一種多晶硅行業(yè)廢氣水洗處理方法及裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提出一種多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的含氯硅烷廢氣水洗處理方法及裝置。其包括廢氣緩沖罐，與廢氣緩沖罐的入口連接的含氯硅烷廢氣供應(yīng)管路，與廢氣緩沖罐的出口連接的正常廢氣噴淋系統(tǒng)、事故廢氣噴淋系統(tǒng)及應(yīng)急水洗系統(tǒng)。本發(fā)明將含氯硅烷的廢氣送入噴淋塔，用10～30％氫氧化鈉噴林洗滌。噴淋后產(chǎn)生的氣體經(jīng)水封罐排入大氣。此方法有效解決了氯化氫逃逸的問(wèn)題，并解決了傳統(tǒng)水洗會(huì)產(chǎn)生二氧化硅堵塞管道的問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)環(huán)保治理的無(wú)害化。本發(fā)明裝置既能有效地對(duì)氯硅烷廢氣進(jìn)行無(wú)害化處理，又能有效減少氯化氫逃逸，反應(yīng)產(chǎn)生的硅酸鈉也相對(duì)便于清除。
【專利說(shuō)明】一種多晶硅行業(yè)廢氣水洗處理方法及裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的含氯硅烷廢氣無(wú)公害處理水洗處理方法，以及一種多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的含氯硅烷廢氣的水洗處理裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]多晶硅行業(yè)生產(chǎn)過(guò)程產(chǎn)生的廢氣中含大量氯硅烷，為了使廢氣能夠得到有效處理以及使尾氣能夠達(dá)標(biāo)排放，目前國(guó)內(nèi)主要采用傳統(tǒng)的水洗工藝進(jìn)行處理，即用工業(yè)水對(duì)煙氣進(jìn)行洗滌，水解廢氣中的氯硅烷。工業(yè)水洗滌法雖然對(duì)氯硅烷有較高的水解效率，但是氯硅烷水解后大量的氯化氫和二氧化硅固體。其中部分氯化氫在溶于工業(yè)水的同時(shí)，會(huì)從水中逃逸至大氣中，對(duì)環(huán)境造成污染；并且工業(yè)水吸收氯化氫后形成的工業(yè)廢水顯酸性，對(duì)后續(xù)的污水處理造成極大的困難，而產(chǎn)生的二氧化硅固體更是難于從系統(tǒng)中清除。隨著多晶硅行業(yè)的發(fā)展，含氯硅烷廢氣、廢液的產(chǎn)生量也與日俱增，含氯硅烷廢氣、廢液的無(wú)害化處理具有越來(lái)越廣闊的市場(chǎng)前景。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明涉及一種多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的含氯硅烷廢氣水洗處理方法及裝置，實(shí)現(xiàn)對(duì)煙氣中氯化氫氣體的吸收和最終脫除以保證煙氣能夠滿足國(guó)家環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)的要求。
[0004]實(shí)現(xiàn)本發(fā)明目的的技術(shù)方案:一種多晶硅行業(yè)廢氣水洗處理裝置，其包括廢氣緩沖罐，與廢氣緩沖罐的入口連接的含氯硅烷廢氣供應(yīng)管路，與廢氣緩沖罐的出口連接的正常廢氣噴淋系統(tǒng)、事故廢氣噴淋系統(tǒng)及應(yīng)急水洗系統(tǒng)；
