專利名稱：一種過濾裝置及真空處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制程設(shè)備，具體地，涉及用于冷卻過濾加熱泵中排出氣體的過濾裝置以及具有該過濾裝置的真空處理裝置。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體設(shè)備的制造過程中，例如蝕刻、沉積、氧化、濺射等處理過程中，通常會(huì)利用等離子體對(duì)待加工件(晶片)進(jìn)行處理。一般地，對(duì)于等離子體處理裝置來說，作為生成等離子體的方式，大體上可分為利用電暈(glow)放電或者高頻放電，和利用微波等方式。為了產(chǎn)生等離子體對(duì)待加工件進(jìn)行加工處理，因此在半導(dǎo)體設(shè)備制造的過程中需要一內(nèi)部真空的反應(yīng)腔室，圖1示出了根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)中的真空處理裝置的連接結(jié)構(gòu)示意圖，具體地，一般會(huì)在反應(yīng)腔室5的下方連接一加熱泵6，利用該加熱泵6對(duì)反應(yīng)腔室5進(jìn)行真空排氣，將反應(yīng)腔室5中的空氣抽出，保持反應(yīng)腔室5內(nèi)部處于真空狀態(tài)。而在真空排氣的過程中，經(jīng)常會(huì)產(chǎn)生一些加工過程中的副產(chǎn)品，這些副產(chǎn)品會(huì)隨氣體一起被加熱泵6抽出，如圖1中的箭頭記號(hào)所示，氣體從加熱泵6中抽出后進(jìn)入與加熱泵6相連接的閥門7，進(jìn)而流向管路部分8，最后沉積在管路部分8中，并且加熱泵6中流出的氣體的溫度很高，對(duì)后續(xù)的制造工藝帶來不便。因此，研究人員期望研發(fā)處一種可同時(shí)冷卻和過濾加熱泵中排出氣體的過濾裝置，將副產(chǎn)品沉積在該過濾裝置中，以避免或減少管路中沉積的副產(chǎn)品，同時(shí)也對(duì)加熱泵中抽出的氣體進(jìn)行降溫。

實(shí)用新型內(nèi)容針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的缺陷，本實(shí)用新型的目的是提供一種過濾裝置。根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)方面，提供一種過濾裝置，所述過濾裝置包括:主體，所述主體包括一氣體入口以及一氣體出口，所述氣體入口以及所述氣體出口位于所述主體的側(cè)面，且所述氣體入口位于所述氣體出口的上方；過濾器，所述過濾器位于所述主體的上方，其包括頂蓋以及濾芯，其中，所述濾芯與所述主體的上表面可拆卸地相連接，所述過濾器對(duì)流經(jīng)所述主體的氣體進(jìn)行過濾,使氣體中的副產(chǎn)品沉積于所述主體中。優(yōu)選地，所述氣體入口以及所述氣體出口分別位于所述主體兩個(gè)不同的側(cè)面，且所述氣體入口與所述氣體出口之間朝向?yàn)槿缦路较蛑械娜我环N:所述氣體入口與所述氣體出口的朝向互相垂直；所述氣體入口與所述氣體出口的朝向相反。優(yōu)選地，所述過濾裝置還包括一冷卻液流道，所述冷卻液流道嵌入所述頂蓋的上表面，其內(nèi)部注有冷卻液。優(yōu)選地，所述冷卻液流道的一端設(shè)有一冷卻液入口，其另一端設(shè)有一冷卻液出口，所述冷卻液入口以及所述冷卻液出口連接一冷卻裝置，所述冷卻裝置向所述冷卻液流道輸送冷卻液。[0013]優(yōu)選地，所述過濾裝置還包括一密封環(huán)，所述密封環(huán)設(shè)置于所述主體上表面與所述濾芯的連接處。優(yōu)選地，所述濾芯卡接于所述主體的上表面。優(yōu)選地，所述濾芯與所述主體的上表面螺紋連接。優(yōu)選地，所述主體的形狀為長方體或圓柱體等形狀中的任一種。優(yōu)選地，所述氣體進(jìn)口以及所述氣體出口均為卡接口。根據(jù)本實(shí)用新型的另一個(gè)方面，還提供一種真空處理裝置，所述真空處理裝置包括:反應(yīng)腔室，所述反應(yīng)腔室用于處理代加工件；加熱泵，所述加熱泵連接于所述反應(yīng)腔室的下方，其對(duì)反應(yīng)腔室進(jìn)行真空排氣；閥門以及與所述閥門相連接的管路部分；其特征在于，所述真空處理裝置還包括:所述的過濾裝置，所述過濾裝置設(shè)置于所述加熱泵與所述閥門之間，其中，所述過濾裝置的氣體入口連接所述加熱泵，所述氣體出口連接所述閥門。本實(shí)用新型通過提供一種過濾裝置，使加熱泵中流出的氣體冷卻過濾后流向管路部分，使流經(jīng)該過濾裝置的氣體中的副產(chǎn)品大量地沉積在過濾裝置中，保證管路部分的副產(chǎn)品減少，并且該過濾裝置還能降低流經(jīng)的氣體的溫度，更有利于半導(dǎo)體的加工。

