一種碳化硅和藍(lán)寶石類超硬材料加工中冷卻液的過濾裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型屬于晶體材料加工領(lǐng)域，具體涉及一種碳化硅和藍(lán)寶石類超硬材料加工中冷卻液的過濾裝置，具體包括內(nèi)部帶有輸送泵的冷卻液儲存罐，所述的輸送泵通過管路與過濾桶的進液孔連接，所述的過濾桶內(nèi)設(shè)置有過濾網(wǎng)桶，所述的進液孔設(shè)置在過濾網(wǎng)桶內(nèi)，采用這種結(jié)構(gòu)的過濾裝置，可以通過輸送泵將混有碳化硅和藍(lán)寶石等超硬材料碎晶的冷卻液送入過濾桶內(nèi)，過濾網(wǎng)桶將碎晶濾除，從而將冷卻液過濾出來，用于后續(xù)的加工操作中，從而保證了加工的質(zhì)量，使得最終獲得的成品品質(zhì)大大提高，降低了殘次品的出現(xiàn)概率，提高了生產(chǎn)的效率。
【專利說明】一種碳化硅和藍(lán)寶石類超硬材料加工中冷卻液的過濾裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型屬于晶體材料加工領(lǐng)域，具體涉及一種用于碳化硅和藍(lán)寶石等超硬材料加工中冷卻液的過濾裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]碳化硅(SiC)材料為代表的第三代寬帶隙半導(dǎo)體材料，具有寬帶隙、高臨界擊穿電場、高熱導(dǎo)率、高載流子飽和漂移速度等特點，特別適合制作高溫、高壓、大功率、耐輻照等半導(dǎo)體器件。藍(lán)寶石單晶材料具有極好的熱導(dǎo)性、電氣絕緣性、透光性、化學(xué)穩(wěn)定性、以及耐高溫、高強度、高硬度等一系列優(yōu)良特性，是紅外裝置、導(dǎo)彈、潛艇、衛(wèi)星空間技術(shù)等的窗口材料。在SiC和藍(lán)寶石等這種超硬材料的實際應(yīng)用中需要將其加工為襯底，在襯底加工過程中，切割、磨平、磨圓、研磨、拋光等是必不可少的步驟，在上述加工過程中，需要將加工面持續(xù)冷卻，一般采用切割冷卻液對其進行直接冷卻，但是由于材料的硬度大、韌性小，在加工過程中極易開裂，裂開后的材料碎晶便會隨冷卻液進入冷卻液儲罐，并被帶入冷卻液循環(huán)系統(tǒng)，由于碎晶的硬度大，會對循環(huán)系統(tǒng)的管路和泵造成嚴(yán)重的磨損，同時混有材料碎晶的冷卻液進入加工面時也會對待加工的晶體造成損傷，使得最終獲得襯底質(zhì)量大大下降甚至報廢，因此如何避免這部分材料碎片混入冷卻液中成為現(xiàn)在亟待解決的問題之一。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]針對現(xiàn)有技術(shù)存在的上述問題，本實用新型的發(fā)明人提供了一種碳化硅和藍(lán)寶石類超硬材料加工中冷卻液的過濾裝置，具體包括內(nèi)部帶有輸送泵的冷卻液儲存罐，所述的輸送泵通過管路與過濾桶的進液孔連接，所述的過濾桶內(nèi)設(shè)置有過濾網(wǎng)桶，所述的進液孔設(shè)置在過濾網(wǎng)桶內(nèi)，采用這種結(jié)構(gòu)的過濾裝置，可以通過輸送泵將混有碳化硅和藍(lán)寶石等超硬材料碎晶的冷卻液送入過濾桶內(nèi)，過濾網(wǎng)桶將碎晶濾除，從而將冷卻液過濾出來，用于后續(xù)的加工操作中，從而保證了加工的質(zhì)量，使得最終獲得的成品品質(zhì)大大提高，降低了殘次品的出現(xiàn)概率，提聞了生廣的效率。
[0004]本實用新型的具體技術(shù)方案如下:
[0005]一種碳化硅和藍(lán)寶石類超硬材料加工中冷卻液的過濾裝置，包括內(nèi)部帶有輸送泵的冷卻液儲存罐和過濾桶，所述的輸送泵通過送液管路與過濾桶的進液孔連接，所述的過濾桶內(nèi)設(shè)置有過濾網(wǎng)桶，所述的進液孔設(shè)置在過濾網(wǎng)桶內(nèi)；
[0006]所述的冷卻液儲存罐上還設(shè)置有進液管路，方便使用后的冷卻液通過收集器之后進入冷卻液儲存罐；
