一種蝕刻液配制系統(tǒng)的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種蝕刻液配制系統(tǒng)，包括：原料單酸接駁系統(tǒng)、單酸貯池、混合貯池、蝕刻液濃度自動(dòng)測(cè)定儀、成品混酸貯池、廢液貯池，過(guò)濾貯池，壓濾機(jī)，沉淀貯池，回收貯池、蝕刻設(shè)備貯池、隔膜泵及磁力離心泵，通過(guò)采用本發(fā)明中的蝕刻液配制系統(tǒng)，可對(duì)蝕刻廢棄藥液進(jìn)行回收利用，不僅大大降低了生產(chǎn)成本，而且也有利于環(huán)保，另外本發(fā)明通過(guò)配備濃度自動(dòng)測(cè)定儀，可以自動(dòng)完成配比，從而杜絕了人為計(jì)算配比出現(xiàn)的誤差。
【專(zhuān)利說(shuō)明】一種蝕刻液配制系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及TFT-1XD蝕刻領(lǐng)域，尤其涉及一種蝕刻液配制系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]傳統(tǒng)的蝕刻液配制系統(tǒng)只具備簡(jiǎn)單的配制混合、成品藥液存貯功能，而不具有廢棄藥液回收處理功能，因此它只能配制全新的蝕刻液，而無(wú)法將使用過(guò)的蝕刻液進(jìn)行回收利用，因此大大增加了耗材的使用成本及廢液的處理成本，而且作為半自動(dòng)配制，配制精度也較低。
[0003]因此，有必要提供一種解決上述技術(shù)問(wèn)題的蝕刻液配制系統(tǒng)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是:提供一種能對(duì)蝕刻后的廢棄藥液進(jìn)行回收利用的蝕刻液配制系統(tǒng)。
[0005]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案為:一種蝕刻液配制系統(tǒng)，包括:原料單酸接駁系統(tǒng)、單酸貯池、混合貯池、蝕刻液濃度自動(dòng)測(cè)定儀、成品混酸貯池、廢液貯池，過(guò)濾貯池，壓濾機(jī)，沉淀貯池，回收貯池、蝕刻設(shè)備貯池、隔膜泵及磁力離心泵，所述蝕刻液配制系統(tǒng)的工作原理為:從原料化工廠采購(gòu)過(guò)來(lái)的單酸，通過(guò)原料單酸接駁系統(tǒng)把單酸注入到單酸貯池，根據(jù)生產(chǎn)要求在混合貯池內(nèi)設(shè)置配酸量，配置過(guò)程中蝕刻液濃度自動(dòng)測(cè)定儀會(huì)對(duì)配置后的蝕刻液進(jìn)行濃度檢測(cè)，根據(jù)實(shí)際測(cè)定的結(jié)果進(jìn)行微調(diào)配酸，確?；焖嶂忻恳环N酸的濃度的準(zhǔn)確性，調(diào)配后的蝕刻液通過(guò)磁力離心泵注入成品混酸貯池中進(jìn)行儲(chǔ)存，當(dāng)蝕刻設(shè)備需要使用蝕刻液時(shí)，就通過(guò)磁力離心泵將成品混酸貯池中的蝕刻液注入蝕刻設(shè)備貯池中，使用后，蝕刻設(shè)備貯池排出的廢液首先進(jìn)入廢液貯池進(jìn)行臨時(shí)存儲(chǔ)，然后通過(guò)隔膜泵將廢液由廢液貯池打入過(guò)濾貯池，接著通過(guò)啟動(dòng)隔膜泵將過(guò)濾貯池中的廢液送入壓濾機(jī)進(jìn)行過(guò)濾，過(guò)濾后的澄清藥液進(jìn)入沉淀貯池，在沉淀貯池中靜置