通過閱讀參照以下附圖對(duì)非限制性實(shí)施例所作的詳細(xì)描述，本實(shí)用新型的其它特征、目的和優(yōu)點(diǎn)將會(huì)變得更明顯:圖1示出根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)中的真空處理裝置的連接結(jié)構(gòu)示意圖；圖2示出根據(jù)本實(shí)用新型的第一實(shí)施例的過濾裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；以及圖3示出根據(jù)本實(shí)用新型的第二實(shí)施例的真空處理裝置的連接結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖以及實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)內(nèi)容進(jìn)行進(jìn)一步地說明:圖2示出了根據(jù)本實(shí)用新型的第一實(shí)施例的，過濾裝置9的結(jié)構(gòu)示意圖。具體地，所述過濾裝置9主要包括:主體I以及過濾器2，所述過濾器2位于所述主體I的上方，且所述過濾器2與所述主體I的上表面可拆卸地連接。進(jìn)一步地，所述主體I包括一氣體入口 11以及一氣體出口 12，所述氣體入口 11以及所述氣體出口 12位于所述主體I的側(cè)面，且所述氣體入口 11位于所述氣體出口 12的上方，即所述氣體入口 11處于所述主體I的上半部分更靠近所述過濾器2，所述氣體出口 12處于所述主體I的下半部分，使氣體進(jìn)入所述氣體入口 11后便可以被所述過濾器2進(jìn)行過濾，且在過濾后從所述氣體出口 12流出。更具體地，在圖2所示實(shí)施例中，所述主體I呈長方體，優(yōu)選地，所述氣體入口 11以及所述氣體出口 12分別位于所述主體I兩個(gè)不同的側(cè)面。在一個(gè)優(yōu)選例中，所述氣體入口 11與所述氣體出口 12的朝向相垂直，即所述氣體入口 11與所述氣體出口 12位于所述主體I互相垂直的兩個(gè)側(cè)面，且所述氣體入口 11位于所述氣體出口 12的上方。進(jìn)而，氣體由所述氣體入口 11進(jìn)入所述主體I之后先經(jīng)過90°的轉(zhuǎn)向從所述主體I的上半部分流向所述主體I的下半部分，由于所述氣體出口 12也位于所述主體I的側(cè)面，因此氣體流向所述主體I下半部分后，需要再次進(jìn)過90°的轉(zhuǎn)向才能從所述氣體出口 12流出所述主體I。所述主體I內(nèi)部的兩次轉(zhuǎn)向可以使流經(jīng)所述主體I的氣體所附帶的副產(chǎn)品更多的沉積在所述主體I中，提高副產(chǎn)品在主體I內(nèi)的沉積率，防止副產(chǎn)品進(jìn)入所述過濾裝置9之后的管路，以保證管路內(nèi)的副產(chǎn)品有效地減少，更好地到達(dá)本實(shí)用新型所要達(dá)到的效果。更進(jìn)一步地，在本實(shí)用新型的一個(gè)變化例中，所述氣體入口 11以及所述氣體出口12也可以位于所述主體I相對(duì)兩個(gè)側(cè)面,此時(shí),所述氣體入口 11與所述氣體出口 12的朝向相反。在這此變化例中，所述氣體入口 11同樣位于所述氣體出口 12的上方。因此，當(dāng)氣體從所述氣體入口 11進(jìn)入所述主體I后同樣經(jīng)過了兩次90°的轉(zhuǎn)向再從所述氣體出口 12流出。本領(lǐng)域技術(shù)人員理解，所述變化例同樣可以結(jié)合圖2所示實(shí)施例予以實(shí)現(xiàn)，此處不予贅述。更具體地，在圖2所示實(shí)施例中，所述氣體進(jìn)口 11以及所述氣體出口 12優(yōu)選地均為卡接口，以便所述氣體進(jìn)口 11以及所述氣體出口 12與其他設(shè)備的連接，同時(shí)也使所述過濾裝置9的安裝以及拆卸更為簡便。