[0005]所述的正常廢氣噴淋系統(tǒng)包括正常廢氣噴林塔一和正常廢氣噴林塔二，虹吸罐一和虹吸罐二、正常廢氣噴淋循環(huán)泵一和正常廢氣噴淋塔循環(huán)泵二及堿液池一和堿液池二 ；其中，廢氣緩沖罐的出口與正常廢氣噴林塔一的入口相連，正常廢氣噴林塔一的出口與堿液池一的入口相連，虹吸罐一的入口與堿液池一的出口相連，虹吸罐一的出口與正常廢氣噴淋循環(huán)泵一的入口相連，正常廢氣噴淋循環(huán)泵一的出口與正常廢氣噴淋塔一塔頂?shù)膰娏芸谙噙B；廢氣緩沖罐的出口與正常廢氣噴林塔二的入口相連，正常廢氣噴林塔二的出口與堿液池二的入口相連，虹吸罐二的入口與堿液池二的出口相連，虹吸罐二的出口與正常廢氣噴淋塔循環(huán)泵二的入口相連，正常廢氣噴淋塔循環(huán)泵二的出口與正常廢氣噴林塔二塔頂?shù)膰娏芸谙噙B；
[0006]所述的事故廢氣噴淋系統(tǒng)包括事故廢氣噴淋塔一和事故廢氣噴林塔二，虹吸罐三和虹吸罐四、事故廢氣噴淋塔循環(huán)泵一和事故廢氣噴淋塔循環(huán)泵二 ；其中，廢氣緩沖罐的出口與事故廢氣噴淋塔一的入口相連，事故廢氣噴淋塔一的出口與堿液池一的入口相連，虹吸罐三的入口與堿液池一的出口相連,虹吸罐三的出口與事故廢氣噴淋循環(huán)泵一的入口相連，事故廢氣噴淋循環(huán)泵一的出口與事故廢氣噴淋塔一塔頂?shù)膰娏芸谙噙B；廢氣緩沖罐的出口與事故廢氣噴淋塔二的入口相連，事故廢氣噴淋塔二的出口與堿液池二的入口相連，虹吸罐四的入口與堿液池二的出口相連，虹吸罐四的出口與事故廢氣噴淋塔循環(huán)泵二的入口相連，事故廢氣噴淋塔循環(huán)泵二的出口與事故廢氣噴林塔二塔頂?shù)膰娏芸谙噙B；
[0007]所述的應(yīng)急水洗系統(tǒng)包括事故廢氣輸送管線和應(yīng)急水洗池一、應(yīng)急水洗池二；其中，廢氣緩沖罐的出口通過(guò)多根管線進(jìn)入應(yīng)急水洗池一和應(yīng)急水洗池二液面一下；
[0008]所述的正常廢氣噴林塔一和正常廢氣噴林塔二的塔頂出氣口、事故廢氣噴淋塔一和事故廢氣噴林塔二的塔頂出氣口連接水封罐的入口，水封罐的出氣口與大氣相通。
[0009]如上所述的一種多晶硅行業(yè)廢氣水洗處理裝置，其所述的正常廢氣噴淋系統(tǒng)、事故廢氣噴淋系統(tǒng)及應(yīng)急水洗系統(tǒng)各設(shè)備之間均由襯氟管道連接。
[0010]如上所述的一種多晶硅行業(yè)廢氣水洗處理裝置，其所述的正常廢氣噴林塔一和正常廢氣噴林塔二為玻璃鋼材料，噴淋采用兩級(jí)空錐噴淋。
[0011]如上所述的一種多晶硅行業(yè)廢氣水洗處理裝置，其所述的事故廢氣噴林塔一和事故廢氣噴林塔二為玻璃鋼材料，噴淋采用三級(jí)空錐噴淋。
[0012]如上所述的一種多晶硅行業(yè)廢氣水洗處理裝置，其所述的堿液池一和堿液池二為水泥池內(nèi)鑲襯防腐磚，液體為10?30%氫氧化鈉溶液。
[0013]如上所述的一種多晶硅行業(yè)廢氣水洗處理裝置，其所述的應(yīng)急水洗池一和應(yīng)急水洗池二為水泥池內(nèi)鑲襯防腐磚，液體為15?45%氫氧化鈉溶液。
[0014]本發(fā)明所述的一種多晶硅行業(yè)廢氣水洗處理方法，其包括如下步驟:
