一種新型硅片研磨液的攪拌裝置制造方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型涉及一種新型硅片研磨液的攪拌裝置，包括攪拌葉、攪拌軸。所述攪拌葉垂直固定在攪拌軸的下端。其中所述攪拌葉包括攪拌葉基座和攪拌葉片，所述攪拌基座為等腰梯形，所述攪拌葉片為半圓形；所述攪拌葉片設(shè)有若干個(gè)凸起，凸起垂直固定在攪拌葉片上，凸起呈三棱柱，三棱柱底面為等邊三角形。從而可以進(jìn)行橫向及縱向攪拌，從而使得攪拌更加均勻，提高了研磨液的質(zhì)量。所述每個(gè)相鄰攪拌葉之間的距離為4mm，所述每個(gè)攪拌葉之間的夾角為60°。使得顆粒物穿能夠過(guò)間隙與研磨液混合，進(jìn)一步促進(jìn)攪拌，使得攪拌更加均勻。
【專(zhuān)利說(shuō)明】—種新型硅片研磨液的攪拌裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種攪拌裝置，具體涉及一種新型硅片研磨液的攪拌裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]硅片加工過(guò)程中，為了保證硅片的設(shè)計(jì)要求，要求硅片進(jìn)行研磨。現(xiàn)加工所需要的研磨液，一般采用手工攪拌。該方法使得工作效率低，且攪拌不均勻。
[0003]近年來(lái)出現(xiàn)了一種攪拌裝置，包括攪拌葉、攪拌軸，所述攪拌葉與攪拌軸垂直成一體，所述攪拌葉為葉狀結(jié)構(gòu)。該攪拌葉攪拌時(shí)容易使得研磨液中的顆粒物向外集中，從而影響研磨液的質(zhì)量，降低了硅片切割的質(zhì)量。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是針對(duì)以上弊端提供一種新型硅片研磨液的攪拌裝置，本裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，攪拌均勻，提高了研磨液的質(zhì)量。
[0005]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是:
[0006]一種新型硅片研磨液的攪拌裝置包括攪拌葉、攪拌軸。所述攪拌葉垂直固定在攪拌軸的下端。其中所述攪拌葉包括攪拌葉基座和攪拌葉片，所述攪拌基座為等腰梯形，所述攪拌葉片為橢圓形；所述攪拌葉片設(shè)有若干個(gè)用于固定攪拌葉的等邊三角形凸面，所述攪拌片與等邊三角形凸面垂直連接。
[0007]所述每個(gè)相鄰攪拌片之間的距離為4mm，所述每個(gè)攪拌片之間的夾角為60°。
[0008]本實(shí)用新型的有益效果:由于攪拌基座為等腰梯形，所述攪拌葉片為橢圓形；所述攪拌葉片設(shè)有若干個(gè)用于固定攪拌葉的等邊三角形凸面，所述攪拌片與等邊三角形凸面垂直連接。從而可以進(jìn)行橫向及縱向攪拌，從而使得攪拌更加均勻，提高了研磨液的質(zhì)量。所述每個(gè)相鄰攪拌片之間的距離為4mm，所述每個(gè)攪拌葉之間的夾角α為60°。使得顆粒物穿能夠過(guò)間隙與研磨液混合，進(jìn)一步促進(jìn)攪拌，使得攪拌更加均勻。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0009]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖【具體實(shí)施方式】
[0010]如圖所示一種新型硅片研磨液的攪拌裝置包括攪拌葉1、攪拌軸2。所述攪拌葉I垂直固定在攪拌軸2的下端。其中所述攪拌葉I包括攪拌葉基座3和攪拌葉片4，所述攪拌基座3為等腰梯形，所述攪拌葉片4為半圓形；所述攪拌葉片4設(shè)有若干個(gè)凸起5，凸起5垂直固定在攬拌葉片4上，凸起5呈二棱柱，二棱柱底面為等邊二角形，
[0011]所述每個(gè)相鄰攪拌葉I之間的距離為4mm，所述每個(gè)攪拌葉I之間的夾角為60°。使得顆粒物穿能夠過(guò)間隙與研磨液混合，進(jìn)一步促進(jìn)攪拌，使得攪拌更加均勻。
[0012]從而可以進(jìn)行橫向及縱向攪拌，從而使得攪拌更加均勻，提高了研磨液的質(zhì)量。[0013]這里本實(shí)用新型的描述和應(yīng)用是說(shuō)明性的，并非想將本發(fā)明的范圍限制在上述實(shí)施例中，因此，本發(fā)明不受本實(shí)施例的限制，任何采用等效替換取得的技術(shù)方案均在本發(fā)明保護(hù)的范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種新型硅片研磨液的攪拌裝置包括攪拌葉、攪拌軸；所述攪拌葉垂直固定在攪拌軸的下端；其中所述攪拌葉包括攪拌葉基座和攪拌葉片，所述攪拌基座為等腰梯形，所述攪拌葉片為半圓形；所述攪拌葉片設(shè)有若干個(gè)凸起，凸起垂直固定在攪拌葉片上，凸起呈三棱柱，三棱柱底面為等邊三角形。
2.如權(quán)利要求1所述的一種新型硅片研磨液的攪拌裝置其特征在于所述每個(gè)相鄰攪拌葉之間的距離為4mm，所述每個(gè)攪拌葉之間的夾角為60°。
【文檔編號(hào)】B01F15/00GK203694991SQ201320891954
【公開(kāi)日】2014年7月9日 申請(qǐng)日期:2013年12月31日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月31日
【發(fā)明者】聶金根 申請(qǐng)人:鎮(zhèn)江市港南電子有限公司