本發(fā)明涉及脫氣裝置以及脫氣方法，更具體涉及將溶解存在于液體的氣體從液體中去除的脫氣裝置以及脫氣方法。

背景技術(shù)：
溶解存在于液體中的氣體有時會導(dǎo)致各種不良情況，例如，使液體出現(xiàn)劣化，在使用液體作為洗滌液而洗滌電子部件等的情況下將電子部件等損傷，等等。脫氣裝置通過將溶解存在于液體的氣體從液體中去除，從而防止了這樣的不良情況發(fā)生。這樣的脫氣裝置利用各種各樣的原理。在脫氣裝置中通常知曉的是利用了真空泵的脫氣裝置。關(guān)于專利文獻1～3中提出的脫氣裝置，任一個都是從用于洗滌電子部件等的洗滌液中將溶解存在于洗滌液的氣體去除的脫氣裝置。這些脫氣裝置通過對注入了洗滌液的容器內(nèi)部進行減壓從而去除了溶解存在于洗滌液的氣體。這樣的脫氣裝置的減壓技術(shù)是通過利用真空泵將存在于容器的內(nèi)部的氣體進行抽吸從而對容器的內(nèi)部進行減壓的技術(shù)。現(xiàn)有技術(shù)文獻專利文獻專利文獻1：日本特開平9-187603號公報專利文獻2：日本特開平11-319407號公報專利文獻3：日本特開2000-288307號公報

技術(shù)實現(xiàn)要素：
發(fā)明想要解決的課題但是，在專利文獻1～3中提出的脫氣裝置中，除了洗滌液的循環(huán)路徑之外，還必須設(shè)置用于對容器的內(nèi)部進行減壓的真空泵。因此，在這些脫氣裝置中，脫氣裝置的結(jié)構(gòu)變得復(fù)雜。另外，需要根據(jù)適用脫氣裝置的洗滌裝置和/或要脫氣的洗滌液的種類而適當(dāng)?shù)剡x定真空泵。本發(fā)明為了解決上述課題而完成，其目的在于提供一種結(jié)構(gòu)簡單，且不管組入脫氣裝置的系統(tǒng)、脫氣的液體的種類為如何，都能夠以高的精度將氣體從液體脫氣的脫氣裝置以及脫氣方法。用于解決問題的方案用于解決上述課題的本發(fā)明的脫氣裝置的特征在于，其具備：腔室，該腔室具有可密閉的結(jié)構(gòu)，蓄積要脫氣的液體；注入部，該注入部一邊保持前述腔室的內(nèi)部的密閉狀態(tài)，一邊將前述液體從前述腔室的上部注入于前述腔室內(nèi)；以及排出機構(gòu)，該排出機構(gòu)將蓄積于前述腔室內(nèi)的前述液體從前述腔室的下部排出；前述排出機構(gòu)在密閉了前述腔室的內(nèi)部的狀態(tài)下，將流量比注入于前述腔室內(nèi)的前述液體的流量多的前述液體從前述腔室內(nèi)排出，對前述腔室內(nèi)進行減壓。根據(jù)本發(fā)明，具備向腔室內(nèi)從該腔室的上部注入液體的注入部以及將蓄積于腔室內(nèi)的液體從腔室的下部排出的排出機構(gòu)，在密閉了腔室內(nèi)的狀態(tài)下，將流量比注入于腔室內(nèi)的液體的流量多的液體從腔室內(nèi)排出，從而對腔室內(nèi)進行了減壓。因此，可將溶解存在于液體的氣體以氣泡的方式產(chǎn)生，可將氣體從液體進行脫氣。另外，由于通過將流量比注入于腔室內(nèi)的液體的流量多的液體從腔室排出而對腔室內(nèi)進行減壓，因而不需要另行地設(shè)置真空泵。其結(jié)果，可將脫氣裝置的結(jié)構(gòu)簡化。另外，由于不設(shè)置真空泵而進行脫氣，因而可不受真空泵的性能的左右而將溶解存在于液體的氣體從液體中進行脫氣。本發(fā)明的脫氣裝置的特征在于，其進一步具備排氣部，該排氣部將從蓄積于前述腔室內(nèi)的液體中脫出來的氣體排氣；開閉機構(gòu)，該開閉機構(gòu)將前述排氣部開閉；注入量調(diào)整機構(gòu)，該注入量調(diào)整機構(gòu)對注入于前述腔室內(nèi)的前述液體的流量進行調(diào)整；以及控制器，該控制器對前述開閉機構(gòu)的動作以及前述注入量調(diào)整機構(gòu)的動作進行控制，前述控制器按照如下的方式進行控制：在對前述注入量調(diào)整機構(gòu)進行控制而將流量比從前述腔室內(nèi)排出的前述液體的流量少的前述液體注入于前述腔室內(nèi)的期間，利用前述開閉機構(gòu)關(guān)閉前述排氣部將前述腔室內(nèi)設(shè)為密閉狀態(tài)，在對前述注入量調(diào)整機構(gòu)進行控制而將比從前述腔室內(nèi)排出的前述液體的流量多的前述液體注入于前述腔室內(nèi)的期間，利用前述開閉機構(gòu)打開前述排氣部而解除前述腔室內(nèi)的密閉狀態(tài)。