藥液完成藥液中細(xì)微顆粒的結(jié)晶沉淀工作后，使用磁力離心泵將沉淀貯池中的澄清藥液輸送到回收貯池，從而完成藥液回收的過(guò)程；最后將回收貯池中的回收液通過(guò)磁力離心泵注入到混合貯池，然后蝕刻液濃度自動(dòng)測(cè)定儀對(duì)回收液的濃度進(jìn)行測(cè)量，接著設(shè)備自動(dòng)計(jì)算出需要注入的單酸的濃度，然后在混合貯池中依次注入單酸進(jìn)行混合，最終得到需要濃度的蝕刻液，然后再通過(guò)磁力離心泵將混合貯池中的調(diào)配好的蝕刻液注入成品混酸貯池中，以此循環(huán)往復(fù)。
[0006]作為一種優(yōu)選的技術(shù)方案，所述蝕刻液配制系統(tǒng)還設(shè)置有兩個(gè)廢液池。
[0007]作為一種優(yōu)選的技術(shù)方案，所述混合貯池設(shè)有稱(chēng)重裝置及冷水降溫系統(tǒng)。
[0008]作為一種優(yōu)選的技術(shù)方案，所述廢液貯池的數(shù)量為兩個(gè)，所述廢液貯池內(nèi)設(shè)有壓縮空氣鼓包系統(tǒng)。
[0009]作為一種優(yōu)選的技術(shù)方案，所述壓濾機(jī)的數(shù)量為兩個(gè)。
[0010]作為一種優(yōu)選的技術(shù)方案，所述沉淀貯池的數(shù)量共四個(gè)，分為兩組，每組兩個(gè)，兩組沉淀貯池交替使用。[0011]作為一種優(yōu)選的技術(shù)方案，所述沉淀貯池呈上圓柱體下圓錐體設(shè)置，并設(shè)有兩個(gè)出液口，其中一個(gè)出液口設(shè)置于圓錐體的底部，另一個(gè)出液口設(shè)置于圓柱體與圓錐體交界處的偏上位置。
[0012]本發(fā)明的有益效果是:通過(guò)采用本發(fā)明中的蝕刻液配制系統(tǒng)，可對(duì)蝕刻廢棄藥液進(jìn)行回收利用，不僅大大降低了生產(chǎn)成本，而且也有利于環(huán)保，另外本發(fā)明通過(guò)配備濃度自動(dòng)測(cè)定儀，可以自動(dòng)完成配比，從而杜絕了人為計(jì)算配比出現(xiàn)的誤差。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0013]為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0014]圖1為本發(fā)明中蝕刻液配制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0015]圖1中:1、原料單酸接駁系統(tǒng)，2、單酸貯池，3、混合貯池，4、蝕刻液濃度自動(dòng)測(cè)定儀，5、成品混酸貯池，6、廢液貯池，7、過(guò)濾貯池，8、壓濾機(jī)，9、沉淀貯池，90、91、出液口，10、回收貯池，11、蝕刻設(shè)備貯池，12、13、16、17、磁力離心泵，14、15、19、隔膜泵，18、廢液池，。
【具體實(shí)施方式】
[0016]為了進(jìn)一步理解本發(fā)明，下面結(jié)合實(shí)施例對(duì)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施方案進(jìn)行描述，但是應(yīng)當(dāng)理解，這些描述只是為進(jìn)一步說(shuō)明本發(fā)明的特征和優(yōu)點(diǎn)，而不是對(duì)本發(fā)明權(quán)利要求的限制。