[0015](a)通過(guò)含氯硅烷廢氣供應(yīng)管路將含氯硅烷廢氣輸送至廢氣緩沖罐，再通過(guò)廢氣供應(yīng)管路將廢氣輸送至正常廢氣噴林塔一，廢氣自下而上在塔內(nèi)運(yùn)行；堿液池一中存放10?30%堿液，堿液作為噴淋液經(jīng)虹吸罐一、由正常廢氣噴淋循環(huán)泵一送至正常廢氣噴林塔一塔頂，噴淋液自上而下與廢氣逆流接觸，處理后的氣體經(jīng)正常廢氣噴林塔一的塔頂?shù)乃夤夼湃氪髿猓?br> [0016]通過(guò)含氯硅烷廢氣供應(yīng)管路將含氯硅烷廢氣輸送至廢氣緩沖罐，再通過(guò)廢氣供應(yīng)管路將廢氣輸送至正常廢氣噴林塔二，廢氣自下而上在塔內(nèi)運(yùn)行；堿液池二中存放10?30%堿液，堿液作為噴淋液經(jīng)虹吸罐二、由正常廢氣噴淋塔循環(huán)泵二送至正常廢氣噴林塔二塔頂，噴淋液自上而下與廢氣逆流接觸，處理后的氣體經(jīng)正常廢氣噴林塔二的塔頂?shù)乃夤夼湃氪髿猓?br> [0017](b)當(dāng)前段工序發(fā)生事故時(shí)，廢氣量突然增大到超過(guò)了正常廢氣噴林塔一和正常廢氣噴林塔二的處理能力時(shí)，廢氣會(huì)轉(zhuǎn)入事故廢氣噴淋塔一和事故廢氣噴林塔二，此時(shí)廢氣自下而上在事故廢氣噴淋塔一和事故廢氣噴林塔二塔內(nèi)運(yùn)行；堿液池一中存放大量10?30%堿液，經(jīng)虹吸罐三由事故廢氣噴淋塔循環(huán)泵一送至事故廢氣噴淋塔一塔頂，噴淋液自上而下與廢氣逆流接觸，處理后的氣體經(jīng)事故廢氣噴淋塔一的塔頂部的水封罐排入大氣；堿液池二中存放大量10?30%堿液，經(jīng)虹吸罐四由事故廢氣噴淋塔循環(huán)泵二送至事故廢氣噴林塔二塔頂，噴淋液自上而下與廢氣逆流接觸，處理后的氣體經(jīng)事故廢氣噴林塔二的塔頂部的水封罐排入大氣；
[0018](c)當(dāng)前段工序發(fā)生事故造成廢氣量不能穩(wěn)定在設(shè)計(jì)范圍之內(nèi)，廢氣會(huì)自動(dòng)轉(zhuǎn)應(yīng)急水洗池一和應(yīng)急水洗池二，氯硅烷在水池中水解，水解產(chǎn)生的氯化氫又進(jìn)一步與氫氧化鈉反應(yīng)，減少了進(jìn)入大氣的量，避免HCl氣體過(guò)多而逃逸。
[0019]如上所述的一種多晶硅行業(yè)廢氣水洗處理方法，其所述的液體為10?30%氫氧化鈉溶液。[0020]本發(fā)明的效果在于:
[0021]本發(fā)明將含氯硅烷的廢氣送入噴淋塔，用10?30%氫氧化鈉噴林洗滌。噴淋后產(chǎn)生的氣體經(jīng)水封罐排入大氣。此方法有效解決了氯化氫逃逸的問(wèn)題，并解決了傳統(tǒng)水洗會(huì)產(chǎn)生二氧化硅堵塞管道的問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)環(huán)保治理的“無(wú)害化。氯硅烷水解徹底，水解率達(dá)99.9% ;氯化氫被氫氧化鈉溶液吸收中和，吸收率達(dá)98% ;管道里液體循環(huán)流通順暢，有效解決了多晶硅生產(chǎn)中產(chǎn)生的氯硅烷帶來(lái)的危險(xiǎn)與危害。
[0022]本發(fā)明裝置既能有效地對(duì)氯硅烷廢氣進(jìn)行無(wú)害化處理，又能有效減少氯化氫逃逸，反應(yīng)產(chǎn)生的硅酸鈉也相對(duì)便于清除。隨著多晶硅、有機(jī)硅行業(yè)的發(fā)展，這種新的多晶硅廢氣水洗工藝將會(huì)得到更廣泛的推廣。設(shè)計(jì)了正常噴林塔、事故噴林塔、水封罐和應(yīng)急水池，最后保證排放尾氣符合GB16297-1996標(biāo)準(zhǔn)的排放要求。整個(gè)系統(tǒng)工藝流程簡(jiǎn)單、實(shí)用、
合理、可靠。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0023]圖1為本發(fā)明所述的一種多晶硅行業(yè)廢氣水洗處理方法及裝置示意圖。
[0024]圖中:1.廢氣緩沖罐；2.正常廢氣噴林塔一；3.事故廢氣噴林塔一 ；4.水封罐；