根據(jù)本發(fā)明，由于控制器按照如下的方式進行控制，即，在將流量比從腔室內(nèi)排出的液體的流量少的液體注入于腔室內(nèi)的期間利用開閉機構(gòu)關(guān)閉排氣部，在將比從腔室內(nèi)排出的液體的流量多的液體注入于腔室的期間利用開閉機構(gòu)打開排氣部，因而可確實地對腔室內(nèi)進行減壓而將溶解存在于液體的氣體從液體進行脫氣，并且可將脫氣了的氣體從腔室確實地排出。本發(fā)明的脫氣裝置的特征在于，前述排出機構(gòu)連接于前述排氣部，在打開了前述開閉機構(gòu)時，對從前述腔室內(nèi)排出的氣體進行抽吸。根據(jù)本發(fā)明，由于排出機構(gòu)在打開了開閉機構(gòu)時對從腔室內(nèi)排出的氣體進行抽吸，因而可將從液體中脫出來的氣體從腔室內(nèi)強制性地進行排氣。本發(fā)明的脫氣裝置的特征在于，其進一步具備：下限傳感器，該下限傳感器對前述腔室內(nèi)所蓄積的前述液體的液面是否到達(dá)了預(yù)先設(shè)定的前述腔室的下限位置的情況進行檢測；計時器，該計時器基于來自前述下限傳感器的信號而運轉(zhuǎn)的計時器，在前述下限傳感器檢測出前述液體的液面到達(dá)了前述下限位置的情況之時，前述控制器按照如下的方式進行控制，該方式為，對前述注入量調(diào)整機構(gòu)的動作進行控制，將流量比從前述腔室排出的前述液體的流量多的前述液體注入于前述腔室；在前述計時器運轉(zhuǎn)之后經(jīng)過了直到前述液體的液面到達(dá)前述腔室的預(yù)先設(shè)定的上限位置為止所需要的規(guī)定時間之時，前述控制器按照如下的方式進行控制：對前述注入量調(diào)整機構(gòu)的動作進行控制而將流量比從前述腔室排出的前述液體的流量少的前述液體注入于前述腔室。根據(jù)本發(fā)明，具備上述的下限傳感器，在下限傳感器檢測出液體的液面到達(dá)了腔室內(nèi)的下限位置的情況之時，上述的控制器按照如下的方式進行控制，即，對注入量調(diào)整機構(gòu)的動作進行控制而將流量比從腔室內(nèi)排出的液體的流量多的液體注入于腔室內(nèi)，因而可事先蓄積對于在腔室內(nèi)進行脫氣而言恰當(dāng)?shù)牧康囊后w。另外，具備基于來自下限傳感器的信號而運轉(zhuǎn)的計時器，計時器基于來自下限傳感器的信號而開始運轉(zhuǎn)，在經(jīng)過了直到液面到達(dá)腔室內(nèi)的預(yù)先設(shè)定的上限位置為止所需要的規(guī)定時間之時，由于控制器按照如下的方式進行控制，即，對注入量調(diào)整機構(gòu)的動作進行控制而將流量比從腔室排出的液體的流量少的液體注入于腔室，因而可確實地對腔室內(nèi)進行減壓。本發(fā)明的脫氣裝置的特征在于，其具有冷卻裝置，該冷卻裝置對相對于前述腔室內(nèi)的預(yù)先設(shè)定了的規(guī)定位置而言的上側(cè)進行冷卻。根據(jù)本發(fā)明，由于具有對相對于腔室內(nèi)的預(yù)先設(shè)定了的規(guī)定位置而言的上側(cè)進行冷卻的冷卻裝置，因而通過使冷卻裝置將相對于腔室內(nèi)的規(guī)定位置而言的上側(cè)冷卻，從而可容易進行腔室內(nèi)的減壓。另外，即使液體發(fā)生蒸發(fā)，也可通過再次進行液化而有效地進行脫氣。