[0007]所述的過濾桶為常規(guī)的不銹鋼桶，由于其內(nèi)設(shè)置了過濾網(wǎng)桶，使得其實際上成為了雙層桶體；在過濾桶的底部側(cè)面設(shè)置有冷卻液出口，方便過濾后的冷卻液進入加工工序中使用。
[0008]采用這種結(jié)構(gòu)設(shè)置的裝置，可以通過輸送泵將混有碳化硅和藍(lán)寶石等超硬材料碎晶的冷卻液送入過濾桶內(nèi)，過濾網(wǎng)桶將碎晶濾除，從而將冷卻液過濾出來；其中將進液孔設(shè)置在過濾網(wǎng)桶內(nèi)，可以使混有寶石碎屑的冷卻液直接進入過濾網(wǎng)桶中，避免未被過濾的冷卻液直接由冷卻液出口排出；為了達(dá)到更好的輸送效果，一般選用市場上購得的渣漿泵用作輸送泵，這樣可以降低碳化硅和藍(lán)寶石等超硬材料碎晶對于泵體的磨損。
[0009]除了上述的技術(shù)方案外，根據(jù)冷卻液的成分和混入雜質(zhì)的不同，還可以在濾網(wǎng)桶內(nèi)填充入不同的過濾介質(zhì)，如針對于金剛石切割或磨制的冷卻液，可以直接采用不銹鋼材質(zhì)的過濾網(wǎng)桶，而對于腐蝕性的冷卻液，可以在過濾網(wǎng)桶內(nèi)填入耐腐蝕過濾介質(zhì)等，從而使整個過濾裝置的使用范圍更廣，降低過濾的成本。
[0010]綜上所述，采用本實用新型提供的這種結(jié)構(gòu)的過濾裝置，可以通過輸送泵將混有碳化硅和藍(lán)寶石等超硬材料碎晶的冷卻液送入過濾桶內(nèi)，過濾網(wǎng)桶將碳化硅和藍(lán)寶石等超硬材料碎晶濾除，從而將冷卻液過濾出來，用于后續(xù)的加工操作中，從而保證了加工的質(zhì)量，使得最終獲得的成品品質(zhì)大大提高，降低了殘次品的出現(xiàn)概率，提高了生產(chǎn)的效率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0011]圖1為本實用新型所述過濾裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0012]圖2為本實用新型所述過濾裝置的結(jié)構(gòu)剖視圖；
[0013]圖3為圖1中A-A的剖視放大圖；
[0014]圖中I為進液管路,2為冷卻液儲存罐,3為送液管路,4為進液孔,5為過濾桶,6為冷卻液出口，7為過濾網(wǎng)桶，8為輸送泵。
【具體實施方式】
[0015]一種碳化硅和藍(lán)寶石類超硬材料加工中冷卻液的過濾裝置，包括內(nèi)部帶有輸送泵8的冷卻液儲存罐2和過濾桶5，所述的輸送泵8通過送液管路3與過濾桶5的進液孔4連接，所述的過濾桶5內(nèi)設(shè)置有過濾網(wǎng)桶7，所述的進液孔4設(shè)置在過濾網(wǎng)桶7內(nèi)；
[0016]所述的冷卻液儲存罐2上還設(shè)置有進液管路I ;在過濾桶5的底部側(cè)面設(shè)置有冷卻液出口 6。
【權(quán)利要求】
1.一種碳化硅和藍(lán)寶石類超硬材料加工中冷卻液的過濾裝置，包括內(nèi)部帶有輸送泵(8)的冷卻液儲存罐(2)和過濾桶(5)，其特征在于:所述的輸送泵(8)通過送液管路(3)與過濾桶(5)的進液孔(4)連接，所述的過濾桶(5)內(nèi)設(shè)置有過濾網(wǎng)桶(7)，所述的進液孔(4)設(shè)置在過濾網(wǎng)桶(7)內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于:所述的冷卻液儲存罐(2)上還設(shè)置有進液管路(I)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的裝置，其特征在于:過濾桶(5)的底部側(cè)面設(shè)置有冷卻液出口(6)。
【文檔編號】B01D29/35GK203648191SQ201320863842
【公開日】2014年6月18日 申請日期:2013年12月25日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月25日
【發(fā)明者】任啟磊, 王在政, 張士祥, 張婉君, 高玉強 申請人:山東天岳先進材料科技有限公司