5.事故廢氣噴林塔二 ；6.正常廢氣噴林塔二 ；7.正常廢氣噴淋塔循環(huán)泵一 ；8.虹吸罐一；
9.堿液池一 ；10.虹吸罐三；11.事故廢氣噴淋塔循環(huán)泵一 ；12.事故廢氣噴淋塔循環(huán)泵二 ；
13.虹吸罐四；14.堿液池二 ；15.虹吸罐二 ；16.正常廢氣噴淋塔循環(huán)泵二 ；17.應(yīng)急水洗池一 ；18.應(yīng)急水洗池二。
【具體實(shí)施方式】
[0025]下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明所述的一種多晶硅行業(yè)廢氣水洗處理方法及裝置作進(jìn)一步描述。
[0026]實(shí)施例1
[0027]如圖1所示，本發(fā)明所述的一種多晶硅行業(yè)廢氣水洗處理方法及裝置，它包括廢氣緩沖罐1，與廢氣緩沖罐I的入口連接的含氯硅烷廢氣供應(yīng)管路，與廢氣緩沖罐I的出口連接的正常廢氣噴淋系統(tǒng)、事故廢氣噴淋系統(tǒng)及應(yīng)急水洗系統(tǒng)；
[0028]所述的正常廢氣噴淋系統(tǒng)包括正常廢氣噴林塔一 2和正常廢氣噴林塔二 6，虹吸罐一 8和虹吸罐二 15、正常廢氣噴淋循環(huán)泵一 7和正常廢氣噴淋塔循環(huán)泵二 16、堿液池一
9和堿液池二 14 ;其中，廢氣緩沖罐I的出口與正常廢氣噴林塔一 2的入口相連，正常廢氣噴林塔一 2的出口與堿液池一 9的入口相連,虹吸罐一 8的入口與堿液池一 9的出口相連，虹吸罐一 8的出口與正常廢氣噴淋循環(huán)泵一 7的入口相連，正常廢氣噴淋循環(huán)泵一 7的出口與正常廢氣噴淋塔一 2塔頂?shù)膰娏芸谙噙B；廢氣緩沖罐I的出口與正常廢氣噴林塔二 6的入口相連，正常廢氣噴林塔二 8的出口與堿液池二 14的入口相連，虹吸罐二 15的入口與堿液池二 14的出口相連，虹吸罐二 15的出口與正常廢氣噴淋塔循環(huán)泵二 16的入口相連，正常廢氣噴淋塔循環(huán)泵二 16的出口與正常廢氣噴林塔二 6塔頂?shù)膰娏芸谙噙B；
[0029]所述的事故廢氣噴淋系統(tǒng)包括事故廢氣噴淋塔一 3和事故廢氣噴林塔二 5，虹吸罐三10和虹吸罐四13、事故廢氣噴淋塔循環(huán)泵一 11和事故廢氣噴淋塔循環(huán)泵二 12 ;其中，廢氣緩沖罐I的出口與事故廢氣噴淋塔一 3的入口相連，事故廢氣噴淋塔一 3的出口與堿液池一 9的入口相連，虹吸罐三10的入口與堿液池一 9的出口相連，虹吸罐三10的出口與事故廢氣噴淋循環(huán)泵一 11的入口相連，事故廢氣噴淋循環(huán)泵一 11的出口與事故廢氣噴淋塔一 3塔頂?shù)膰娏芸谙噙B；廢氣緩沖罐I的出口與事故廢氣噴淋塔二 5的入口相連，事故廢氣噴淋塔二 5的出口與堿液池二 14的入口相連，虹吸罐四13的入口與堿液池二 14的出口相連，虹吸罐四13的出口與事故廢氣噴淋塔循環(huán)泵二 12的入口相連，事故廢氣噴淋塔循環(huán)泵二 12的出口與事故廢氣噴林塔二 5塔頂?shù)膰娏芸谙噙B；
[0030]所述的應(yīng)急水洗系統(tǒng)包括事故廢氣輸送管線和應(yīng)急水洗池一 17、應(yīng)急水洗池二18 ;其中，廢氣緩沖罐I的出口通過(guò)多根管線進(jìn)入應(yīng)急水洗池一 17和應(yīng)急水洗池二 18液面一下;
[0031]所述的正常廢氣噴林塔一 2和正常廢氣噴林塔二 6的塔頂出氣口、事故廢氣噴淋塔一 3和事故廢氣噴林塔二 5的塔頂出氣口連接水封罐4的入口，水封罐4的出氣口與大氣相通。
[0032]所述的正常廢氣噴淋系統(tǒng)、事故廢氣噴淋系統(tǒng)及應(yīng)急水洗系統(tǒng)各設(shè)備之間均由襯氟管道連接。