予以說明，冷卻裝置可通過具備如下構(gòu)件而構(gòu)成：配置在相對于腔室內(nèi)的預(yù)先設(shè)定的規(guī)定位置而言的上側(cè)的配管以及使制冷劑循環(huán)于配管的冷卻器。用于解決上述課題的本發(fā)明的脫氣方法的特征在于，通過注入部將液體從該腔室的上部注入于密閉了的腔室的內(nèi)部，滿足了規(guī)定的條件，并且將液體注入于前述密閉了的腔室內(nèi)時，將流量比注入于前述腔室內(nèi)的液體的流量多的前述液體從前述腔室的下部排出，對前述腔室內(nèi)進行減壓。根據(jù)本發(fā)明，在密閉了腔室的內(nèi)部的狀態(tài)下，將流量比注入于腔室內(nèi)的液體的流量多的液體從腔室內(nèi)排出，從而對腔室內(nèi)進行減壓，因而可使溶解存在于液體的氣體以氣泡的方式產(chǎn)生，可將氣體從液體中脫氣。另外，由于通過將流量比注入于腔室內(nèi)的液體的流量多的液體從腔室內(nèi)排出而對腔室內(nèi)進行減壓，因而不需要另行地設(shè)置真空泵。本發(fā)明的脫氣方法的特征在于，在前述液體的液面到達(dá)了預(yù)先設(shè)定的前述腔室內(nèi)的下限位置時，按照將流量比從前述腔室內(nèi)排出的前述液體的流量多的前述液體注入于前述腔室內(nèi)的方式進行控制；在前述液體的液面到達(dá)了前述腔室內(nèi)的預(yù)先設(shè)定的上限位置時，按照將流量比從前述腔室內(nèi)排出的前述液體的流量少的前述液體注入于前述腔室內(nèi)的方式進行控制。根據(jù)本發(fā)明，在液體的液面到達(dá)了預(yù)先設(shè)定的腔室內(nèi)的下限位置時，按照將流量比從腔室內(nèi)排出的液體的流量多的液體注入于腔室內(nèi)的方式進行控制，因而可確保有為了在腔室內(nèi)進行脫氣所必需的量的液體。另一方面，在液體的液面到達(dá)了腔室內(nèi)的預(yù)先設(shè)定的上限位置時，按照將流量比從腔室內(nèi)排出的液體的流量少的液體注入于腔室內(nèi)的方式進行控制，因而可確實地對腔室內(nèi)進行減壓。本發(fā)明的脫氣方法的特征在于，對相對于腔室內(nèi)的預(yù)先設(shè)定的規(guī)定位置而言的上側(cè)進行冷卻。根據(jù)本發(fā)明，由于對相對于腔室內(nèi)的預(yù)先設(shè)定的規(guī)定位置而言的上側(cè)進行冷卻，因而可容易進行腔室內(nèi)的減壓。另外，即使液體發(fā)生蒸發(fā)，也可通過再次進行液化而有效地進行脫氣。發(fā)明的效果根據(jù)本發(fā)明，可將脫氣裝置的結(jié)構(gòu)簡單化。另外，不管適用脫氣裝置的裝置、要脫氣的液體的種類為如何，都能夠以高的精度將氣體從液體脫氣。附圖說明圖1是表示本發(fā)明的一個實施方式的脫氣裝置的系統(tǒng)之概要的系統(tǒng)圖。圖2是表示圖1所示的脫氣裝置所具備的腔室的內(nèi)部結(jié)構(gòu)之概要的部分剖視圖。圖3是模式地表示脫氣裝置的作用的說明圖，圖3(A)表示液體的液面正在升高的狀態(tài)，圖3(B)表示液體的液面到達(dá)了腔室的上端的狀態(tài)，圖3(C)表示液體的液面正在下降的狀態(tài)，圖3(D)表示液體的液面到達(dá)了腔室內(nèi)的下限位置的狀態(tài)，圖3(E)表示液體的液面正在升高的狀態(tài)，圖3(F)表示液體的液面到達(dá)了腔室的上端的狀態(tài)。圖4是表示脫氣裝置的作用之概要的流程圖。具體實施方式以下，一邊參照附圖一邊說明本發(fā)明的實施方式。予以說明，本發(fā)明的技術(shù)范圍不僅僅限定于以下的記載、附圖，可在本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)進行各種變形。