所述過濾器2包括頂蓋21以及濾芯22，所述頂蓋21位于所述濾芯22的上方，所述濾芯22與所述主體I的上表面可拆卸地相連接，其中，所述濾芯22主要起到過濾作用，其將流入所述主體I的氣體中的副產(chǎn)品進(jìn)行沉降，使其大量沉積于所述主體I中。具體地，圖2所示實(shí)施中，所述濾芯22與所述主體I的上表面之間可以是螺紋連接，使所述過濾裝置9的清洗可以更為方便。而在一個(gè)變化例中，所述濾芯22也可以卡接于所述主體I的上表面，本領(lǐng)域技術(shù)人員理解，該變化例同樣可以結(jié)合圖2所示實(shí)施例予以實(shí)現(xiàn)，此處不予贅述。進(jìn)一步地，在圖2所示的優(yōu)選例中，所述過濾裝置9還包括一冷卻液流道3，所述冷卻液流道3嵌入所述頂蓋21的上表面，所述冷卻液流道3的內(nèi)部注有冷卻液。所述冷卻液流道3使所述過濾器2對(duì)進(jìn)入所述主體I內(nèi)部的氣體進(jìn)行過濾的同時(shí)還能進(jìn)一步進(jìn)行冷卻，并且由于所述氣體入口 11以及所述氣體出口 12分別位于所述主體I的兩個(gè)不同的側(cè)面且上下設(shè)置，使氣體進(jìn)入所述主體I內(nèi)部需要經(jīng)過兩次轉(zhuǎn)向，進(jìn)而流經(jīng)所述主體I的氣體的時(shí)間增加，可以得到更為充分的冷卻，，提高冷卻的效果。更具體地，如圖2所示，所述冷卻液流道3呈環(huán)形布置于所述頂蓋21中，所述冷卻液流道3的一端設(shè)有一冷卻液入口 31，其另一端設(shè)有一冷卻液出口 32，所述冷卻液入口 31以及所述冷卻液出口 32連接一冷卻裝置(圖中未示出)，所述冷卻裝置向所述冷卻液流道3輸送冷卻液。進(jìn)一步地，所述過濾裝置9還包括一密封環(huán)4，所述密封環(huán)4設(shè)置于所述主體I上表面與所述濾芯22的連接處。所述密封環(huán)4的形狀及尺寸與所述主體I上表面和所述濾芯22的連接處相適應(yīng)，使所述密封環(huán)4恰好實(shí)現(xiàn)密封的作用。進(jìn)一步地，在圖2所示實(shí)施例中，所述主體I的形狀為長方體，而在一些變化例中，所述主體I也可以是其他形狀的，例如圓柱體、正方體等，本領(lǐng)域技術(shù)人員理解，這些變化例均可以結(jié)合圖2所示實(shí)施例予以實(shí)現(xiàn)，此處不予贅述。圖3示出了根據(jù)本實(shí)用新型的第二實(shí)施例的，真空處理裝置的連接結(jié)構(gòu)示意圖。具體地，所述真空處理裝置包括:反應(yīng)腔室5、加熱泵6、閥門7、管路部分8以及過濾裝置9。其中，所述反應(yīng)腔室5用于處理代加工件。所述加熱泵6連接于所述反應(yīng)腔室5的下方，其對(duì)反應(yīng)腔室5進(jìn)行真空排氣。所述閥門7與所述管路部分8相連接。所述過濾裝置9設(shè)置于所述加熱泵6與所述閥門7之間，其中，所述過濾裝置9的主體I的氣體入口 11連接所述加熱泵6，所述氣體出口 12連接所述閥門7。當(dāng)所述加熱泵6工作時(shí)，所述反應(yīng)腔室5內(nèi)部的氣體被所述加熱泵6抽入所述過濾裝置9的氣體入口 11，進(jìn)而，氣體由所述氣體入口 11進(jìn)入所述主體I在經(jīng)過所述過濾器2的過濾之后進(jìn)行90°的轉(zhuǎn)向從圖1中所述主體I的上半部分流向所述主體I的下半部分(在圖3中顯示為由所述主體I的右邊流向其左邊)，再次進(jìn)過90°的轉(zhuǎn)向從所述氣體出口 12流向所述閥門7進(jìn)入所述管路部分8。結(jié)合上述圖2以及圖3所示實(shí)施例，更為進(jìn)一步地，本領(lǐng)域技術(shù)人員理解，所述過濾裝置通過所述冷卻液流道3中的冷卻液對(duì)流經(jīng)所述過濾裝置的氣體進(jìn)行冷卻，并且通過所述主體I上方的過濾器2對(duì)流經(jīng)的氣體進(jìn)行過濾，使氣體中的副產(chǎn)品沉積于所述主體I中，同時(shí)起到過濾以及冷卻流經(jīng)所述過濾裝置的氣體的作用，從而更有利于半導(dǎo)體的制程工藝。以上對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施例進(jìn)行了描述。需要理解的是，本實(shí)用新型并不局限于上述特定實(shí)施方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在權(quán)利要求的范圍內(nèi)做出各種變形或修改，這并不影響本實(shí)用新型的實(shí)質(zhì)內(nèi)容。
