專利名稱：一種硅片研磨液的攪拌裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種攪拌裝置，特別涉及一種硅片研磨液的攪拌裝置，屬于硅片加工的技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
硅片加工過程中，為了保證硅片的設(shè)計要求，要求硅片進(jìn)行研磨?，F(xiàn)有技術(shù)中，對硅片加工所要的研磨液，一般采用手工攪拌。該方法一方面容易使研磨液攪拌不均勻，另一方面人工化操作，效率低，且操作人員勞動強(qiáng)度大。近來出現(xiàn)了一種攪拌裝置，包括筒體、攪拌裝置。雖然提高了效率、降低了工人的操作強(qiáng)度，但該攪拌裝置攪拌時速度恒定，無法進(jìn)行調(diào)節(jié)，造成能源浪費(fèi)；且研磨液一直處于高速攪拌狀態(tài)，容易發(fā)熱，從而影響質(zhì)量。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是針對以上弊端提供一種可自動調(diào)速的攪拌裝置。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的技術(shù)方案是:一種硅片研磨液的攪拌裝置，包括攪拌葉、電機(jī)、溫控裝置，所述溫控裝置包括溫度傳感器、控制器，所述溫度傳感器的輸出端接入所述控制器的輸入端，所述控制器的輸出端與所述電機(jī)相連。當(dāng)研磨液溫度過高時，可自動調(diào)節(jié)降低攪拌速度，提高了工作效率，有效的節(jié)約了人工，保證了研磨液的質(zhì)量。上述的硅片研磨液的攪拌裝置，其中，所述控制器為PLC。


圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2為本發(fā)明的工作原理示意圖。
具體實施例方式下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進(jìn)一步說明。如圖所示，本發(fā)明包括筒體1，攪拌裝置2，其中，所述的攪拌裝置包括攪拌葉21、電機(jī)22、溫控裝置23，所述攪拌葉21 —端位于筒體I內(nèi)，另一端與所述電機(jī)22的輸出端相連接，所述電機(jī)22的輸入端接有所述溫控裝置23。所述溫控裝置23包括溫度傳感器231、控制器232，所述溫度傳感器231的輸出端接入所述控制器232的輸入端，所述控制器232的輸出端與所述電機(jī)22相連。 攪拌過程中，所述溫度傳感器231置于筒體I內(nèi)，當(dāng)研磨液溫度過高時，可自動調(diào)節(jié)降低攪拌速度，提高了工作效率，有效的節(jié)約了人工，保證了研磨液的質(zhì)量。
權(quán)利要求
1.一種硅片研磨液的攪拌裝置，包括攪拌葉、電機(jī)，其特征在于，還包括溫控裝置，所述溫控裝置包括溫度傳感器、控制器，所述溫度傳感器的輸出端接入所述控制器的輸入端，所述控制器的輸出端與所述電機(jī)相連。
2.如權(quán)利要求1所述的硅片研磨液的攪拌裝置，其特征在于，所述控制器為PLC。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種可自動調(diào)速的攪拌裝置，包括筒體、攪拌裝置，其中，所述的攪拌裝置包括攪拌葉、電機(jī)、溫控裝置，所述的溫控裝置的溫度感應(yīng)設(shè)備置于筒體內(nèi)，當(dāng)研磨液溫度過高時，可自動調(diào)節(jié)降低攪拌速度，提高了工作效率，有效的節(jié)約了人工，保證了研磨液的質(zhì)量。
文檔編號B01F15/00GK103170271SQ20121057402
公開日2013年6月26日 申請日期2012年12月26日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月26日
發(fā)明者聶金根 申請人:鎮(zhèn)江市港南電子有限公司