[基本構(gòu)成]如圖1以及圖2所示那樣，本發(fā)明的脫氣裝置1具有：腔室10，該腔室10將要脫氣的液體100于內(nèi)部蓄積；注入部20，該注入部20將液體100從腔室10的上部注入到腔室10內(nèi)；排出機構(gòu)30，該排出機構(gòu)30將于腔室10內(nèi)蓄積的液體100從腔室10的下部排出。關(guān)于該脫氣裝置1，在密閉了腔室10的內(nèi)部的狀態(tài)下，通過將流量比注入于腔室10的液體100的流量多的液體100從腔室10內(nèi)排出而對腔室10內(nèi)減壓，從而從液體100進行著脫氣。予以說明，在本說明書中，關(guān)于腔室10的上部，并不限于構(gòu)成了腔室10的頂面的蓋15的位置，表示包含構(gòu)成了腔室10的側(cè)面的主體11的相對上側(cè)的區(qū)域的部位。例如，在圖2所示的腔室10的情況下，腔室10的上部表示：蓋15、相對于主體11的規(guī)定位置201而言的上側(cè)的區(qū)域。另外，腔室10的下部并不限于腔室10的最低的部位，表示包含腔室10的相對的下側(cè)的區(qū)域的部位。例如，在圖2所示的腔室10的情況下，腔室10的下部表示：相對于下限位置202而言的底面12的下側(cè)的區(qū)域。該脫氣裝置1起到可將脫氣裝置1的結(jié)構(gòu)簡化這樣的特有效果。另外，不管適用脫氣裝置1的裝置、脫氣的液體的種類為如何，都能夠起到以高的精度將氣體從液體100脫氣這樣的效果。予以說明，關(guān)于本發(fā)明的脫氣裝置1以及脫氣方法，可通過組入于利用超聲波洗滌電子部件、晶圓等、或者剝離表面的雜質(zhì)的洗滌系統(tǒng)從而提高其效果，因而稱為“SurfaceUltrasonicFlatFixSystem”，簡略地稱為“SuffixSystem”。并且，本發(fā)明的脫氣裝置1以及脫氣方法可在如下的情況下使用：組入于除了利用了超聲波的洗滌系統(tǒng)以外的洗滌裝置，用于將氣體從洗滌電子部件、晶圓等的洗滌液進行脫氣從而利用。另外，本發(fā)明的脫氣裝置1以及脫氣方法，還可用于防止液體100受到溶解存在的氣體的影響而發(fā)生劣化，從而利用。特別是在溶解存在的氣體為氧氣的情況下，可用于防止液體發(fā)生氧化從而利用。[整體結(jié)構(gòu)的概要]脫氣裝置1具有：將要脫氣的液體100于內(nèi)部蓄積的腔室10；將液體100從腔室10的上部注入于腔室10內(nèi)的注入部20；作為排出機構(gòu)的泵30(以下簡稱為泵30)，該泵30將于腔室10內(nèi)蓄積的液體100從腔室10的下部排出。予以說明，泵30并非現(xiàn)有的脫氣裝置所具有的僅僅用于將腔室10內(nèi)的氣體進行排氣而設(shè)置的真空泵。另外，脫氣裝置1具有：將腔室10內(nèi)的氣體排出的排氣部40；檢測腔室10內(nèi)的液體100的液面101的位置的液面?zhèn)鞲衅?0；測量腔室10的內(nèi)壓的壓力傳感器90。注入部20具有將液體100從腔室10的上部注入于腔室10內(nèi)的結(jié)構(gòu)，由主配管21與副配管25構(gòu)成，可改變注入于腔室10內(nèi)的液體100的流量。泵30由腔室10的下部和配管31連接，通過抽吸于腔室10內(nèi)蓄積的液體100從而從腔室10內(nèi)排出。排氣部40通過具備配管41以及開閉閥42而構(gòu)成。配管41的一端連接于腔室10，另一端連接于配管31。另外，開閉閥42設(shè)置于配管41的中途。此外，脫氣裝置1具有由配管35構(gòu)成的旁路路徑，該配管35將配管31與事先蓄積的供給于腔室10內(nèi)的液體100的未圖示的蓄液部連接。由配管35構(gòu)成的旁路路徑，按照即使在不從腔室10內(nèi)抽吸液體100的期間也可使得泵30抽吸液體100的方式設(shè)定。脫氣裝置1進一步具有對脫氣裝置1的動作進行控制的控制器60；使壓縮空氣流動的先導(dǎo)管路70。控制器60控制脫氣裝置1的動作，并根據(jù)計時器65、源自液面?zhèn)鞲衅?0的信號、源自壓力傳感器90的信號進行了控制。