[0033]所述的正常廢氣噴林塔一 2和正常廢氣噴林塔二 6為玻璃鋼材料，噴淋采用兩級(jí)空錐噴淋。
[0034]所述的事故廢氣噴林塔一 3和事故廢氣噴林塔二 5為玻璃鋼材料，噴淋采用三級(jí)空錐噴淋。
[0035]所述的堿液池一 9和堿液池二 14為水泥池內(nèi)鑲襯防腐磚，液體為10?30%氫氧化鈉溶液。
[0036]所述的應(yīng)急水洗池一 17和應(yīng)急水洗池二 18為水泥池內(nèi)鑲襯防腐磚，液體為15?45%氫氧化鈉溶液。
[0037]實(shí)施例2
[0038]一種多晶硅行業(yè)廢氣水洗處理方法，其包括如下步驟:
[0039](a)通過(guò)含氯硅烷廢氣供應(yīng)管路將含氯硅烷廢氣輸送至廢氣緩沖罐1，再通過(guò)廢氣供應(yīng)管路將廢氣輸送至正常廢氣噴林塔一 2，廢氣自下而上在塔內(nèi)運(yùn)行；堿液池一 9中存放10?30%堿液，堿液作為噴淋液經(jīng)虹吸罐一 8、由正常廢氣噴淋循環(huán)泵一 7送至正常廢氣噴林塔一 2塔頂，噴淋液自上而下與廢氣逆流接觸，處理后的氣體經(jīng)正常廢氣噴林塔一 2的塔頂?shù)乃夤?排入大氣；
[0040]通過(guò)含氯硅烷廢氣供應(yīng)管路將含氯硅烷廢氣輸送至廢氣緩沖罐1，再通過(guò)廢氣供應(yīng)管路將廢氣輸送至正常廢氣噴林塔二 6，廢氣自下而上在塔內(nèi)運(yùn)行；堿液池二 14中存放
10?30%堿液，堿液作為噴淋液經(jīng)虹吸罐二 15、由正常廢氣噴淋塔循環(huán)泵二 16送至正常廢氣噴林塔二 6塔頂，噴淋液自上而下與廢氣逆流接觸，處理后的氣體經(jīng)正常廢氣噴林塔二 6的塔頂?shù)乃夤?排入大氣；
[0041](b)當(dāng)前段工序發(fā)生事故時(shí)，廢氣量突然增大到超過(guò)了正常廢氣噴林塔一 2和正常廢氣噴林塔二 6的處理能力時(shí)，廢氣會(huì)轉(zhuǎn)入事故廢氣噴淋塔一 3和事故廢氣噴林塔二 5，此時(shí)廢氣自下而上在事故廢氣噴淋塔一 3和事故廢氣噴林塔二 5塔內(nèi)運(yùn)行；
[0042]堿液池一 9中存放大量10?30%堿液，經(jīng)虹吸罐三10由事故廢氣噴淋塔循環(huán)泵
一11送至事故廢氣噴淋塔一 3塔頂，噴淋液自上而下與廢氣逆流接觸，處理后的氣體經(jīng)事故廢氣噴淋塔一 3的塔頂部的水封罐4排入大氣；
[0043]堿液池二 14中存放大量10?30%堿液，經(jīng)虹吸罐四13由事故廢氣噴淋塔循環(huán)泵
二12送至事故廢氣噴林塔二 5塔頂，噴淋液自上而下與廢氣逆流接觸，處理后的氣體經(jīng)事故廢氣噴林塔二 5的塔頂部的水封罐4排入大氣；
[0044](c)當(dāng)前段工序發(fā)生事故造成廢氣量不能穩(wěn)定在設(shè)計(jì)范圍之內(nèi)，廢氣會(huì)自動(dòng)轉(zhuǎn)應(yīng)急水洗池一 17和應(yīng)急水洗池二 18，氯硅烷在水池中水解，水解產(chǎn)生的氯化氫又進(jìn)一步與氫氧化鈉反應(yīng)，減少了進(jìn)入大氣的量，避免HCl氣體過(guò)多而逃逸。
[0045]上述液體為10?30%氫氧化鈉溶液。
【權(quán)利要求】