[0017]請(qǐng)參閱圖1，一種蝕刻液配制系統(tǒng)，包括:原料單酸接駁系統(tǒng)1、單酸貯池2、混合貯池3、蝕刻液濃度自動(dòng)測(cè)定儀4、成品混酸貯池5、廢液貯池6，過(guò)濾貯池7，壓濾機(jī)8，沉淀貯池9，回收貯池10、蝕刻設(shè)備貯池11、隔膜泵14、15、19、及磁力離心泵12、13、16、17、，所述蝕刻液配制系統(tǒng)的工作原理為:從原料化工廠采購(gòu)過(guò)來(lái)的單酸，通過(guò)原料單酸接駁系統(tǒng)I把單酸注入到單酸貯池2，根據(jù)生產(chǎn)要求在混合貯池3內(nèi)設(shè)置配酸量，配置過(guò)程中蝕刻液濃度自動(dòng)測(cè)定儀4會(huì)對(duì)配置后的蝕刻液進(jìn)行濃度檢測(cè)，根據(jù)實(shí)際測(cè)定的結(jié)果進(jìn)行微調(diào)配酸，確?；焖嶂忻恳环N酸的濃度的準(zhǔn)確性，所述混合貯池3設(shè)有稱(chēng)重裝置及冷水降溫系統(tǒng)，所述稱(chēng)重裝置能夠精確的測(cè)量配置過(guò)程中每一種單酸的注入量，所述冷水降溫系統(tǒng)能夠快速的降低酸液混合過(guò)程中產(chǎn)出的熱量，加快混酸配置速度。調(diào)配后的蝕刻液通過(guò)磁力離心泵12注入成品混酸貯池5中進(jìn)行儲(chǔ)存，當(dāng)蝕刻設(shè)備需要使用蝕刻液時(shí)，就通過(guò)磁力離心泵13將成品混酸貯池5中的蝕刻液注入蝕刻設(shè)備貯池11中，使用后，蝕刻設(shè)備貯池11排出的廢液首先進(jìn)入廢液貯池6進(jìn)行臨時(shí)存儲(chǔ)，所述廢液貯池6的數(shù)量為兩個(gè)，所述廢液貯池6內(nèi)設(shè)有壓縮空氣鼓包系統(tǒng)，廢液貯池6設(shè)置兩個(gè)的好處在于:可以做到交替使用，降低故障率，實(shí)現(xiàn)無(wú)間斷作業(yè)。設(shè)置壓縮空氣鼓包系統(tǒng)的作用在于:可防止廢液中的沉淀物在廢液貯池內(nèi)堆積結(jié)塊，造成廢液貯池容積變小，及后期難以清理等問(wèn)題。然后通過(guò)隔膜泵14將廢液由廢液貯池6打入過(guò)濾貯池7，接著通過(guò)啟動(dòng)隔膜泵15將過(guò)濾貯池7中的廢液送入壓濾機(jī)8進(jìn)行過(guò)濾，所述壓濾機(jī)8的數(shù)量為兩個(gè)，采用雙壓濾機(jī)，可以實(shí)現(xiàn)雙倍速作業(yè)，無(wú)間斷作業(yè)，當(dāng)一臺(tái)壓濾機(jī)需要清理的時(shí)候，另外一臺(tái)可以繼續(xù)工作滿足不間斷生產(chǎn)要求。過(guò)濾后的澄清藥液進(jìn)入沉淀貯池9，在沉淀貯池9中靜置藥液完成藥液中細(xì)微顆粒的結(jié)晶沉淀工作后，使用磁力離心泵16將沉淀貯池9中的澄清藥液輸送到回收貯池10，從而完成藥液回收的過(guò)程；在本實(shí)施方式中，所述沉淀貯池9的數(shù)量共四個(gè)，分為兩組，每組兩個(gè)，兩組沉淀貯池9交替使用。當(dāng)一組沉淀貯池在進(jìn)行沉淀作業(yè)的時(shí)候，另一組沉淀貯池進(jìn)行輸送作業(yè)可以將已經(jīng)沉淀好的廢液通過(guò)磁力離心泵送入回收貯池,最后將回收貯池10中的回收液通過(guò)磁力離心泵17注入到混合貯池3，然后蝕刻液濃度自動(dòng)測(cè)定儀4對(duì)回收液的濃度進(jìn)行測(cè)量，接著設(shè)備自動(dòng)計(jì)算出需要注入的單酸的濃度，然后在混合貯池3中依次注入單酸進(jìn)行混合，最終得到需要濃度的蝕刻液，然后再通過(guò)磁力離心泵12將混合貯池3中的調(diào)配好的蝕刻液注入成品混酸貯池5中，以此循環(huán)往復(fù)。