予以說明，計時器65內(nèi)置于控制器60。先導(dǎo)管路70由連接于注入部20的管路、連接于排氣部40的管路以及連接于泵30的管路等構(gòu)成。該先導(dǎo)管路70接受源自控制器60的指令，向控制所必需的管路供給壓縮空氣。予以說明，脫氣裝置1根據(jù)需要而設(shè)置有冷卻裝置50。冷卻裝置50是以冷卻腔室10的內(nèi)部、降低氣體的溫度為主要目的的裝置。予以說明，冷卻裝置50是根據(jù)脫氣的液體的種類而設(shè)置的裝置，不是必需的結(jié)構(gòu)。以下，一邊適當(dāng)?shù)貐⒄崭綀D一邊說明脫氣裝置1具有的各構(gòu)成。(腔室)如圖2所示那樣構(gòu)成了腔室。該腔室10是在其內(nèi)部蓄積液體100的部位，由主體11與蓋15構(gòu)成。主體11的上部開放著，下部通過底面12而關(guān)閉著。蓋15相對于主體11可裝卸地構(gòu)成，按照安裝于開放的腔室10的主體11的上部而關(guān)閉主體11的上部、或者通過取出而打開主體11的上部的方式而構(gòu)成。主體11和蓋15在蓋15關(guān)閉了主體11的上部時通過設(shè)置在兩者之間的密封材料等而密閉。主體11的底面12具有將于該腔室10內(nèi)蓄積的液體100排出的排出口13，在圖示的例子中，該排出口13設(shè)置于底面12的最低的位置。腔室10按照將液體100從注入部20注入、從排出口13排出的方式而構(gòu)成，將液體100暫時性地滯留。予以說明，關(guān)于腔室10的容量，根據(jù)注入的液體100的流量和從腔室10內(nèi)排出的液體100的流量而適當(dāng)?shù)卦O(shè)定。另外，關(guān)于注入于腔室10內(nèi)的液體100的流量以及從腔室10內(nèi)排出的液體100的流量，根據(jù)要脫氣的液體100的種類、適用該脫氣裝置1的對象而恰當(dāng)?shù)卦O(shè)定。(注入部)注入部20是用于將要脫氣的液體100注入于腔室10內(nèi)的手段。在圖1以及圖2所示的實施方式的脫氣裝置1中，注入部20由兩根配管21、25構(gòu)成。兩根配管21、25分別將腔室10的蓋15貫通，它們的前端側(cè)插入于腔室10的內(nèi)部。兩根配管21、25之中的一根配管是主配管21，另一根配管是副配管25。主配管21設(shè)置于蓋15的任意位置。例如，按照在腔室10的大致中央的位置將蓋15進行貫通的方式設(shè)置。主配管21在其前端具有噴嘴22，將液體100霧化而注入于腔室10。該主配管21在脫氣裝置1運轉(zhuǎn)運行的期間，不斷地將液體100注入于腔室10的內(nèi)部。予以說明，關(guān)于噴嘴22，也可在其內(nèi)部設(shè)置防止雜質(zhì)浸入腔室10的內(nèi)部的過濾器。副配管25也設(shè)置于蓋15的任意位置。例如，關(guān)于副配管25，按照與主配管21相比而言在腔室10的半徑方向的外側(cè)的位置將蓋15進行貫通的方式設(shè)置。副配管25是在于腔室10的內(nèi)部蓄積的液體100的量變少，向腔室10的內(nèi)部補給液體100時使用的配管。副配管25具有利用后述的先導(dǎo)管路70對開閉進行控制的開閉閥27。液體100通過打開開閉閥27而從副配管25注入于腔室10內(nèi)，通過關(guān)閉開閉閥27而停止液體100向腔室10內(nèi)的注入。副配管25也在其前端具有噴嘴26，將液體100霧化而注入于腔室10。予以說明，該副配管25也可在其內(nèi)部設(shè)置防止雜質(zhì)浸入于腔室10的內(nèi)部的過濾器。關(guān)于具有開閉閥27的副配管25，通過打開開閉閥27，從而將比關(guān)閉了開閉閥27時多的液體100注入于腔室10內(nèi)，通過關(guān)閉開閉閥27而將比打開了開閉閥27時少的液體100注入于腔室10內(nèi)，作為注入量調(diào)整機構(gòu)而發(fā)揮著功能。