補(bǔ)充液輸出的輸出泵40連接。工作原理工藝時首先打開控制閥門41，向化學(xué)液存儲容器36中注入化學(xué)液，直到液位傳感器35感測到化學(xué)液，然后關(guān)閉控制閥門41。此時運(yùn)轉(zhuǎn)配置泵37將化學(xué)液輸送到相應(yīng)的工藝單元，化學(xué)返回液、化學(xué)回收液以及補(bǔ)充液匯合到第一混合器33中進(jìn)行混合，將所述第一次混合后的液體充入化學(xué)液儲罐36內(nèi)部，通過輸入管34與化學(xué)液儲罐36內(nèi)部的新液體進(jìn)行第二次混合。如圖5所示，本發(fā)明提供一種化學(xué)液混合方法，包括如下步驟SI :將化學(xué)返回液、化學(xué)回收液以及補(bǔ)充液匯合；S2 :將匯合后的液體經(jīng)過第一混流器進(jìn)行第一次混合；
S3 :將所述第一次混合后的液體充入化學(xué)液儲罐36內(nèi)部，通過輸入管34與化學(xué)液儲罐36內(nèi)部的新液體進(jìn)行第二次混合。所述補(bǔ)充液通過輸出泵40從補(bǔ)充液緩沖罐38輸出與化學(xué)返回液和化學(xué)回收液進(jìn)
行匯合。以上實(shí)施方式僅用于說明本發(fā)明，而并非對本發(fā)明的限制，有關(guān)技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍的情況下，還可以做出各種變化和變型，因此所有等同的技術(shù)方案也屬于本發(fā)明的范疇，本發(fā)明的專利保護(hù)范圍應(yīng)由權(quán)利要求限定。
權(quán)利要求
1.ー種化學(xué)液混合裝置，其特征在于，包括 化學(xué)液返回管、化學(xué)液回收管、補(bǔ)充液輸出管第一混合器和第二混合器，所述化學(xué)液返回管、化學(xué)液回收管和補(bǔ)充液輸出管的輸出端連接為ー個第一輸出端；所述第一混合器與第一輸出端連接；所述第二混合器通過液體輸送管與第二混合器連接。
2.如權(quán)利要求I所述的化學(xué)液混合裝置，其特征在于，所述第二混合器為伸入所述化學(xué)液儲罐內(nèi)部輸入管，所述輸入管壁上設(shè)有開孔并且該輸入管的末端封堵。
3.如權(quán)利要求I所述的化學(xué)液混合裝置，其特征在于，所述第一混合器為在線混流器。
4.如權(quán)利要求I所述的化學(xué)液混合裝置，其特征在于，所述輸入管末端用堵塞封堵或焊接封堵。
5.如權(quán)利要求I所述的化學(xué)液混合裝置，其特征在于，所述化學(xué)液混合裝置還包括 位于化學(xué)液存儲容器側(cè)面用于感測化學(xué)液的液位傳感器；以及用于將所述化學(xué)液存儲容器中的化學(xué)液輸送到相應(yīng)エ藝単元的配置泵。
6.如權(quán)利要求5所述的化學(xué)液混合裝置，其特征在干，所述液位傳感器的數(shù)量至少為ー個。
7.如權(quán)利要求I所述的化學(xué)液混合裝置，其特征在于，所述化學(xué)液混合裝置還包括存儲補(bǔ)充液的補(bǔ)充液緩沖罐。
8.如權(quán)利要求7所述的化學(xué)液混合裝置，其特征在干，所述補(bǔ)充液緩沖罐側(cè)面設(shè)有液位傳感器，所述補(bǔ)充液緩沖罐與控制補(bǔ)充液輸出的輸出泵連接。
9.ー種化學(xué)液混合方法，其特征在于，包括如下步驟 51:將化學(xué)返回液、化學(xué)回收液以及補(bǔ)充液匯合； 52:將匯合后的液體經(jīng)過第一混流器進(jìn)行第一次混合； S3:將所述第一次混合后的液體充入化學(xué)液儲罐內(nèi)部，通過輸入管與化學(xué)液儲罐內(nèi)部的新液體進(jìn)行第二次混合。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述化學(xué)液混合方法，其特征在于，所述補(bǔ)充液通過輸出泵從補(bǔ)充液緩沖罐輸出與化學(xué)返回液和化學(xué)回收液進(jìn)行匯合。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種化學(xué)液混合裝置及方法，所述化學(xué)液混合裝置包括化學(xué)液返回管、化學(xué)液回收管、補(bǔ)充液輸出管第一混合器和第二混合器，所述化學(xué)液返回管、化學(xué)液回收管和補(bǔ)充液輸出管的輸出端連接為一個第一輸出端；所述第一混合器與第一輸出端連接；所述第二混合器通過液體輸送管與第二混合器連接。本發(fā)明提供的化學(xué)液混合方法及裝置，可以有效解決現(xiàn)有半導(dǎo)體工藝設(shè)備中存在的補(bǔ)液不均勻問題，結(jié)構(gòu)簡單，易于實(shí)現(xiàn)。
文檔編號B01F3/08GK102847480SQ20121035098
公開日2013年1月2日 申請日期2012年9月19日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月19日
發(fā)明者何金群, 劉福生, 王銳廷, 裴立坤 申請人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司