所述蝕刻液配制系統(tǒng)還設(shè)置有兩個(gè)廢液池18，可以根據(jù)實(shí)際生產(chǎn)中產(chǎn)品品質(zhì)的情況，排掉不可以再利用的廢液，廢液池18中的廢液可以用于其它用途，減少資源的浪費(fèi)與環(huán)境的污染。本發(fā)明中的沉淀貯池9呈上圓柱體下圓錐體設(shè)置，并設(shè)有兩個(gè)出液口 90、91，其中一個(gè)出液口 90設(shè)置于圓錐體的底部，另一個(gè)出液口 91設(shè)置于圓柱體與圓錐體交界處的偏上位置。兩個(gè)出液口的功能不同，位于圓錐體底部的出液口 90連接到過(guò)濾貯池7，主要目的是通過(guò)隔膜泵19定期將含有一定異物的藥液送回過(guò)濾貯池7進(jìn)行過(guò)濾，確保沉淀貯池的潔凈度；位于交界處偏上的出液口 91通過(guò)磁力離心泵16將沉淀好的干凈廢液輸送到回收貯池10。
[0018]通過(guò)采用本發(fā)明中的蝕刻液配制系統(tǒng)，可對(duì)蝕刻廢棄藥液進(jìn)行回收利用，不僅大大降低了生產(chǎn)成本，而且也有利于環(huán)保，另外本發(fā)明通過(guò)配備濃度自動(dòng)測(cè)定儀，可以自動(dòng)完成配比，從而杜絕了人為計(jì)算配比出現(xiàn)的誤差。
[0019]需要說(shuō)明的是，在本文中，諸如第一和第二等之類(lèi)的關(guān)系術(shù)語(yǔ)僅僅用來(lái)將一個(gè)實(shí)體或者操作與另一個(gè)實(shí)體或操作區(qū)分開(kāi)來(lái)，而不一定要求或者暗示這些實(shí)體或操作之間存在任何這種實(shí)際的 關(guān)系或者順序。而且，術(shù)語(yǔ)“包括”、“包含”或者其任何其他變體意在涵蓋非排他性的包含，從而使得包括一系列要素的過(guò)程、方法、物品或者設(shè)備不僅包括那些要素，而且還包括沒(méi)有明確列出的其他要素，或者是還包括為這種過(guò)程、方法、物品或者設(shè)備所固有的要素。在沒(méi)有更多限制的情況下，由語(yǔ)句“包括一個(gè)……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的過(guò)程、方法、物品或者設(shè)備中還存在另外的相同要素。
[0020]對(duì)所公開(kāi)的實(shí)施例的上述說(shuō)明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本發(fā)明。對(duì)這些實(shí)施例的多種修改對(duì)本領(lǐng)域的專(zhuān)業(yè)技術(shù)人員來(lái)說(shuō)將是顯而易見(jiàn)的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此，本發(fā)明將不會(huì)被限制于本文所示的這些實(shí)施例，而是要符合與本文所公開(kāi)的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種蝕刻液配制系統(tǒng)，其特征在于:包括:原料單酸接駁系統(tǒng)、單酸貯池、混合貯池、蝕刻液濃度自動(dòng)測(cè)定儀、成品混酸貯池、廢液貯池,過(guò)濾貯池,壓濾機(jī