1.一種多晶硅行業(yè)廢氣水洗處理裝置，其特征在于，該裝置包括廢氣緩沖罐(I)，與廢氣緩沖罐(I)的入口連接的含氯硅烷廢氣供應(yīng)管路，與廢氣緩沖罐(I)的出口連接的正常廢氣噴淋系統(tǒng)、事故廢氣噴淋系統(tǒng)及應(yīng)急水洗系統(tǒng)； 所述的正常廢氣噴淋系統(tǒng)包括正常廢氣噴林塔一(2)和正常廢氣噴林塔二(6)，虹吸罐一(8)和虹吸罐二( 15)、正常廢氣噴淋循環(huán)泵一(7)和正常廢氣噴淋塔循環(huán)泵二( 16)及堿液池一(9)和堿液池二(14);其中，廢氣緩沖罐(I)的出口與正常廢氣噴林塔一(2)的入口相連，正常廢氣噴林塔一(2)的出口與堿液池一(9)的入口相連，虹吸罐一(8)的入口與堿液池一(9)的出口相連，虹吸罐一(8)的出口與正常廢氣噴淋循環(huán)泵一(7)的入口相連，正常廢氣噴淋循環(huán)泵一(7)的出口與正常廢氣噴淋塔一(2)塔頂?shù)膰娏芸谙噙B；廢氣緩沖罐(I)的出口與正常廢氣噴林塔二(6)的入口相連，正常廢氣噴林塔二(8)的出口與堿液池二(14)的入口相連，虹吸罐二(15)的入口與堿液池二(14)的出口相連，虹吸罐二(15)的出口與正常廢氣噴淋塔循環(huán)泵二(16)的入口相連，正常廢氣噴淋塔循環(huán)泵二(16)的出口與正常廢氣噴林塔二(6)塔頂?shù)膰娏芸谙噙B； 所述的事故廢氣噴淋系統(tǒng)包括事故廢氣噴淋塔一(3)和事故廢氣噴林塔二(5)，虹吸罐三(10)和虹吸罐四(13)、事故廢氣噴淋塔循環(huán)泵一(11)和事故廢氣噴淋塔循環(huán)泵二(12);其中，廢氣緩沖罐(I)的出口與事故廢氣噴淋塔一(3)的入口相連，事故廢氣噴淋塔一(3)的出口與堿液池一(9)的入口相連，虹吸罐三(10)的入口與堿液池一(9)的出口相連，虹吸罐三(10))的出口與事故廢氣噴淋循環(huán)泵一(11)的入口相連，事故廢氣噴淋循環(huán)泵一(11)的出口與事故廢氣噴淋塔一(3)塔頂?shù)膰娏芸谙噙B；廢氣緩沖罐(I)的出口與事故廢氣噴淋塔二(5)的入口相連，事故廢氣噴淋塔二(5)的出口與堿液池二( 14)的入口相連，虹吸罐四(13)的入口與堿液池二(14)的出口相連，虹吸罐四(13)的出口與事故廢氣噴淋塔循環(huán)泵二( 12)的入口相連，事故廢氣噴淋塔循環(huán)泵二( 12)的出口與事故廢氣噴林塔二(5)塔頂?shù)膰娏芸谙噙B； 所述的應(yīng)急水洗系統(tǒng)包括事故廢氣輸送管線和應(yīng)急水洗池一(17)、應(yīng)急水洗池二(18);其中，廢氣緩沖罐(I)的出口通過(guò)多根管線進(jìn)入應(yīng)急水洗池一(17)和應(yīng)急水洗池二(18)液面一下； 所述的正常廢氣噴林塔一(2)和正常廢氣噴林塔二(6)的塔頂出氣口、事故廢氣噴淋塔一(3 )和事故廢氣噴林塔二( 5 )的塔頂出氣口連接水封罐(4 )的入口，水封罐(4 )的出氣口與大氣相通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅行業(yè)廢氣水洗處理裝置，其特征在于:所述的正常廢氣噴淋系統(tǒng)、事故廢氣噴淋系統(tǒng)及應(yīng)急水洗系統(tǒng)各設(shè)備之間均由襯氟管道連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅行業(yè)廢氣水洗處理裝置，其特征在于:所述的正常廢氣噴林塔一(2)和正常廢氣噴林塔二(6)為玻璃鋼材料，噴淋采用兩級(jí)空錐噴淋。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅行業(yè)廢氣水洗處理裝置，其特征在于:所述的事故廢氣噴林塔一(3)和事故廢氣噴林塔二(5)為玻璃鋼材料，噴淋采用三級(jí)空錐噴淋。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅行業(yè)廢氣水洗處理裝置，其特征在于:所述的堿液池一(9)和堿液池二(14)為水泥池內(nèi)鑲襯防腐磚，液體為10~30%氫氧化鈉溶液。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅行業(yè)廢氣水洗處理裝置，其特征在于:所述的應(yīng)急水洗池一(17)和應(yīng)急水洗池二(18)為水泥池內(nèi)鑲襯防腐磚，液體為15~45%氫氧化鈉溶液。