權(quán)利要求1.一種過濾裝置，所述過濾裝置包括: 主體，所述主體包括一氣體入口以及一氣體出口，所述氣體入口以及所述氣體出口位于所述主體的側(cè)面，且所述氣體入口位于所述氣體出口的上方； 過濾器，所述過濾器位于所述主體的上方，其包括頂蓋以及濾芯，其中，所述濾芯與所述主體的上表面可拆卸地相連接,所述過濾器對(duì)流經(jīng)所述主體的氣體進(jìn)行過濾,使氣體中的副產(chǎn)品沉積于所述主體中。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的過濾裝置，其特征在于，所述氣體入口以及所述氣體出口分別位于所述主體兩個(gè)不同的側(cè)面，且所述氣體入口與所述氣體出口之間朝向?yàn)槿缦路较蛑械娜我环N: 所述氣體入口與所述氣體出口的朝向互相垂直； 所述氣體入口與所述氣體出口的朝向相反。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的過濾裝置，其特征在于，所述過濾裝置還包括一冷卻液流道，所述冷卻液流道嵌入所述頂蓋的上表面，其內(nèi)部注有冷卻液。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的過濾裝置，其特征在于，所述冷卻液流道的一端設(shè)有一冷卻液入口，其另一端設(shè)有一冷卻液出口，所述冷卻液入口以及所述冷卻液出口連接一冷卻裝置，所述冷卻裝置向所述冷卻液流道輸送冷卻液。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的過濾裝置，其特征在于，所述過濾裝置還包括一密封環(huán)，所述密封環(huán)設(shè)置于所述主體上表面與所述濾芯的連接處。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的過濾裝置，其特征在于，所述濾芯卡接于所述主體的上表面。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的過濾裝置，其特征在于，所述濾芯與所述主體的上表面螺紋連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷卻過濾裝置，其特征在于，所述主體的形狀為長方體或圓柱體中的任一種。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的過濾裝置，其特征在于，所述氣體進(jìn)口以及所述氣體出口均為卡接口。
10.一種真空處理裝置，所述真空處理裝置包括: 反應(yīng)腔室，所述反應(yīng)腔室用于處理代加工件； 加熱泵，所述加熱泵連接于所述反應(yīng)腔室的下方，其對(duì)反應(yīng)腔室進(jìn)行真空排氣； 閥門以及與所述閥門相連接的管路部分； 其特征在于，所述真空處理裝置還包括: 根據(jù)權(quán)利要求1至9中任一項(xiàng)所述的過濾裝置，所述過濾裝置設(shè)置于所述加熱泵與所述閥門之間，其中，所述過濾裝置的氣體入口連接所述加熱泵，所述氣體出口連接所述閥門。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種過濾裝置，所述過濾裝置包括主體，所述主體包括一氣體入口以及一氣體出口，所述氣體入口以及所述氣體出口位于所述主體的側(cè)面，且所述氣體入口位于所述氣體出口的上方；過濾器，所述過濾器位于所述主體的上方，其包括頂蓋以及濾芯，其中，所述濾芯與所述主體的上表面可拆卸地相連接，所述過濾器對(duì)流經(jīng)所述主體的氣體進(jìn)行過濾，使氣體中的副產(chǎn)品沉積于所述主體中。本實(shí)用新型還提供一種包括上述過濾裝置的真空處理裝置。
文檔編號(hào)B01D46/00GK202951355SQ20122049788
公開日2013年5月29日 申請(qǐng)日期2012年9月26日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月26日
發(fā)明者陸科杰, 徐朝陽, 左濤濤, 周寧 申請(qǐng)人:中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)有限公司