),沉淀貯池，回收貯池、蝕刻設(shè)備貯池、隔膜泵及磁力離心泵，所述蝕刻液配制系統(tǒng)的工作原理為:從原料化工廠采購(gòu)過(guò)來(lái)的單酸，通過(guò)原料單酸接駁系統(tǒng)把單酸注入到單酸貯池，根據(jù)生產(chǎn)要求在混合貯池內(nèi)設(shè)置配酸量，配置過(guò)程中蝕刻液濃度自動(dòng)測(cè)定儀會(huì)對(duì)配置后的蝕刻液進(jìn)行濃度檢測(cè)，根據(jù)實(shí)際測(cè)定的結(jié)果進(jìn)行微調(diào)配酸，確?；焖嶂忻恳环N酸的濃度的準(zhǔn)確性，調(diào)配后的蝕刻液通過(guò)磁力離心泵注入成品混酸貯池中進(jìn)行儲(chǔ)存，當(dāng)蝕刻設(shè)備需要使用蝕刻液時(shí)，就通過(guò)磁力離心泵將成品混酸貯池中的蝕刻液注入蝕刻設(shè)備貯池中，使用后,蝕刻設(shè)備貯池排出的廢液首先進(jìn)入廢液貯池進(jìn)行臨時(shí)存儲(chǔ)，然后通過(guò)隔膜泵將廢液由廢液貯池打入過(guò)濾貯池，接著通過(guò)啟動(dòng)隔膜泵將過(guò)濾貯池中的廢液送入壓濾機(jī)進(jìn)行過(guò)濾，過(guò)濾后的澄清藥液進(jìn)入沉淀貯池，在沉淀貯池中靜置藥液完成藥液中細(xì)微顆粒的結(jié)晶沉淀工作后，使用磁力離心泵將沉淀貯池中的澄清藥液輸送到回收貯池，從而完成藥液回收的過(guò)程；最后將回收貯池中的回收液通過(guò)磁力離心泵注入到混合貯池，然后蝕刻液濃度自動(dòng)測(cè)定儀對(duì)回收液的濃度進(jìn)行測(cè)量，接著設(shè)備自動(dòng)計(jì)算出需要注入的單酸的濃度，然后在混合貯池中依次注入單酸進(jìn)行混合，最終得到需要濃度的蝕刻液，然后再通過(guò)磁力離心泵將混合貯池中的調(diào)配好的蝕刻液注入成品混酸貯池中，以此循環(huán)往復(fù)。
2.如權(quán)利要求1所述的一種蝕刻液配制系統(tǒng)，其特征在于:所述蝕刻液配制系統(tǒng)還設(shè)置有兩個(gè)廢液池。
3.如權(quán)利要求2所述的一種蝕刻液配制系統(tǒng)，其特征在于:所述混合貯池設(shè)有稱(chēng)重裝置及冷水降溫系統(tǒng)。
4.如權(quán)利要求1或2或3所述的一種蝕刻液配制系統(tǒng)，其特征在于:所述廢液貯池的數(shù)量為兩個(gè)，所述廢液貯池內(nèi)設(shè)有壓縮空氣鼓包系統(tǒng)。
5.如權(quán)利要求4所述的一種蝕刻液配制系統(tǒng)，其特征在于:所述壓濾機(jī)的數(shù)量為兩個(gè)。
6.如權(quán)利要求1所述的一種蝕刻液配制系統(tǒng)，其特征在于:所述沉淀貯池的數(shù)量共四個(gè)，分為兩組，每組兩個(gè)，兩組沉淀貯池交替使用。
7.如權(quán)利要求1或6所述的一種蝕刻液配制系統(tǒng)，其特征在于:所述沉淀貯池呈上圓柱體下圓錐體設(shè)置，并設(shè)有兩個(gè)出液口，其中一個(gè)出液口設(shè)置于圓錐體的底部，另一個(gè)出液口設(shè)置于圓柱體與圓錐體交界處的偏上位置。
【文檔編號(hào)】B01F3/08GK103861486SQ201410060819
【公開(kāi)日】2014年6月18日 申請(qǐng)日期:2014年2月24日 優(yōu)先權(quán)日:2014年2月24日
【發(fā)明者】滕祥飛, 阮軍 申請(qǐng)人:惠晶顯示科技（蘇州）有限公司