(作為排出機構(gòu)的泵)泵30通過配管31連接于腔室10。該泵30將于腔室10內(nèi)蓄積的液體100從腔室10內(nèi)排出。予以說明，液體100的排出通過泵30而強制性地進行。泵30將比由注入部20的主配管21獨自地注入于腔室10的液體100的流量多的液體100從腔室10內(nèi)排出。另一方面，泵30將比由主配管21以及副配管25這兩者注入于腔室10內(nèi)的液體100的流量少的液體100從腔室10內(nèi)排出。另外，該泵30由先導(dǎo)管路70控制著運轉(zhuǎn)的開始和停止。(排氣部)排氣部40是將從于腔室10內(nèi)蓄積的液體100脫出來的氣體進行排氣的部位。排氣部40具有：從蓋15朝向腔室10的外側(cè)延伸并且連接于配管31的配管41；以及利用先導(dǎo)管路70進行開閉動作的作為開閉機構(gòu)的開閉閥42(以下簡稱為開閉閥42)。在泵30排出流量比注入的液體100的流量多的液體100的期間，通過使開閉閥42關(guān)閉而密閉腔室10的內(nèi)部。另一方面，在為了使得腔室10內(nèi)的液體100的液面101到達(dá)腔室10的預(yù)先設(shè)定的上限位置203而將液體100補充于腔室10的期間，開閉閥42打開著。在開閉閥42打開的期間，泵30通過配管40、41而抽吸腔室10內(nèi)的氣體從而將從液體100脫出來的氣體排出到腔室10之外。予以說明，從腔室10排出的氣體通過設(shè)置于泵30的下游側(cè)的配管43而釋放到外部。(液面?zhèn)鞲衅?液面?zhèn)鞲衅?0由按照在上下方向上延伸的方式配置的軸81、分別設(shè)置在軸81的上側(cè)與下側(cè)這兩個部位的浮子82、83構(gòu)成。設(shè)置于兩個部位的浮子82、83分別可在軸81的一定范圍在上下方向上移動地構(gòu)成，利用液體100的浮力向上側(cè)移動。構(gòu)成了液面?zhèn)鞲衅?0的下側(cè)的浮子83檢測的是于腔室10的內(nèi)部蓄積的液體100的液面101到達(dá)了腔室10的預(yù)先設(shè)定的位置的情況。予以說明，關(guān)于下側(cè)的浮子83，如在后述的脫氣裝置1的作用這一欄中說明的那樣，也檢測液面101升高并且通過下限位置202的情況。另外，構(gòu)成了液面?zhèn)鞲衅?0的上側(cè)的浮子82檢測的是于腔室10的內(nèi)部蓄積的液體100的液面101通過腔室10的預(yù)先設(shè)定的位置的情況。設(shè)置于下側(cè)的浮子83是用于檢知液體100的液面101是否到達(dá)了腔室內(nèi)的預(yù)先設(shè)定的下限位置202的下限傳感器。在液體100的液面101到達(dá)了下限位置202時，利用液體100的浮力而推高了的浮子83發(fā)生下降。通過下降，根據(jù)浮子83檢知了液體100的液面101到達(dá)了下限位置202。另外，浮子83伴隨著液面101的升高而被推高時，開始了計時器65的運轉(zhuǎn)。設(shè)置于上側(cè)的浮子82是在設(shè)置了后述的冷卻裝置50的情況下而設(shè)置的傳感器。浮子82是檢知液體100的液面101通過了腔室10內(nèi)的預(yù)先設(shè)定的規(guī)定位置201的情況的傳感器，作為進行冷卻裝置50的運轉(zhuǎn)的開始以及停止的開關(guān)而發(fā)揮著功能。液體100的液面101升高而通過規(guī)定位置201時，浮子82利用液體100的浮力而被推高。根據(jù)浮子82被推高，檢知液體100的液面101升高至規(guī)定位置201。另一方面，當(dāng)液體100的液面101下降而通過規(guī)定位置201時，利用浮力而推高了的浮子82發(fā)生下降。根據(jù)浮子82發(fā)生下降，檢知液...