7.一種多晶硅行業(yè)廢氣水洗處理方法，其特征在于，該方法包括如下步驟: (a)通過(guò)含氯硅烷廢氣供應(yīng)管路將含氯硅烷廢氣輸送至廢氣緩沖罐(1)，再通過(guò)廢氣供應(yīng)管路將廢氣輸送至正常廢氣噴林塔一(2)，廢氣自下而上在塔內(nèi)運(yùn)行；堿液池一(9)中存放10~30%堿液，堿液作為噴淋液經(jīng)虹吸罐一(8)、由正常廢氣噴淋循環(huán)泵一(7)送至正常廢氣噴林塔一(2)塔頂，噴淋液自上而下與廢氣逆流接觸，處理后的氣體經(jīng)正常廢氣噴林塔一(2)的塔頂?shù)乃夤?4)排入大氣； 通過(guò)含氯硅烷廢氣供應(yīng)管路將含氯硅烷廢氣輸送至廢氣緩沖罐(O,再通過(guò)廢氣供應(yīng)管路將廢氣輸送至正常廢氣噴林塔二(6)，廢氣自下而上在塔內(nèi)運(yùn)行；堿液池二(14)中存放10~30%堿液，堿液作為噴淋液經(jīng)虹吸罐二( 15)、由正常廢氣噴淋塔循環(huán)泵二( 16)送至正常廢氣噴林塔二(6)塔頂，噴淋液自上而下與廢氣逆流接觸，處理后的氣體經(jīng)正常廢氣噴林塔二(6)的塔頂?shù)乃夤?4)排入大氣； (b)當(dāng)前段工序發(fā)生事故時(shí)，廢氣量突然增大到超過(guò)了正常廢氣噴林塔一(2)和正常廢氣噴林塔二(6)的處理能力時(shí)，廢氣會(huì)轉(zhuǎn)入事故廢氣噴淋塔一(3)和事故廢氣噴林塔二(5),此時(shí)廢氣自下而上在事故廢氣噴淋塔一(3)和事故廢氣噴林塔二(5)塔內(nèi)運(yùn)行； 堿液池一(9)中存放大量10~30%堿液，經(jīng)虹吸罐三(10)由事故廢氣噴淋塔循環(huán)泵一(11)送至事故廢氣噴淋塔一(3)塔頂，噴淋液自上而下與廢氣逆流接觸，處理后的氣體經(jīng)事故廢氣噴淋塔一(3)的塔頂部的水封罐(4)排入大氣； 堿液池二( 14)中存放大量10~30%堿液，經(jīng)虹吸罐四(13)由事故廢氣噴淋塔循環(huán)泵二( 12)送至事故廢氣噴林塔二(5)塔頂，噴淋液自上而下與廢氣逆流接觸，處理后的氣體經(jīng)事故廢氣噴林塔二(5)的塔`頂部的水封罐(4)排入大氣； (C)當(dāng)前段工序發(fā)生事故造成廢氣量不能穩(wěn)定在設(shè)計(jì)范圍之內(nèi)，廢氣會(huì)自動(dòng)轉(zhuǎn)應(yīng)急水洗池一(17)和應(yīng)急水洗池二( 18)，氯硅烷在水池中水解，水解產(chǎn)生的氯化氫又進(jìn)一步與氫氧化鈉反應(yīng)，減少了進(jìn)入大氣的量，避免HCl氣體過(guò)多而逃逸。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅行業(yè)廢氣水洗處理方法，其特征在于，所述的液體為10~30%氫氧化鈉溶液。
【文檔編號(hào)】B01D53/78GK103505996SQ201310438955
【公開(kāi)日】2014年1月15日 申請(qǐng)日期:2013年9月24日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月24日
【發(fā)明者】李鵬飛, 張 杰, 王為偉, 羅劍, 蔣巍, 李玉峰, 李雙成, 鄭全軍, 胡佳, 肖伸亮 申請(qǐng)人:北京航天動(dòng)力研究所